
ГЛАВА 2. КОНТАКТ ЭЛЕКТРОННОГО И
ДЫРОЧНОГО ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Действие многих полупроводниковых приборов основано на использовании физических процессов, протекающих в области контакта дырочного (р-типа) и электронного (п-типа) полупроводников, называемой р-п-переходом. Проведем подробный анализ электрофизических свойств р-п-перехода.
2.1. Электрическое поле в области p-n-перехода
Рассмотрим случай резкого р-п-перехода, образованного на границе областей полупроводника с дырочной и электронной проводимостью (рис. 2.1а). Предположим, что акцепторная область полупроводника легирована сильнее, чем донорная ( N A > N D ). При возникновении контакта между областями
полупроводника с различным типом проводимости начнется взаимная диффузия основных носителей заряда. Электроны будут переходить из п-области в р-область, а диффузия дырок будет идти в противоположном направлении. В результате диффузии носителей заряда нарушается электрическая нейтральность примыкающих к металлургическому контакту (плоскость, где резко меняется тип примесей) частей полупроводника.
В р-области вблизи металлургической границы после диффузии из нее дырок остаются ионизированные акцепторы, отрицательный заряд которых некомпенсирован, а в п-области – ионизированные доноры, имеющие некомпенсированный положительный заряд. Это приводит к образованию области пространственного заряда, состоящей из двух разноименно заряженных слоев.

N A , N D
N A
а
б
в
г
д
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N D |
|
|
|
F |
|
|
|
|
|
x |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
+ |
+ |
|
|
|
п-тип |
|
jдифф |
– |
|
|
|
|
||||
– |
|
+ |
+ |
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
|
jдр |
|||
р-тип |
– |
|
+ |
+ |
|
|
|
||
– |
|
|
|
|
|
|
|||
|
ρ |
|
+ |
+ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
+ |
+ |
|
|
|
|
|
− Lp |
– |
|
0 |
L |
n |
|
|
|
x |
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
− Lp |
|
|
0 |
Ln |
|
|
|
x |
|
|
ϕ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ϕk |
|||
− Lp |
|
|
Ln |
|
|
|
|
x |
|
0 |
|
|
|
|
Рис. 2.1. Характеристики р-п-перехода: а – распределение примеси; б – разделение зарядов; в – распределение объемного заряда; г и д – распределения напряженности и потенциала

В области объемного заряда возникает электрическое поле, направленное от п-области к р-области и называемое диффузионным электрическим полем. Под действием этого поля возникает дрейф неосновных носителей заряда, а именно, дырок из п-области в р-область и электронов из р-области в п-область. Обмен носителями заряда между р- и п-областями будет продолжаться до тех пор, пока дрейфовый ток неосновных носителей заряда не сравняется по величине с диффузионным током основных носителей заряда (рис. 2.1б). В результате наступит равновесное состояние, при котором суммарный ток через р-п-переход будет равен нулю.
На рис. 2.1в представлено распределение объемной плотности заряда. Поскольку р-область полупроводника сильнее легирована, чем п-область, то объемная плотность заряда по
модулю в ней больше ( eN A > eN D , в предположении, что
примеси полностью ионизированы), а толщина области объемного заряда меньше( Lp < Ln ), так как суммарный
отрицательный заряд в области р-п-перехода (толщина области L = Lp + Ln ) должен быть равен по модулю суммарному
положительному заряду. Ниже это утверждение будет доказано строго.
Равномерному распределению заряда в каждой из областей р-п-перехода (за исключением очень узких приграничных областей с координатами близкими к − Lp и Ln ) соответствует
линейное изменение напряженности электрического поля с координатой (рис. 2.1г). В этом легко убедиться, если обратиться к теореме Гаусса в дифференциальной форме:
dF(x) |
= − |
eN A |
при |
− Lp < x ≤ 0 , |
|
||||
|
dx |
εε0 |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
dF(x) |
= |
eN D |
|
при |
0 ≤ x < Ln , |
(2.1) |
||
|
dx |
|
εε0 |
||||||
|
|
|
|
|
|

где ε – относительная диэлектрическая проницаемость;
электрическая постоянная вакуума. Интегрируя (2.1) по координате, получим
F(x) = − |
eN A |
(Lp + x) |
при |
− Lp < x ≤ 0 , |
||
|
|
|||||
|
|
εε0 |
|
|
||
F(x) = |
eN D |
(x − Ln ) |
при |
0 ≤ x < Ln . |
||
|
||||||
|
εε0 |
|
|
ε0 –
(2.2)
Здесь учтено, что электрическое поле вне области р-п-перехода отсутствует, т.е. F(−Lp ) = F(Ln ) = 0 . На металлургической
границе р- и п-областей отсутствует поверхностный заряд, следовательно, значения напряженностей электрического поля при подходе к границе слева и справа должны совпадать. Тогда из (2.2) должно непосредственно следовать, что суммарный заряд в р-п-переходе должен быть равен нулю, т.е. eN A Lp = eN D Ln . Из
этого равенства вытекает, что отношения толщин областей объемного заряда в р- и п-областях обратно пропорциональны концентрациям примесей:
N
Lp = ND Ln . (2.3)
A
В нашем случае N A > N D и, следовательно, Lp < Ln .
Линейной зависимости напряженности электрического поля от координаты в р-п-переходе соответствует параболический закон изменения потенциала электрического поля (рис. 2.1д):
x |
|
|
eN A |
(Lp + x)2 |
|
|
|
|
|
ϕ(x) = − ∫ |
F(x)dx = |
|
при |
− Lp < x ≤ 0 , |
|||||
2εε0 |
|
||||||||
−Lp |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x |
|
|
|
2 |
2 |
|
eN |
|
|
ϕ(x) = − ∫ |
F(x)dx = |
|
e(N A Lp + N D Ln ) |
+ |
D |
(x − Ln )2 |
|||
|
|
2εε0 |
|
|
|
||||
−Lp |
|
|
|
|
|
2εε0 |
|||
|
|
при |
0 ≤ x < Ln . |
|
|
(2.4) |

Из (2.4) можно найти диффузионный потенциал или контактную разность потенциалов ϕk областей р- и п-типа, а именно:
ϕk = ϕ(Ln ) − ϕ(−Lp ) = |
e |
(N A L2p + N D L2n ) . (2.5) |
|
||
|
2εε0 |
Из формулы (2.5) с учетом соотношения (2.3) найдем толщину р-п-перехода L = Lp + Ln . Для этого сначала Lp и Ln
выразим явным образом через L : |
|
|
|
|
|
|
||||||
L = Lp + Ln |
= |
N D |
Ln + Ln = |
|
N D + N A |
Ln |
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|||||||
Отсюда |
|
|
N A |
|
N A |
|
|
|
|
|||
N A |
|
|
|
|
|
|
N D |
|
|
|
|
|
Ln = |
|
|
L и Lp = |
|
|
|
L . |
(2.6) |
||||
N D + |
|
|
|
N D + |
|
|
||||||
|
N A |
|
N A |
|
Подставляя (2.6) в формулу (2.5), найдем выражение для толщины р-п-перехода:
L = |
2εε0 (N D + N A ) ϕk . |
(2.7) |
|
eN D N A |
|
Контактная разность потенциалов ϕk возникла вследствие
диффузии электронов и дырок при приведении в соприкосновение полупроводников р- и п-типа, для которых энергия Ферми имела различные значения (рис. 2.2а). В состоянии равновесия энергия Ферми должна быть всюду одинаковой. Отсюда непосредственно следует, что
ϕk = EFp −e EFn ,
где EFp и EFn – энергии Ферми в полупроводниках р- и п-типов
соответственно до приведения полупроводников в соприкосновение.
На рис. 2.2б изображена зонная энергетическая диаграмма р- п-перехода в равновесном состоянии. Видно, что энергетические зоны в области р-п-перехода изгибаются так, что на пути

движения основных носителей заряда (дырок из р-области в п- область, а электронов наоборот) появляется потенциальный барьер, высота которого равна eϕk .
|
|
|
EC |
|
|
|
|
EC |
||
|
|
|
|
|
|
|
||||
а |
|
|
|
EFn |
||||||
|
|
|
EFp |
|
|
|
EV |
|||
|
|
|
E |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
V |
|
|
|
|
|||
б |
eϕk |
|
EC |
|||||||
|
|
|||||||||
|
EFp |
|
|
EFn |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
EV |
||
|
|
|
|
|
|
e(ϕk −U ) |
EC |
|||
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|||||
в |
||||||||||
|
|
|||||||||
|
EFp |
|
|
EFn |
||||||
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
EV |
||
г |
|
e(ϕk +U ) |
||||||||
|
EFp |
|
|
EC |
||||||
|
|
|
EFn |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
EV
Рис. 2.2. Зонные диаграммы: а – полупроводников р- и п-типов; б, в и г – р-п-перехода (б – равновесное состояние; в – прямое смещение; г – обратное смещение).
При подаче напряжения прямого смещения U на р-п- переход (плюс к р-области) высота потенциального барьера