4.2 Анализ состояния процесса на основе мониторинга значений uэб

На основе мониторинга значений, представленного в таблице 4.1 для двадцати пяти партий, прошедших операцию «Диффузия фосфора в эмиттер», составляем таблицу 4.3 для значений пробивного напряжения «эмиттер-база»U_ЭБ, используя пример 12.3 ГОСТ Р 50779. 42-99. [9]

Таблица 4.3 – Значения пробивного напряжения «эмиттер-база» U_ЭБ для двадцати пяти последовательных выборок

Наименование показателя	Значение для подгруппы
	11	22	33	44	55	66	77	88	99	110	111	112
UЭБ	383	427	381	399	506	393	392	404	348	402	360	403
	66,85	66,8	66,9	66,84	66,85	66,91	77,0	66,9	66,84	66,84	66,84	66,78
Скользящий размах R		00,05	00,1	00,06	00,01	00,06	00,09	00,1	00,06	00	00	00,06

Продолжение таблицы 4.3

Наименование показателя	Значение для подгруппы
	113	114	115	116	117	118	119	220	221	222	323	224	225
	4365	4426	4362	4428	4458	4363	4467	4445	4470	4418	1250	1112	1273
UЭБ	66,78	66,75	66,81	66,82	66,89	66,75	66,8	66,89	66,84	66,78	66,84	66,8	66,85
Скользящий размах R	0 0	00,03	00,06	00,01	00,07	00,14	00,05	00,09	00,05	00,06	00,06	00,04	00,05

Вычисляем средний скользящий размах

Для расчета контрольных границ mR-карты используем формулы из Таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 для n = 2, тогда центральная линия = 0,05

Подставляя полученные значения в формулы (4.1) и (4.2), получаем:

ВКП =3,2670,05=0,16

НКП =00,05=0

Значения множителей иберутся из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 дляn = 2.

Строим контрольную карту размахов mR для напряжения «эмиттер-база»U_ЭБ (Рисунок 4.4) по данным таблицы 4.2, определяем по ней состояние процесса.

Рисунок 4.4 – Контрольная mR-карта для напряжения «эмиттер-база»U_ЭБ,

Все точки находятся в рамках контрольных границ.

Рассчитываем значения , исходя из таблицы 4.3

Для расчета контрольных границ -карты используем формулы из таблицы 2 ГОСТ Р 50.779.42 – 99 приn = 2, тогда центральная линия .

Подставляя значения в формулы (4.3) и (4.4), получаем

;

.

Значение коэффициента взято из таблицы 3 ГОСТ Р 50.779.42 – 99

Строим-карту (рисунок 4.5) по данным, приведенным в таблице 4.3

A

B

C

C

B

A

Рисунок 4.5 –Контрольная - карта для индивидуальных значений напряжения «эмиттер-база»U_ЭБ

Одно из значений -карты выходит за верхнюю контрольную границу, что указывает на статистически неуправляемое состояние процесса. Проведя анализ особых причин вариации устанавливаем, что в феврале 2007 года на партии № 392, на операции окисление области базы, полученная глубина (Х_J) базы оказалась меньше нормы, поэтому исключаем партию № 392 при составлении таблицы 4.4

.

Таблица 4.4 - Значения U_ЭБ для двадцати четырех последовательных выборок.

Наименование показателя	Значение для подгруппы
	11	22	33	44	55	66	77	88	99	110	111	112
	4383	5427	4381	4399	5506	4393	5404	4348	5402	4360	5403	4365
UЭБ	66,85	66,8	66,9	66,84	66,85	66,91	66,9	66,84	66,84	66,84	66,78	66,78
Скользящий размах R	0	00,05	00,1	00,06	00,01	00,06	00,01	00,06	00	00	00,06	00