
- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
Коэффициенты Стьюдента
n |
Pд=0,5 |
Pд=0,6 |
Pд=0,7 |
Pд=0,8 |
Pд=0,9 |
Pд=0,95 |
Pд=0,98 |
Pд=0,99 |
2 |
1,00 |
1,38 |
1,96 |
3,08 |
6,31 |
12,71 |
31,82 |
63,66 |
3 |
0,82 |
1,06 |
1,34 |
1,89 |
2,92 |
4,30 |
6,97 |
9,93 |
4 |
0,77 |
0,98 |
1,25 |
1,64 |
2,35 |
3,18 |
4,54 |
5,84 |
5 |
0,74 |
0,94 |
1,19 |
1,53 |
2,13 |
2,78 |
3,75 |
4,60 |
6 |
0,73 |
0,92 |
1,16 |
1,48 |
2,02 |
2,62 |
3,37 |
4,03 |
7 |
0,72 |
0,91 |
1,13 |
1,44 |
1,94 |
2,45 |
3,14 |
3,71 |
8 |
0,71 |
0,90 |
1,12 |
1,42 |
1,90 |
2,37 |
3,00 |
3,50 |
9 |
0,71 |
0,89 |
1,11 |
1,40 |
1,86 |
2,31 |
2,90 |
3,36 |
10 |
0,70 |
0,88 |
1,10 |
1,38 |
1,83 |
2,26 |
2,82 |
3,25 |
16 |
0,69 |
0,87 |
1,07 |
1,34 |
1,75 |
2,13 |
2,60 |
2,95 |
25 |
0,69 |
0,86 |
1,06 |
1,32 |
1,71 |
2,06 |
2,49 |
2,80 |
С учетом коэффициента Стьюдента случайная погрешность результата, определяющая полуширину доверительного интервала около среднего значения измеряемой величины, может быть записана:
(1.10)
Это основная формула для расчета случайных погрешностей прямых измерений.
ПРИМЕР. Пусть с помощью микроамперметра измеряется обратный ток через р-nпереход. В результате измерений проявляются случайные ошибки, поэтому проведем десять (n=10) повторных наблюдений токаI(табл. 1.2).
Таблица 1.2
Обратный ток через p-n-переход
Номернаблюдения |
Ii, мкА |
|
1 |
32,3 |
-0,22 |
2 |
32,8 |
0,28 |
3 |
32,4 |
-0,12 |
4 |
32,7 |
0,18 |
5 |
32,4 |
-0,12 |
6 |
32,0 |
-0,52 |
7 |
32,6 |
+0,08 |
8 |
32,9 |
+0,38 |
9 |
32,2 |
-0,32 |
10 |
32,9 |
+0,38 |
|
|
|
Определим результат и случайную погрешность измерения.
1. Найдем результат измерения – среднее арифметическое:
Промежуточные вычисления проводим с большей точностью (один знак), чем точность измерений, чтобы избежать заметных ошибок округления в окончательном ответе. Эта последняя цифра отбросится.
Определим случайные отклонения ΔΙiвсех наблюдений от среднего значения (см. табл. 1.2).
Рассчитаем алгебраическую сумму ΔΙi. Если она не равна нулю, в вычислениях допущена ошибка, в нашем случае она равна нулю, т.е. расчеты правильны.
В шестом наблюдении значение Iявно отличается от остальных значений. Его можно подозревать на промах. Для проверки рассчитаем среднюю квадратичную погрешность одного наблюдения.
=0,31
мкА.
Найдем предельную погрешность наблюдения – она в три раза больше чем Sи составляетΔΙпред=3S=0,93 мкА.
Для промаха модуль отклонения превышает предельную погрешность
> ΔΙпред. В данном случае
= 0,52 мкА <ΔΙпред, следовательно промахи отсутствуют. Если бы они были обнаружены, то результаты таких измерений надо отбросить и расчеты провести заново. Если подозрений на промахи нет п.п. 4-6 можно пропустить.
Рассчитаем среднюю квадратичную погрешность измерения
где коэффициент Студента tn,pнайден по таблице 1.1. Для числа наблюденийn=10 и доверительной вероятностиP=0,95,tn,p=2,26.
Определим относительную погрешность:
=0,67%
≈ 0,7%,
таким образом, получим
=32,5
мкА;
ΔΙсл=0,2;=
0,7% приP= 0,95.