ЛЕКЦИИ 12-13
Принципы сканирующей зондовой микроскопии.
Сканирующий туннельный микроскоп.
Атомно-силовой микроскоп.
Принципы сканирующей зондовой микроскопии
Сравнительная характеристика различных методов микроскопического исследования поверхности твердых тел
Метод |
Увеличение |
Рабочая среда |
Размерность |
Воздействие на образец |
|
|
|
изображения |
|
Оптическая микроскопия |
103 |
воздух |
2D |
неразрушающий |
|
|
жидкость |
|
|
Лазерное сканирование |
104 |
воздух |
2D |
неразрушающий |
|
|
жидкость |
|
|
Сканирующий электронный |
106 |
вакуум |
2D |
разрушающий |
микроскоп |
|
|
|
|
Автоэлектронный и автоионный |
107-108 |
вакуум |
2D |
разрушающий |
микроскопы |
|
|
|
|
Просвечивающий электронный |
107-108 |
вакуум |
2D |
разрушающий |
микроскоп |
|
|
|
|
Ионный микроскоп |
109 |
вакуум |
2D |
разрушающий |
Сканирующий зондовый |
109 |
вакуум |
3D |
неразрушающий |
микроскоп |
|
воздух |
|
|
|
|
жидкость |
|
|
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Общая схема сканирующего зондового микроскопа
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Принципиальная схема работы сканирующего туннельного микроскопа
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Схема туннельного сенсора
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Схема силового сенсора
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Основные конструкции сканеров: а) – треногий, б) – трубчатый.
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
Конструкция трубочного пьезосканера