4.6. Последовательность проектирования

Проектирование рекомендуется выполнить в следующем порядке:

– воспроизведите эскизы структуры и топологии элемента;

– приведите сводку исходных данных, распределив их в три набора:

а) параметры функционального назначения;

б) параметры структуры;

в) размерные технологические ограничения.

– оцените рабочее значение ширины изолирующего p–n-перехода и толщину резистивного слоя структуры с учётом перехода;

– оцените и проставьте на структуре и топологии резистора защитные промежутки между границами областей и минимально допустимые размеры топологических фрагментов;

– примите для итерационного приближения к необходимым значениям минимальный технологический размер контакта к резистору;

– применяя размеры защитных промежутков и размеры изоляционного слоя, определите недостающие размеры контактной области и ширину резистора;

– оцените коэффициент формы контактной области;

– оцените коэффициент формы резистивной полосы с учётом коэффициента формы контактной области и длину резистивной полосы;

– определите составляющие производственной погрешности сопротивления резистора;

– сравните суммарную производственную погрешность с заданной нормой δR;

• по результатам сравнения примите решение о корректировке принятых размеров контактов и повторите оценку всех остальных размеров конструкции резистора;

Примечание: Итогом проектирования должно быть удовлетворение требований по производственному допуску с отклонением не более 1%.

– определите габаритную площадь резистора с учётом технологических ограничений структуры резистора;

– определите значения удельной ёмкости на изолирующих поверхностях резистора (по плоской поверхности дна и, возможно верхнего покрытия для pinch-структур, о также боковых криволинейных поверхностей);

– определите площади плоских и криволинейных изолирующих поверхностей;

– определите полную ёмкость для схемы замещения представления резистора в частотно-временной области;

– повторите расчёты для получения набора значений для анализа зависимостей в соответствии с заданием, сведите их в таблицу результатов;

– постройте графические зависимости и объясните полученные результаты исследования;

– оформите и сдайте отчёт по работе.

Расчётные соотношения по выполнению оценок по приведенной последовательности сведены в приложение А4 настоящего руководства.

Расчётные соотношения по выполнению оценок и рассмотренная методика расчета и выбора размеров, расчёта ёмкости и граничной частоты положены в основу учебной программы «ИсследРез». Работа с программой выполняется в форме диалога. По корректным ответам программа «ИсследРез», выполняет расчёт значений запрашиваемых параметров и выводит их числовые значения.

Однократно пройдя тестирование по совокупности запросов корректными ответами, исполнитель получает право доступа к форме сводной таблицы исходных данных и результатов расчёта. Выполняя установку в таблице новых значений исходных параметров в таблице и активизируя операцию «Расчёт», исполнитель получает возможность оперативного формирования выходных наборов расчётных значений.

Исполнителю работы необходимо корректно собрать необходимые результаты, подготовить в соответствии с требованиями отчёт и исполнить заключение по объяснению полученных зависимостей.

Подготовьтесь к ответам на вопросы самоконтроля,