- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
1.2.3. Погрешность прибора
Наиболее часто встречающейся систематической погрешностью является погрешность прибора. Такая погрешность может быть вызвана различными факторами, например, на погрешность амперметра магнитоэлектрической системы могут влиять: неправильность разбивки шкалы, несоответствие поля постоянного магнита, отклонение от заданного диаметра провода и т.д. Очевидно, можно учесть все эти факторы и ввести необходимые поправки. Однако это очень трудоемкая и практически не нужная работа. Значительно проще изготовить узлы приборов одного типа так, чтобы возможные погрешности, вносимые ими, не превышали максимальной определенной величины. Погрешности разных приборов одного типа будут разными и по знаку и по величине, но не больше предельной. Значения соответствующих предельных погрешностей оговорены ГОСТами и гарантируются изготовителем этих приборов. Предельная погрешность прибора обычно указывается в его паспорте. Для одних приборов указывается предельная абсолютная погрешность , для других предельная относительная погрешность (класс точности).
Классом точностиKизмерительного прибора называется выраженное в процентах отношение предельной абсолютной погрешностик максимальному значению измеряемой и величиныхmax
K= /хmax· 100% (1.11)
Значение % на приборах не ставится. Для электроизмерительных приборов возможны классы 0,02; 0,05; 0,1; 0,2; 0,5; 1,0; 2,5; 4,0. Более грубые приборы класса не имеют.
Предельная погрешность и класс точности задаются с доверительной вероятностью Р=0,997, которому соответствует полуширина 2 . Для произвольной вероятности Р абсолютная погрешность определяется выражением
, (1.12)
где коэффициент определяется из таблицы 1.1. Из выражения (1.12) видно, что абсолютная погрешность не зависит от значения измеряемой величиныи для данного прибора есть величина постоянная.
В отличие от абсолютной относительная погрешность, обусловленная прибором
(1.13)
зависит от измеряемой величины, она тем меньше чем ближе значение измеряемой величины к максимальной.
Отсюда вытекает рекомендация: для получения большей точности необходимо выбирать прибор, предельное значение которого близко к измеряемой величине (для стрелочных приборов отклонение стрелки было бы почти на всю шкалу). В этом случае (xизм= 0,6 … 0,8xmax) относительная погрешность близка к значению класса точности.
1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
Как уже говорилось выше, на измеренное значение физической величины влияют случайные и систематические ошибки, в частности ошибки измерительного прибора. Очевидно, эти факторы необходимо учитывать и при вычислении полной погрешности прямого измерения.
Кроме случайной погрешности и погрешности прибора необходимо учитывать и погрешность округления. Это погрешности связанные дискретностью шкалы или индикации измерительного прибора и необходимостью округления промежуточного значения (между соседними рисками шкалы или значениями цифрового индикатора).
Интервал округления hможет быть различным. Если отсчет снимается с точностью до целого деления, то интервал округления равен цене деления шкалы прибора (дискрету младшего знака индикатора). Если отсчет округляется до половины деления, интервал округления равен половине цены деления и т.д. Максимальная погрешность округления, очевидно, не превышает половины интервала округления т.е. величинh/2.
Для доверительной вероятности Рможно записать выражение абсолютной погрешности округления
. (1.14)
Пример. Пусть значение тока в цепи, измеренное при помощи амперметра равно I. Шкала прибора имеет деление ценой 0,1 мА. Отсчет округляется до одного деления, т.е. до 0,1 мА. Значит, величинаh=0,1 мА, а абсолютная погрешность округления
= 0,95 ∙ 0,1 мА/2 ≈ 0,048 мА ≈ 0,05 мА
Градуировка измерительных приборов обычно производится так, чтобы деление шкалы было в интервале [δ; 2δ]. Тогда при округлении до половины деления (наиболее удобном) Δxокрбудет вдвое меньше приборной погрешностиδи поэтому ее вклад в полную погрешность несущественен. Отсюда можно вывести весьма полезное правило: если не известна погрешность измерительного прибора, то ее можно оценочно принять равной половине цены деления шкалы. Правило справедливо если прибор не перестраивали после изготовления с помощью дополнительного сопротивления или шунта.
В теории вероятностей показывается, что погрешность, обусловленная несколькими независимыми факторами, определяется квадратичным суммированием. Поскольку в лабораторных учитываются сразу три погрешности, то полная абсолютная погрешность прямого измерения
. (1.15)
а относительная погрешность
. (1.16)
При вычислении всех суммируемых погрешностей доверительная вероятность Рвыбирается одинаковой (например,р=0,95). Такой же оно будет и для полной погрешности. Если какая-либо из погрешностей раза в три меньше любой другой, ее вклад в полную погрешность незначителен и ею можно пренебречь.
Рассмотрим на конкретном примере полную обработку результатов прямых измерений.
Пример. Пусть измеряется э.д.с. датчика Холла. Контрольное наблюдение показало, чтоU12 мВ. Поэтому для измерения выбран предел милливольтметраU=15 мВ. Класс его точности к=0,5. Количество делений на равномерной шкалеN=150 делений. Цена деления шкалы прибораС.
Первые три измерения показали, что в опыте появляется разброс данных, обусловленный случайными ошибками. Поэтому количество наблюдений увеличено до десяти. Полученные результаты приведены в таблице 1.3.
Таблица 1.3