
- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
Порядок выполнения работы
1. Установить фоторезистор и снять вольт-амперную характеристику фоторезистора. Для различных освещённостей построить график ВАХ.
2. Снять спектральную характеристику фоторезистора, используя различные светофильтры (табл. 2.12). Определить ширину запрещённой зоны и материал фоторезистора.
3. Вычислить относительное RФ/RТизменение сопротивления для различных напряжений.
4. Получить релаксационную кривую фототока при освещении фоторезистора прямоугольными световыми импульсами. Зарисовать кривые релаксации и определить постоянные времени нарастания и спада. Определить характер рекомбинации.
5. Проделать пункты 1-4 при повышенной температуре. Сделать выводы о влиянии температуры на характеристики фоторезистора.
Контрольные вопросы
1. Объяснить возможные переходы электронов при поглощении квантов света и рекомбинации. Что такое прямые и непрямые переходы электронов?
2. Какими выражениями определяется красная граница фотопроводимости для собственных и примесных полупроводников?
3. Назовите механизмы фотоэлектрически неактивного поглощения света.
4. Что такое время жизни неравновесных носителей заряда?
5. Объяснить процессы релаксации фотопроводимости при освещении прямоугольными импульсами света.
6. Где используются фоторезисторы?
Таблица 2.12
Цвет светофильтра |
Длина волн, 10-10 м |
Красный |
7000 |
Оранжевый |
6200 |
Жёлтый |
5600 |
Зелёный |
5100 |
Синий |
4500 |
Фиолетовый |
4100 |
Литература: [13]-4.3; 4.4; 11.3.
2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
Цель работы: исследование влияния сильного электрического поля на электропроводность полупроводника. Определение дрейфовой скорости носителей и удельной проводимости полупроводника в случае эффекта Ганна.
Теоретическая часть
Концентрация и подвижность носителей заряда до некоторой величины напряженности электрического поля не зависят от напряженности электрического поля, следовательно, и удельная электропроводность полупроводника не зависит от напряженности электрического поля. Электрические поля, которые практически не меняют подвижность и концентрацию носителей заряда, называютсяслабыми.
Минимальная напряженность поля Eкр, при которой начинается заметная зависимость подвижности и концентрации носителей заряда от напряженности электрического поля, называетсякритической. Критическая напряженностьEкрэлектрического поля зависит от природы полупроводника, температуры и концентрации примесей. Электрические поля, для которых подвижность или концентрация носителей заряда зависит от напряженности электрического поля, называютсясильными. При напряженности поля выше критической линейность закона Ома уже не выполняется, т.е. величина плотности токаjне будет прямо пропорциональна напряженности поля, так какначинает зависеть от напряженности поля. Для значительного числа полупроводников величинаEкр колеблется вблизи 106В/м, для селенаEкр≈103В/м. НапряженностьEкр определяется тем условием, что дополнительная дрейфовая скорость, приобретаемая носителем заряда в поле, становится сравнимой с тепловой скоростью. При уменьшении температуры напряженностьEкр уменьшается, так какEкр зависит от подвижности носителей заряда, а чем ниже температура, тем больше подвижностьμ.
Критические поля в неоднородных полупроводниках могут появляться при очень малых напряжениях, так как на неоднородном слое малой толщины падает почти все приложенное напряжение и локальная напряженность поля сильно возрастает. В зависимости от доминирующего механизма рассеяния носителей заряда в полупроводниках подвижность μможет увеличиваться или уменьшаться при увеличении напряженности электрического поля выше критической. Подвижность начинает зависеть от поля с того момента, как скоростьVперестает быть постоянной, т.е. когда добавкойVд к скоростиVза счет поля нельзя пренебречь, по сравнению с тепловой скоростью. Так, например, в атомных кристаллах (Ge , Si) при тепловом механизме рассеянияне зависит от скоростиV, aV(V=Vт+Vд) растет с ростом напряженности, подвижность уменьшается с ростом поля:
μ~E-1/2. (2.136)
При рассеянии носителей заряда на ионизированных примесях ~V4,V~E1/2 подвижностьμувеличивается с ростом напряженностиEполя:
μ~E3/2. (2.137)
Однако изменение подвижности носителей заряда, как показывают результаты опытов, незначительное. С ростом поля концентрация носителей заряда более заметно возрастает.
Основными причинами изменения концентрации носителей заряда в сильных электрических полях могут быть термоэлектронная ионизация Френкеля, ударная и электростатическая ионизация.
Термоэлектронная ионизация Френкеля. При увеличении напряженности электрического поля (E>106 В/м) увеличивается силаeE, действующая на электрон и изменяющая энергетическое состояние электрона в кристалле. Уменьшение величины потенциального барьера, разделяющего два соседних узла решетки, можно оценить величиной
EП=2eEr0, (2.138)
где e– заряд электрона;
E– напряженность поля.
Пусть r0– расстояние электрона от ядра, на котором сила притяжения к ближайшему ядру уравновешивается внешней силой, т.е.
е2/(40r02)=еE, (2.139)
откуда
r0=[е/(40E)]1/2. (2.140)
Подставляя значение r0в формулу (2.138) , получим выражение для уменьшения величины потенциального барьераЕП:
ЕП=2е[еE/(40)]1/2. (2.141)
Вследствие этого энергия, которую необходимо затратить на перевод электронов в зону проводимости, уменьшается на величину П, а вероятность тепловой ионизации возрастает. Согласно статистике Больцмана вероятность термического возбуждения увеличивается на величину
. (2.142)
где
=2/kT∙[e3/(40)]1/2
При этом концентрация носителей увеличивается по закону Френкеля
(2.143)
Этот эффект играет роль при Е> 107– 108В/м и экспоненциально растет с увеличением температуры.
Ударная и электростатическая ионизация. Сильное электрическое поле (Е> 106В/м), действуя на электроны атомов полупроводника, вызывает наклон энергетических зон (рис. 2.45), так как потенциальная энергия электрона во внешнем электрическом поле напряженностьюЕбудет определяться его координатойx
EП=-eEx,
а полная энергия электрона в полупроводнике при наличии внешнего электрического поля
EI=EП+E0,
где Е0– энергия электрона в отсутствие поля.
а) б)
Рис. 2.45. Энергетические зоны донорного полупроводника; а – без электрического поля; б – в сильном электрическом поле (искривление зон энергии)
Уровни энергии электронов поднимаются, если EП>0, и опускаются приEП<0, ширина зоны же для каждого значения координатыxне изменяется. Например, в донорном полупроводнике благодаря наклону зон электроны могут переходить из валентной зоны в зону проводимости путем 1 или 2, с донорных уровней в зону проводимости путем 3 или 4, с катода в зону проводимости путем 5, из валентной зоны в анод путем 6.
На вертикальный переход 1 и 3 требуется затрата энергии (термоэлектронная ионизация или ударная ионизация), а на горизонтальный переход 2, 4, 5 и 6 не требуется затраты и изменения энергии (туннельный переход или эффект Зинера).
В сильных полях ( Е~ 106– 108В/м) свободный электрон (или дырка) может приобрести энергию за время свободного пробегаλ, достаточную для ионизации примесного атомаEд, или атома основной решеткиE, и перевести электроны с этих уровней в зону проводимости (рис. 2.45, переходы 3, 1) или из валентной зоны на акцепторные уровниEа, при этом сам электрон сохранит энергию, достаточную для пребывания в зоне проводимости, т.е. в результате ударной ионизации электрон лишь смещается в пределе зоны проводимости с верхнего уровня на нижний. Свободный электрон, двигаясь в зоне проводимости к аноду, при столкновении с атомом примеси или атомом основной решетки опускается по энергетическим "ступенькам" 7, гдеλ– средняя длина свободного пробега,E– средняя величина энергии, которую теряет электрон при каждом акте соударения.
Так как энергия активации примесей Eд,Eаобычно меньше ширины запрещенной зоныEg, то в сильном электрическом поле сначала ионизируются примесные атомы, а затем уже атомы основной решетки. Явление ударной ионизации может происходить и в результате действия внутренних полей, обусловленных локальными неоднородностями кристалла или полем р-n перехода. Ударная ионизация проявляется при тем меньших полях, чем меньше температура и энергия активации и больше подвижность.
Теоретические оценки и опыт показывают, что ударная ионизация начинает играть существенную роль при полях 106– 108В/м. При еще больших полях (Е>109В/м) возможна электростатическая ионизация, горизонтальные переходы 2, 4 электронов с донорных уровней или из валентной зоны в зону проводимости. Электростатическая ионизация становится возможной благодаря тому, что в достаточно сильном электрическом поле электрон имеет определенную вероятность перехода через запрещенную зону без изменения энергии, т.е. туннельным эффектом.
Вероятность электростатической ионизации (туннельного перехода), например типа 2, при напряженности поля Е
w=exp[2(2m*)1/2(Eg)3/2/(heE)], (2.144)
где m*– эффективная масса электрона.
Вероятность туннельного перехода одинакова как для перехода из валентной зоны в зону проводимости, так и из зоны проводимости в валентную. Но поскольку концентрация электронов в валентной зоне превосходит концентрацию электронов в зоне проводимости, то поток электронов будет направлен из валентной зоны в зону проводимости. Еще более вероятен туннельный переход на контакте полупроводника и металла (переходы 5, 6),если при этом ширина барьера не увеличивается областью объемного заряда.
Наряду с ростом дополнительных носителей заряда за счет ионизации при повышении напряженности поля происходит и обратный процесс – рекомбинация электронов с дырками. В результате этих двух процессов устанавливается определенная стационарная концентрация носителей заряда при заданном поле, увеличивающаяся с ростом напряженности поля. При слишком больших электрических полях происходит лавинообразное нарастание носителей заряда и пробой полупроводника, обусловленный главным образом электростатической и ударной ионизацией.
ln σ0
ln σ
Eкр
Типичная кривая зависимости электропроводности полупроводников от напряженности электрического поля приведена на рис. 2.46. На нем можно четко различить область слабых полей ab, когда Е<Ек, и область сильных полейbcde приЕ>Екр. В слабых полях=0=const. В более сильных поляхвозрастает либо по эмпирическому закону Пуля (при сравнительно слабых поляхE):
=0e(E-Eк) (2.145)
(α– некоторый коэффициент, зависящий от температуры), либо по закону Френкеля (при более сильных поляхЕ):
=0exp(BE1/2) (2.146)
Участок cd соответствует электростатической ионизации, а за ним следует пробой (участок de).
Полупроводниковый прибор, действие которого основано на использовании зависимости электропроводности (сопротивления) полупроводника от напряженности электрического поля, называется варистором. В качестве материала для изготовления варисторов используется карбид кремния (CH1) и селен (СН2).
Варисторы представляют собой нелинейные полупроводниковые сопротивления (резисторы). Они получили широкое практическое применение в технике: защита элементов маломощной и низковольтной аппаратуры от перенапряжений, стабилизации напряжения, преобразование частот, в счетно-решающих устройствах и др.