
- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
Алгоритм расчета погрешности косвенного измерения удобно представить в виде графической схемы (рис. 1.2). В неё входят пять блоков, смысл которых понятен из рисунка.
Рис. 1.2. Граф-схема алгоритма расчета погрешности косвенных измерений
Приведем ранее рассмотренные формулы для каждого блока.
Блок 1:
;
;
Блок 2: а). при известной предельной абсолютной погрешности прибора δ
,
где
при Р=0.95;
;
б). при известном классе точности прибора k
;
Блок 3:
;
Блок 4:
;
Расчет блоков 1-4 по приведенному алгоритму проводится для каждой физической величины, измеряемой прямым методом.
Блок 5:
;
Иногда наблюдения проводятся при невысокой точности измерительных приборов. В этом случае остальными погрешностями можно пренебречь.
Для получения результата достаточно одного отчета. При этом максимальная возможная ошибка результата задаётся классом точности прибора. В таблице 1.5 приведены формулы определения максимальных ошибок для некоторых функций.
.
Таблица 1.5
Функция |
Абсолютная погрешность |
Относительная погрешность |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
y= sinx |
Δy=cosxΔx |
|
y= cosx |
∆y =sin x ∆x |
|
y= tgx |
|
|
y= ctgx |
|
|
Необходимо отметить, что приведенные формулы, как и сам подход, могут использоваться только в оценочных наблюдениях, которые затем уточняются по стандартной методике.
1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
Планирование эксперимента, в частности, лабораторной работы затрагивает ряд вопросов, касающихся условий проведения опыта, подбора приборов и пределов их измерений, диапазона измерения регулируемых величин, возможностей и способов их контроля и т.д. Особое внимание следует обратить на предельно допустимые токи, напряжения, температуры.
Оценка точности, с которой может быть выполнено измерение, является одним из существенных моментов планирования эксперимента. Заключение о возможной точности результата планируемого эксперимента можно сделать, основываясь на величине приборной погрешности и погрешности округления. При достаточно большом числе наблюдений случайная погрешность может быть сделана сколь угодно малой. Тогда определяющий вклад в погрешность опыта будут вносить погрешности прибора и погрешность округления, которые в отличие от случайной погрешности, не зависят от результатов измерений и могут быть оценены до проведения эксперимента.
Предварительная оценка погрешности имеет большое значение.
Она позволяет оценить максимально возможную точностьопределения физической величины с помощью предстоящих измерений. Если такая точность удовлетворяет поставленной задаче можно приступать к проведению экспериментов.
Позволяет выявить, какие приборы будут вносить наиболее существенный вкладв погрешность и при необходимости заменить их на более точные.
Дает возможность определить те приборы, которые внесут несущественную погрешность (ею можно пренебречь).
Позволяет оптимально выбрать число повторных наблюдений, при котором случайная погрешностьбудет меньше приборной.
Дает возможность выбрать степень округления и количество значащих цифр, которые необходимо сохранить в промежуточных результатах.
Решить вопрос о необходимости повышения затратдля увеличения точности определения физической величины.
Первоначально намеченный план в процессе работы может детализироваться, уточняться в поиске оптимального варианта эксперимента.