
- •В.Н. Игумнов физические основы микроэлектроники практикум
- •Оглавление
- •Глава 1 7
- •Глава 2 36
- •Глава 3 163
- •Указания по технике безопасности
- •Предисловие
- •Глава 1 Обработка результатов измерений
- •1.1. Основные понятия и определения метрологии
- •1.2. Погрешности прямых измерений
- •1.2.1. Поправки
- •1.2.2. Случайные погрешности
- •Коэффициенты Стьюдента
- •Обратный ток через p-n-переход
- •1.2.3. Погрешность прибора
- •1.2.4. Погрешность округления. Полная погрешность прямого измерения
- •Э.Д.С. Датчика Холла
- •1.3. Погрешность косвенных измерений
- •1.3.1. Вычисление абсолютной и относительной погрешности
- •Результаты наблюдений
- •1.3.2 Схемы и формулы расчета погрешностей
- •1.3.3. Планирование эксперимента и оценка погрешности
- •1.4. Приближенные вычисления
- •1.5. Единицы измерения физических величин
- •1.6. Оформление результатов измерений
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 2 Лабораторные работы
- •2.1. Исследование характеристических параметров полупроводников
- •Зонная структура полупроводников
- •Температурная зависимость электропроводности
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.2. Исследование полупроводников с помощью эффекта Холла
- •Основные сведения из теории
- •Измерительная установка и методика измерений
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.3. Исследование эффекта поля в полупроводниках на базе полевого транзистора
- •Поверхностные состояния
- •Порядок выполнения работы
- •Величина тока стока
- •Величина тока стока
- •Контрольные вопросы
- •2.4. Определение потенциала Ферми в полупроводниках с помощью коэффициента термоэдс
- •Основные сведения из теории
- •Задание и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.5. Определение коэффициента Пельтье компенсационным методом
- •Основные сведения из теории
- •Применение эффекта Пельтье для охлаждения радиоаппаратуры
- •Описание установки и порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.6. Контакт металл – полупроводник
- •Основные сведения из теории
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.7. Изучение электрофизических процессов вp-nпереходе
- •Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.8. Исследование кинетики формовки оксидных пленок при электрохимическом окислении металлов
- •Основные сведения из теории
- •Плазменно-электролитическое анодирование
- •Состояние теории образования оксидных пленок
- •Свойства оксидных пленок
- •Описание установки и анодирование
- •Измерение динамики роста и свойств оксидной пленки
- •Задания и отчетность
- •Контрольные вопросы
- •2.9. Исследование процессов в полупроводниковом фоторезисторе
- •Фотопроводимость и поглощение света полупроводниками
- •Процессы захвата, заряда, прилипания и рекомбинации носителей заряда
- •Время жизни носителей заряда. Квантовый выход
- •Теория метода и описание установки
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.10. Полупроводники в сильных электрических полях
- •Теоретическая часть
- •Эффект Ганна
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
- •2.11. Свойства тонких проводящих пленок
- •Свойства тонких пленок
- •Контроль толщины тонких пленок
- •Порядок выполнения работы:
- •Контрольные вопросы:
- •Глава 3 Решение задач
- •3.1. Структура твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.2. Энергетические состояния микрочастиц Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.3. Электрические свойства твердых тел Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •3.4. Свойстваp-nперехода Основные справочные формулы
- •Примеры решения задач
- •Приложения п.1. Фундаментальные физические постоянные
- •П.2. Свойства полупроводников
- •П.3. Некоторые единицы системы си Основные единицы
- •Некоторые производные механические единицы
- •Некоторые производные единицы электрических величин
- •Некоторые производные единицы магнитных величин
- •П.4. Внесистемные единицы, допускаемые к применению
- •П.5. Плотность некоторых твердых тел
- •Библиографический список
- •424000 Йошкар-Ола, пл. Ленина,3
- •424006 Йошкар-Ола, ул. Панфилова,17
1.4. Приближенные вычисления
В процессе обработки результатов физического эксперимента могут встречаться точные и приближенные числа.
К точным числамотносятся числовые коэффициенты и показатели степени в формулах, а также те величины после которых в скобках ставится слово «точно». Например, температура тройной точки воды
T= 273,16 К (точно).
Погрешность точных чисел равна нулю. К приближенным числамотносятся: результаты различных величин, округленные значения точных чисел, табличные значения математических, физических, химических и других величин и т.д.
Оценка точности приближенных величин проводится с помощью числа значащих цифр. Значащими цифрами числа называют все его цифры, в том числе и нули, если они не расположены в начале числа. Так числа 3,1416; 6,011 х 106; 0,0123 имеют соответственно пять, четыре и три значащих цифры.
Приближенные числа, полученные в вычислениях из таблиц или найденные другими способами, содержат разное количество значащих цифр, среди которых имеются верные, сомнительные и неверные цифры.
Верными цифрамиприближенного числа называютсяnпервых цифры, если абсолютная погрешность числа не превышает половины единицы разрядаn-й цифры (если превышает – число верных цифрn-1). В приближенных числах 2216+2; 628,5+1,2; (63,3+0,6) х 103верными являются соответственно три, две и одна первые значащие цифры.
Следующая за последней верной цифра в числе является не точно определенной (в ней содержится погрешность) и поэтому называется сомнительной (таких может быть две в случае наличия двух цифр в погрешности). Все последующие за сомнительной цифры будутневерными и должны быть отброшены.
В числовых значениях табличных данных принято записывать только верные цифры. Следовательно, абсолютная погрешность этих чисел не превышает половины единицы последнего разряда. Если последней цифрой десятичной дроби является нуль, его не опускают, поскольку его разряд указывает на величину погрешности. Например, 3(+0,5); 3,0(+0,05); 3,00(+0,005).
Существуют различные методы обработки результатов. Поскольку все они являются приближенными, найденные погрешности также являются приближенными. В соответствии с точностью методов принято определять погрешность опытов не более чем до двух, а в учебных лабораториях не более чем до одной значащей цифры. Например:
ΔI=0,42 А ≈ 0,5 А; ΔU=0,43·10-3В ≈ 0,5·10-3В. Исключением из этого правила являются погрешности, первая цифра которых – единица (ΔR=1,46 Ом ≈ 1,5 Ом).
Исходя из этого правила, относительную погрешностьтакже округляют от двух или одной цифр.
В процессе обработки результатов измерений выполняют математические операциинад приближенными числами. Естественно, что в результате таких операций получают также приближенные числа. Распространенной ошибкой является запись результата с дисплея калькулятора. Например, при вычислении сопротивления по формуле ОмаR=U/I, приU=3,0 В;I=2,1 А калькулятор показывает на дисплее 1,42857143. И студент записывает данный, с позволения сказать, результат в тетрадь, а потом доказывает его правомерность: калькулятор врать не может, он исправен! Но ведь получить результат с точностью большей, чем это допускают исходные данные в процессе расчетов бессмысленно. Поэтому приведем здесь правила приближенного определения количества сохраняемых значащих цифр при различных математических операциях.
1.Сложение и вычитание.Вначале определяют те разряды, в которых в каждом из слагаемых стоят сомнительные цифры. Находят сомнительный старший из этих разрядов. Сомнительная цифра в сумме (разности) будет находится в этом разряде, поэтому при сложении или вычитании приближенных чисел в результате следует сохранять столько же десятичных знаков.
Пример. 12,1+4,34+0,402=16,842≈16,8.
2.Умножение и деление.При умножении и делении приближенных чисел с одинаковым количеством значащих цифр в результате следует сохранять то же число значащих цифр.
Пример. 62,6 х 3,60 = 225,36 ≈ 225.
Если количество значащих цифр в сомножителях различно, в результате следует сохранять столько значащих цифр, сколько в сомножителе с наименьшим их количеством.
Пример. 73,5 х 0,84 = 61,74 ≈ 62.
3. Возведение в степень.Поскольку возведение в степень представляет собой произведение одинаковых сомножителей, то в результате сохраняется столько значащих цифр, сколько их имеет возводимое в степень число.
Пример. 0,442= 0,1936 ≈ 0,19.
4. Извлечение корня.При извлечении корня любой степени из приближенного числа следует сохранять столько значащих цифр, сколько их имеет подкоренное число.
5.Логарифмирование.В мантиссе (независимо от характеристики) логарифма приближенного числа сохраняется столько значащих цифр, сколько их имеет само число. Аналогичное правило справедливо и для обратной операции.
6.Правило запасной цифры.Для повышения точности результатов в промежуточных вычислениях необходимо сохранять на одну значащую цифру больше, чем это рекомендовано вышеизложенными правилами. В окончательном результате эта цифра отбрасывается.