
- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
Наиболее вероятное значение функции у, т.е. результата косвенного измерения получается при подстановке в (1.17) средних значений аргументов
уизм=f(), (1.18)
Поскольку каждая из величин
(гдеk=1,2, …,n)
определена с погрешностью, то величинауизмтакже будет найдена
с некоторой погрешностью. В теории
погрешностей (выходящей за рамки данного
пособия) показано, что эта погрешность
вычисляется по формуле:
(1.19)
где
– частная производная функции,xkаргументу, вычисленная при среднем
значении
;
– абсолютная погрешность прямого
измерения.
Относительная погрешность:
(1.20)
Формула (1.20) является общей и может быть упрощена для частного случая, когда аргументы входят в функцию в виде сомножителей
,
где А– любой постоянный множитель;
α– показатель степени,
тогда можно записать
(1.21)
Формула (1.21) более удобна для вычислений, поскольку относительные погрешности прямых измерений уже определены, однако, если функция представлена не произведением аргументов, а иной зависимостью, то необходимо использовать (1.20).
Пример. Пусть определяется плотность тока через проводник
где D– диаметр проводника;
I– величина тока.
В эту формулу все аргументы входят в виде сомножителей. Рассчитаем относительную, а затем абсолютную погрешность. В соответствии с (1.20):
Число πздесь не считается постоянным, т.к. в зависимости от смены округления оно будет различным (Δπ– погрешность, обусловленная округлением).
Найдем производные:
Тогда
Следовательно:
Заметим, что последнюю формулу можно было записать сразу на основании (1.21).
Предположим, что ток измеряется амперметром, а диаметр провода микрометром. Результаты наблюдений представлены в форме таблицы (табл. 1.4).
Обработка результатов прямых испытаний проводится по правилам, изложенным в п. 1.2.
Таблица 1.4
Результаты наблюдений
Номернаблюдения |
D |
∆D |
I |
∆I |
мм |
мм |
мA |
мA | |
1 |
6,40 |
- 0,020 |
20,8 |
+ 0,12 |
2 |
6,42 |
0,000 |
20,4 |
- 0,28 |
3 |
6,41 |
- 0,010 |
20,7 |
+ 0,02 |
4 |
6,43 |
+ 0,010 |
20,9 |
+ 0,22 |
5 |
6,44 |
+ 0,020 |
20,5 |
- 0,18 |
6 |
6,42 |
0,000 |
20,8 |
+ 0,12 |
7 |
6,41 |
- 0,010 |
20,5 |
- 0,18 |
8 |
6,43 |
+ 0,010 |
20,8 |
+ 0,12 |
9 |
6,41 |
- 0,010 |
20,9 |
+ 0,22 |
10 |
6,43 |
+ 0,010 |
20,5 |
- 0,18 |
|
|
|
|
|
Для наблюдений величины силы тока получим:
=0,13 мм;
=0,067
мА;
=0,048
мА;
=0,16
мА;
=0,77%.
Для наблюдений диаметра проводника получим:
=0,0090
мм;
=0,027
мм;
=0,0048
мм;
=0,011
мм;
=0,17%.
Для того чтобы погрешностью ∆π∕πможно было пренебречь необходимо число π взять с четырьмя значащими цифрами:
π= 3,142.
Тогда ∆π<0,0005 иεπ< 0,02%.
В этом случае относительная погрешность косвенного измерения:
εj==0,84%
0,8%.
Плотность тока
=
6,306 мА/мм2
Абсолютная погрешность:
.
Результат измерения: j=(6,306±0,050) мА/мм2;
εj=0,8 % ;Р=0,95.
В заключение отметим, что формулы (1.17), (1.18), (1.19) справедливы только в том случае, когда все аргументы независимые и измерены независимыми методами.