Введение
Контакт двух полупроводников с различным типом электропроводности, называемый р-n переходом, является основой для создания различных типов полупроводниковых приборов: выпрямительных и силовых диодов, стабилитронов, варикапов, туннельных диодов, биполярных транзисторов, тиристоров, широко применяется в монолитных интегральных схемах. В связи с этим изучение свойств р-n перехода, определение его физических и электрических характеристик представляет собой важную задачу.
1. Цель работы
Целью лабораторной работы является закрепление знаний, полученных на лекциях , подготовка к выполнению практических задач по курсу “Физические основы микроэлектроники” и изучению принципов работы различных полупроводниковых приборов.
2. Краткие теоретические сведения
Электронно-дырочным переходом (р - n переходом) называют контакт двух областей полупроводника с электронным (n-типа) и дырочным (р-типа) типом проводимости. В полупроводнике n-типа, легированном донорами основными носителями заряда являются электроны (nn - концентрация электронов), неосновными - дырки (рn - концентрация дырок).
Ионизированные атомы доноров (Nd+- концентрация доноров) чаще всего замещают места атомов основного вещества. В полупроводнике р - типа, легированном акцепторами присутствуют следующие заряды: дырки, являющиеся основными носителями заряда (рр), неосновные носители - электроны (nр) и неподвижные ионизированные атомы акцепторов (Na-).
Р - n переход является симметричным, если концентрация доноров в n-области равна концентрации акцепторов в р - области: Nd =Na и несимметричным, если концентрации примесей неодинаковы.
Концентрация неосновных носителей np и рn можно оценить из закона действующих масс, согласно которому в условиях термодинамического равновесия выполняется соотношение:
(2.1)
где ni - собственная концентрация носителей заряда, Nc, Nv - эффективные плотности состояний зоны проводимостей и валентной зоны соответственно, зависящие от эффективных масс электронов и дырок, Еg - ширина запрещенной зоны, k - постоянная Больцмана, Т - абсолютная температура.
Так как концентрация основных носителей, определяемая концентрацией примесей, существенно больше концентрации неосновных носителей nnopno , pponpo, то в соответствии с (2.1) будут справедливы следующие соотношения nnonpo, ppopno Все это означает, что на контакте между р- и n-областями имеет место градиент концентраций электронов и дырок (Рис.1), в результате чего возникает диффузионный ток электронов из n - области в р - область и обратный поток дырок из р - области в n - область.
n, p n, p
nno ppo nno
ppo
npo
pno npo pno
x x
dn dp dn dp
d
d
а) б)
Рис. 1.
а - симметричный переход (Nд=Nа), б - несимметричный переход' (NдNа ).
При этом вблизи границы раздела n- и р- областей останется оголенный остов ионизированных примесей, которые создадут объемный положительный заряд в n-области и объемный отрицательный заряд в р- области. Эта лишенная подвижных носителей заряда приконтактная область с высоким сопротивлением называется областью пространственного заряда (ОПЗ) или областью истощенного слоя.
Заряды ионизированных примесей создают в ОПЗ электрическое поле, направленное так, что оно препятствует дальнейшему переходу через р-n переход основных носителей, в результате чего устанавливается равновесие.
Незначительное количество основных носителей, которым удается преодолеть электрическое поле ОПЗ, уравновешивается потоком неосновных носителей, которые перебрасываются через р-n переход.
Наличие электрического поля в приконтактной области обуславливает разность потенциалов между р- и n-областями, которая называется контактной разностью потенциалов и может быть выражена через концентрации основных и неосновных носителей зарядов:
(2.2)
На энергетической диаграмме р-n перехода существование контактной разности потенциалов проявляется в изгибе энергетических зон на величину eo, который означает наличие энергетического барьера (рис.2) для перехода основных носителей заряда через р - n переход. При комнатной температуре nn/np==106 – 1010, величина энергетического барьера eo составляет 0,2 - 1,2 эВ.
E p
n
EC eo
EF
Eg
EV
dn do dp E|
Рис.2.
Рассмотрим вольтамперную характеристику (ВАХ) перехода в приближении теории тонкого перехода. Для этого случая сделаем следующие допущения: процессами генерации и рекомбинации в ОПЗ пренебрегаем, считаем, что внешнее напряжение падает на ОПЗ, то есть сопротивление нейтральных р- и n- областей пренебрежимо мало по сравнению с сопротивлением ОПЗ, будем рассматривать одномерный случай. При прямом смещении уменьшается ширина ОПЗ (рис.3) и контактная разность потенциалов понижается на величину приложенного напряжения Uвн: k =k0 - Uвн .
n
+++
_ _ _
p
+++
_ _ _
+++
_ _ _
do
а)
n
++ _ _
p
++
_ _
++
_ _
d
б)
n
+++++
_ _ _ _
p
+++++
_ _ _ _
+++++
_ _ _ _
d
в)
Рис. 3.
В результате возрастает поток основных носителей заряда, способных преодолеть снизившийся потенциальный барьер. Ток электронов из n- области в р- область определяется диффузией их от правой границы перехода в глубь р- области. Ток дырок из р -области определяется диффузией их от границы перехода в глубь n- области. В результате прямой ток через переход определяется как сумма диффузионных составляющих токов электронов и дырок:
, (2.3)
где: S – площадь р – n перехода, Ln, Lp – диффузионные длины электронов и дырок, равные:
, , (2.4)
где: Dn,Dp – коэффициенты диффузии электронов и дырок, которые могут быть определены из соотношения Эйнштейна:
, , (2.5)
По мере диффузионного продвижения неосновных носителей заряда в глубь р- и n- областей их концентрации вследствие рекомбинации непрерывно уменьшаются, в результате чего уменьшаются диффузионные составляющие токов электронов и дырок. Так как ток р-n перехода в стационарном состоянии должен быть постоянным, то снижение диффузионных составляющих компенсируется возрастанием дрейфовых составляющих токов основных носителей заряда.
При отрицательном смещении на р-n переходе, когда - внешнего источника приложен к р- области, ширина ОПЗ увеличится (рис.3), а контактная разность потенциалов возрастет на величину приложенного напряжения Uвн: k =k0 + Uвн. В результате поток основных носителей заряда, способных преодолеть высокий потенциальный барьер, резко уменьшается и диффузионные токи основных носителей заряда можно считать пренебрежимо малыми. Обратный ток перехода образуется неосновными носителями заряда, находящимися в близи границ ОПЗ. Слои, прилегающие к ОПЗ, непрерывно обедняются неосновными носителями заряда, которые захватываются полем перехода и перебрасываются в противоположные области. В результате образуется градиент концентраций неосновных носителей заряда и возникают диффузионные потоки электронов в р- области и дырок в n-области в направлении к переходу. В этом случае обратный ток через р-n переход будет иметь вид:
(2.6)
Объединяя выражения (2.3) и (2.6) получим общую формулу для ВАХ р-n перехода:
(2.7)
Выражение
(2.8)
тепловым обратным током. Этот ток имеет тепловое происхождение и сильно зависит от температуры. Для снижения теплового тока необходимо повышать уровень легирования р- и n- областей. Окончательная формула для ВАХ р-n перехода будет иметь вид:
(2.9)