СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

Схематичное изображение процесса сканирования

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

Траектория относительного движения зонда и образца в процессе поддержания системой обратной связи постоянного локального взаимодействия

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

Способы графического представления СЗМ-изображений: а)- 2D б) – 3D с боковой подстветкой.

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

Возможные искажения в СЗМ изображениях

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

а) – притяжение двух атомов благодаря силам Ван-дер-Ваальса,

б) – притяжение зонда к поверхности за счет капиллярных сил.

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

Зависимость силы взаимодействия между атомами от расстояния R

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

Электронно-микроскопическое изображение

а) V- образного кантилевера; б) I-образного кантилевера;

в) – контактного кантилевера

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Пример СТМ литографии. На СТМ изображении (размер скана 256х256 нм х нм) трехмонослойной проводящей пленки Ленгмюра-Блоджет (б) видны кратерообразные дефекты глубиной в один монослой после локального приложения трех импульсов напряжения (а)