- •Глава 6. Полевые транзисторы
- •6.1. Характеристики моп пт в области плавного канала
- •6.2. Характеристики моп пт в области отсечки
- •6.3. Эффект смещения подложки
- •6.4. Малосигнальные параметры
- •6.5. Эквивалентная схема и быстродействие мдп‑транзистора
- •6.6. Методы определения параметров моп пт из характеристик
- •6.7. Подпороговые характеристики мдп‑транзистора
- •6.8. Учет диффузионного тока в канале
- •6.9. Неравновесное уравнение Пуассона
- •6.10. Уравнение электронейтральности в неравновесных условиях
- •6.11. Вольт-амперная характеристика мдп‑транзистора в области сильной и слабой инверсии
- •6.12. Мдп‑транзистор как элемент памяти
- •6.13. Мноп‑транзистор
- •6.14. Моп пт с плавающим затвором
- •6.15. Приборы с зарядовой связью
- •6.16. Полевой транзистор с затвором в виде р‑nперехода
- •6.17. Микроминиатюризация мдп‑приборов
- •6.18. Физические явления, ограничивающие микроминиатюризацию
- •6.19. Размерные эффекты в мдп‑транзисторах
6.2. Характеристики моп пт в области отсечки
Как следует из уравнения (6.9), по мере роста напряжения исток‑сток VDSв канале может наступить такой момент, когда произойдет смыкание канала, т.е. заряд электронов в канале в некоторой точке станет равным нулю. Это соответствует условию:
. (6.11)
Поскольку
максимальная величина напряжения V(y)
реализуется на стоке, то смыкание канала,
или отсечка, произойдет у стока. Напряжение
стокаVDS, необходимое для
смыкания канала, называется напряжением
отсечкиVDS*.
Величина напряжения отсечки определяется
соотношением (6.11). На рисунке 6.4 показаны
оба состояния – состояние плавного
канала и отсеченного канала. С ростом
напряжения стокаVDSточка
канала, соответствующая условию отсечки
(6.11), сдвигается от стока к истоку. В
первом приближении при этом на участке
плавного канала от истока до точки
отсечки падает одинаковое напряжение
,
не зависящее от напряжения исток‑сток.
Эффективная длина плавного каналаL'от истока до точки отсечки слабо
отличается от истинной длины каналаLи обычно
.
Это обуславливает в области отсечки в
первом приближении ток стокаIDS,
не зависящий от напряжения стокаVDS.
Подставив значение напряжения отсечкиVDS*из (6.11) в (6.10) вместо значения напряжения
стокаVDS, получаем для области
отсечки выражение для тока стока:
. (6.12)
Соотношение (6.12) представляет собой запись вольт-амперной характеристики МДП‑транзистора в области отсечки. Зависимости тока стока IDS от напряжения на затвореVGS называются обычно переходными характеристиками (рис. 6.5), а зависимости тока стока IDSот напряжения на стокеVDS – проходными характеристиками транзистора.
При
значительных величинах напряжения
исток‑сток и относительно коротких
каналах (L = 10÷20 мкм)
в области отсечки наблюдается эффект
модуляции длины канала. При этом точка
отсечки смещается к истоку и напряжение
отсечкиVDS*падает на меньшую длину
канала. Это вызовет увеличение токаIDSканала. Величина напряжения ΔV,
падающая на участке ΔLот стока отсечки, будет равна:
. (6.13)

Рис. 6.4. Зависимость тока стокаIDSот напряжения на стокеVDSдля МОП ПТ при различных напряжениях на затворе. Пороговое напряжение VT = 0,1 В. Сплошная линия – расчет по (6.10) и (6.12), точки – экспериментальные результаты
Поскольку напряжение ΔVпадает на обратносмещенномp‑n+переходе, его ширина ΔLбудет равна:
. (6.14)
Ток
канала равен IDSº,
когда напряжение исток‑сток
равно напряжению отсечки и величина
ΔL = 0.
ОбозначимIDSток стока при
большем напряжении стока:
.
Тогда
. (6.15)
Следовательно, ВAX МДП‑транзистора с учетом модуляции длины канала примет следующий вид:
. (6.16)

Рис. 6.5.
Зависимость тока стокаIDSот
напряжения на затвореVGSв
области плавного канала приVDS = 0,1 B –
кривая 1; зависимость корня из тока стока
от напряжения на затворе в области
отсечки – кривая 2
Эффект модуляции длины канала оказывает большое влияние на проходные характеристики МДП‑транзистора с предельно малыми геометрическими размерами.
6.3. Эффект смещения подложки
Рассмотрим, как меняются характеристики МДП‑транзистора при приложении напряжения между истоком и подложкой. Отметим, что приложенное напряжение между истоком и подложкой при условии наличия инверсионного канала падает на обедненную область индуцированного р‑nперехода.
В этом случае при прямом его смещении будут наблюдаться значительные токи, соответствующие прямым токам р‑nперехода. Эти токи попадут в стоковую цепь и транзистор работать не будет. Поэтому используется только напряжение подложки, соответствующее обратному смещению индуцированного и истоковогор‑nперехода. По полярности это будет напряжение подложки противоположного знака по сравнению с напряжением стока. При приложении напряжения канал-подложка происходит расширение ОПЗ и увеличение заряда ионизованных акцепторов:
. (6.17)
Поскольку напряжение на затворе VGSпостоянно, то постоянен и заряд на затворе МДП‑транзистораQm. Следовательно, из уравнения электронейтральности вытекает, что если заряд акцепторов в слое обедненияQBвырос, заряд электронов в каналеQnдолжен уменьшиться. С этой точки зрения подложка выступает как второй затвор МДП‑транзистора, поскольку регулирует также сопротивление инверсионного канала между истоком и стоком.
При возрастании заряда акцепторов в слое обеднения возрастет и пороговое напряжение транзистора VТ, как видно из (6.3). Изменение порогового напряжения будет равно:
. (6.18)
Поскольку смещение подложки приводит только к изменению порогового напряжения VТ, то переходные характеристики МДП‑транзистора при различных напряжениях подложкиVSSсмещаются параллельно друг другу. На рисунках 6.6, 6.7 показан эффект влияния смещения подложки на проходные и переходные характеристики.

Рис. 6.6. Влияние напряжения смещения канал-подложкаVSSна проходные характеристики транзистора в области плавного каналаVDS = 0,1 В

Рис. 6.7. Переходные характеристики МДП‑транзистора при нулевом напряжении смещения канал-подложка (сплошные линии) и при напряженииVSS = -10 В (пунктирные линии)
