ЛЕКЦИИ ФШФС_2007 / НАШИ СТАТЬИ / RadEl5_05_РУС.pdf / RadEl5_05ZhigalskiiLO

‡БОЛ˜МЫ˛ ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЫ˛ У· ‡·УЪНЫ ‰М‡ НУМ- Ъ‡НЪМ˚ı УНУМ: ·ВБ ‰УФУОМЛЪВО¸МУИ У· ‡·УЪНЛ (1); ФВ ‚˚И ТФУТУ· У· ‡·УЪНЛ (2); ‚ЪУ УИ ТФУТУ· У· ‡·УЪНЛ (3); У· ‡·УЪН‡ ЛУМ‡ПЛ ‡ „УМ‡ ‚ ‚˚- · ‡ММУП УФЪЛП‡О¸МУП ВКЛПВ Т ˝МВ „ЛВИ ЛУМУ‚ 20 Н˝З Л ‰УБУИ 150 ПНдО/ТП2 (4) [60]. СОfl Т ‡‚МВМЛfl М‡ ЛТ. 11 Ф Л‚В‰ВМ‡ Ъ‡НКВ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ ‰Оfl НУМЪ‡НЪУ‚ ПВКЫ У‚МВ‚УИ ПВЪ‡О- ОЛБ‡ˆЛЛ еВ1(Al/1% Si)–åÂ2(Al/1% Si) (Í Ë‚‡fl 5) ˇÒÒ˜ËÚ‡Ì̇fl ÔÓ ÙÓ ÏÛΠïÓÛ„Â (1) (Í Ë‚‡fl 6). щЩЩВНЪЛ‚М˚И У·˙ВП У·О‡ТЪЛ У‰МУ„У НУМЪ‡НЪ‡

Ô Ë ‡Ò˜ÂÚÂ Ô ËÌflÚ ‡‚Ì˚Ï V˝Ù = 6 × 10–12 ÒÏ–3 (nc = 1.8 × 1023 ÒÏ–3). àÁ ÔÓÎÛ˜ÂÌÌ˚ı ÂÁÛθڇÚÓ‚

ÒΉÛÂÚ, ˜ÚÓ ëèå 1/f-¯ЫП‡ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТЛТЪВП еВ1–еВ2 ıУ У¯У ‡ФФ УНТЛПЛ ЫВЪТfl ЩУ ПЫОУИ

(1). з‡·О˛‰‡ВП˚В МВ·УО¸¯ЛВ ‡ТıУК‰ВМЛfl ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ Т‚flБ‡М˚ Т МВЪУ˜МУТЪ¸˛ ‚ УФ В‰ВОВМЛЛ ˝Щ- ЩВНЪЛ‚МУ„У У·˙ВП‡ У·О‡ТЪЛ НУМЪ‡НЪ‡ ЛОЛ Т ‰У- ФУОМЛЪВО¸М˚П ‚НО‡‰УП ‚‡Н‡МТЛУММУ„У 1/f-¯ЫП‡, ‚УБМЛН‡˛˘В„У ‚ У·О‡ТЪЛ НУМЪ‡НЪМУ„У ФВ ВıУ‰‡.

з‡ fl‰Ы Т ЛБПВ ВМЛВП лие 1/f-¯Ûχ ‚ ˆÂÔӘ͠ÍÓÌÚ‡ÍÚÌ˚ı ÒÚ ÛÍÚÛ Me1(Al/1% Si)–Si(n+) Л еВ1–еВ2 ЛБПВ flОЛ Ъ‡НКВ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп. аБПВ ВМЛВ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ Ф У‚У‰ЛОЛ ПВЪУ‰УП Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ Ф Л ˜‡ТЪУЪВ ЪВТЪУ‚У„У ТЛМЫТУЛ‰‡О¸МУ„У ЪУН‡ f = 0.2 еЙˆ Л ‡ТТ˜ЛЪ˚‚‡ОЛ ФУ ЩУ ПЫОВ (28·). дУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ ЛБПВ flОЛ ‚ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ УЪ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ I0 Ф Л ЩЛНТЛ У‚‡ММУП М‡- Ф flКВМЛЛ ТЛ„М‡О‡ УТМУ‚МУИ ˜‡ТЪУЪ˚ U1 = 250 ÏÇ.

KN, ‰Å –70

–90

–110

–130

êËÒ. 12. ᇂЛТЛПУТЪ¸ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ

ÇÄï ÍÓÌÚ‡ÍÚÓ‚ Al/Si(1%)–n+Si УЪ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ОВ- „Л Ы˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ (ЩУТЩУБ‡).

ᇂЛТЛПУТЪ¸ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп KN УЪ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ОВ„Л Ы˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ ‚ ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛНВ NP Ф Л‚В‰ВМ‡ М‡ ЛТ. 12. д‡Н ‚Л‰МУ ЛБЛТЫМН‡, НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ Б‡‚ЛТЛЪ УЪ NP. м‚ВОЛ˜ВМЛВ НУМˆВМЪ ‡- ˆЛЛ Ф ЛПВТЛ УЪ 1 Ч 1019 ÒÏ–3 ‰Ó 5 × 1020 ÒÏ–3 Ф Л‚У- ‰ЛЪ Н ЩУ ПЛ У‚‡МЛ˛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚, ˜ВП Л У·˙flТМflВЪТfl ЫПВМ¸¯ВМЛВ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп. щЪЛ ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ, ˜ЪУ ФУ Ы У‚М˛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ KN ПУКМУ ТЫ‰ЛЪ¸ У Н‡˜ВТЪ‚В УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ аел.

ᇂЛТЛПУТЪЛ KN УЪ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ I0 ‰Îfl ÍÓÌÚ‡ÍÚÌ˚ı ÒÚ ÛÍÚÛ Me1(Al/1% Si)–Si(n+), Ô Ó- ¯Â‰¯Ëı ‡Á΢ÌÛ˛ ÚÂıÌÓÎӄ˘ÂÒÍÛ˛ Ó· ‡·ÓÚÍÛ ‰Ì‡ ÍÓÌÚ‡ÍÚÌ˚ı ÓÍÓÌ, Ô Ë‚Â‰ÂÌ˚ ̇ ËÒ. 13 (Í Ë- ‚˚ 1–4) [60]. ÑÎfl Ò ‡‚ÌÂÌËfl Ô Ë‚Â‰Â̇ Ú‡ÍÊ Á‡-

êËÒ. 13. ᇂЛТЛПУТЪЛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп УЪ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ ‰Оfl ˆВФУ˜НЛ ЛБ 196 УПЛ˜В-

ÒÍËı ÍÓÌÚ‡ÍÚÓ‚ Al/Si(1%)–n+Si (1–4), Ô Ó¯Â‰¯Ëı ‡Á- ΢ÌÛ˛ ÚÂıÌÓÎӄ˘ÂÒÍÛ˛ Ó· ‡·ÓÚÍÛ ‰Ì‡ ÍÓÌÚ‡ÍÚÌ˚ı ÓÍÓÌ [60] Ô Ë f1 = 0.2 åɈ, U1 = 250 ÏÇ: Í Ë‚‡fl 1 – ·ÂÁ

Ó· ‡·ÓÚÍË, 2, 3, 4 – ‰Оfl ‡БОЛ˜М˚ı ‚Л‰У‚ ЪВıМУОУ„Л- ˜ВТНУИ У· ‡·УЪНЛ, 4 – ‡ÏÓ ÙËÁ‡ˆËfl ËÓÌÌ˚Ï ÎÂ„Ë Ó- ‚‡ÌËÂÏ; Í Ë‚‡fl 5 – ‰Îfl ÍÓÌÚ‡ÍÚÓ‚ Al/Si(1%)– Al/Si(1%).

‚ЛТЛПУТЪ¸ ‰Оfl НУМЪ‡НЪУ‚ ПВКЫ У‚МВ‚УИ ПВЪ‡ООЛ- Б‡ˆЛЛ Me1(Al/1% Si)–åÂ2(Al/1% Si) (Í Ë‚‡fl 5).

л ‡‚МВМЛВ ЛТ. 11 Л 13 ФУН‡Б˚‚‡ВЪ, ˜ЪУ Ы У- ‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ ‰Оfl НУМЪ‡НЪМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ , Ф У¯В‰- ¯Лı ‡БОЛ˜МЫ˛ ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЫ˛ У· ‡·УЪНЫ, ıУ-У¯У НУ ВОЛ ЫВЪ Т ‚ВОЛ˜ЛМУИ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп KN. è Ë ˝ÚÓÏ Ì‡ËÏÂ̸¯ËÏ Û Ó‚ÌÂÏ 1/f-¯Ûχ Ë ‚Â΢ËÌÓÈ KN У·О‡‰‡˛Ъ НУМ- Ъ‡НЪ˚, ТЩУ ПЛ У‚‡ММ˚В ФУТОВ У· ‡·УЪНЛ ‰М‡ НУМ- Ъ‡НЪМ˚ı УНУМ ЛУМ‡ПЛ ‡ „УМ‡ ‚ УФЪЛП‡О¸МУП ВКЛПВ ( ЛТ. 11 Л 13, Н Л‚˚В 4). й· ‡·УЪН‡ ЛУМ‡ПЛ ‡ - „УМ‡ ТУБ‰‡ВЪ ТЛО¸МУ ‡Б‚ЛЪЫ˛ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ‰М‡ НУМЪ‡НЪМ˚ı УНУМ, ˜ЪУ Ы‚ВОЛ˜Л‚‡ВЪ ˝ЩЩВНЪЛ‚МЫ˛ ФОУ˘‡‰¸ НУМЪ‡НЪЛ У‚‡МЛfl Л ЫОЫ˜¯‡ВЪ ˝ОВНЪ Л- ˜ВТНЛВ Л ЪВФОУ‚˚В Т‚УИТЪ‚‡ НУМЪ‡НЪМ˚ı ЫБОУ‚.

З ‰ Ы„Лı ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ı ·˚О‡ ЫТЪ‡МУ‚ОВМ‡ Т‚flБ¸ ПВК‰Ы ‰УО„У‚ ВПВММУИ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸˛ Л НУ- ˝ЩЩЛˆЛВМЪУП МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ‰Оfl УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ ПВЪ‡ОО-ФУОЫФ У‚У‰МЛН [60]. СОfl ЛТФ˚- Ъ‡МЛИ Ф УЛБ‚УО¸МУ ‚БflОЛ 33 нал Т НУМЪ‡НЪМ˚ПЛ ТЪ ЫНЪЫ ‡ПЛ ПВЪ‡ОО–ФУОЫФ У‚У‰МЛН (Al/1% Si)– Si(n+) Т НУМˆВМЪ ‡ˆЛВИ ОВ„Л Ы˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ ·У ‡ ‚ НУМЪ‡НЪМУИ У·О‡ТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ NB = 8 × × 1019 cÏ–3, ФУ‚В ıМУТЪМУВ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ ТОУfl ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚ НУМЪ‡НЪМУИ У·О‡ТЪЛ RÍ(0) = 9 йП/ . лЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ ТЪ ЫНЪЫ УФ В‰ВОflОЛ ФЫЪВП Ф У‚В- ‰ВМЛfl ЪВ ПУ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ъ ВМЛ У‚НЛ (нщн) Ф Л ЪВПФВ ‡ЪЫ В 398 д Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ ˜В ВБ НУМЪ‡Н- Ъ˚ 5 Ч 105 Ä/ÒÏ2 ‚ ЪВ˜ВМЛВ ‚ ВПВМЛ t = 264 ˜. СУ М‡- ˜‡О‡ Ф У‚В‰ВМЛfl нщн ЛБПВ flОЛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ KN(0) (t = 0) Л ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ RÍ(0). иУ Б‡‚В ¯ВМЛЛ ЛТФ˚Ъ‡МЛИ УФ В‰ВОflОЛ УЪМУТЛЪВО¸М˚В ЛБПВМВМЛfl ТУФ УЪЛ‚- ОВМЛfl НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ (НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ ТЪ‡ ВМЛfl) KR(t) ÔÓ ÙÓ ÏÛÎÂ

„‰Â RÍ(t) – ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ ФУТОВ Б‡‚В ¯ВМЛfl нщн.

б‡ЪВП ·˚О‡ Ф У‚В‰ВМ‡ ТЪ‡ЪЛТЪЛ˜ВТН‡fl У· ‡- ·УЪН‡ ВБЫО¸Ъ‡ЪУ‚ ЛТФ˚Ъ‡МЛИ Л ‡ТТ˜ЛЪ‡М НУ˝Щ- ЩЛˆЛВМЪ НУ ВОflˆЛЛ KÍÓ ПВК‰Ы М‡˜‡О¸М˚П НУ- ˝ЩЩЛˆЛВМЪУП МВОЛМВИМУТЪЛ KN(0) (‰У Ф У‚В‰ВМЛfl нщн) Л НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУП ТЪ‡ ВМЛfl KR(t) (ФУТОВ Ф У‚В‰ВМЛfl нщн). дУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ НУ ВОflˆЛЛ УН‡- Б‡ОТfl ‡‚ВМ KÍÓ {KN(0), KR(t = 264 ˜)} = 0.95. иУОЫ- ˜ВММ˚И ВБЫО¸Ъ‡Ъ ФУН‡Б˚‚‡ВЪ, ˜ЪУ ПВК‰Ы ‰УО„У- ‚ ВПВММУИ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸˛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ Л М‡˜‡О¸М˚П НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУП МВОЛМВИМУТЪЛ KN(0) ТЫ˘ВТЪ‚ЫВЪ БМ‡˜ЛП‡fl НУ ВОflˆЛУММ‡fl Т‚flБ¸. лЫ- ˘ВТЪ‚У‚‡МЛВ Ъ‡НУИ Т‚flБЛ У·˙flТМflВЪТfl ЪВП, ˜ЪУ МВТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ НУМЪ‡НЪМУ„У ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl Ф Л нщн У·ЫТОУ‚ОВМ‡ ПЛН У‰ВЩВНЪ‡ПЛ ТЪ ЫНЪЫ ˚ НУМЪ‡НЪМ˚ı ФВ ВıУ‰У‚, НУЪУ ˚В Ф ЛТЫЪТЪ‚Ы˛Ъ ‚ У· ‡Бˆ‡ı ‰У М‡˜‡О‡ нщн Л Ф Уfl‚Оfl˛ЪТfl ‚ ЛТıУ‰- МУИ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп НУМЪ‡НЪУ‚. аМ˚ПЛ ТОУ‚‡- ПЛ, ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТН‡fl МВЫТЪУИ˜Л‚УТЪ¸ ЛТıУ‰МУ- „У ТУТЪУflМЛfl НУМЪ‡НЪУ‚, ı‡ ‡НЪВ ЛБЫВП‡fl М‡˜‡О¸- МУИ МВОЛМВИМУТЪ¸˛ ЗДп, ‚ ıУ‰В Ф У‚В‰ВМЛfl нщн

Ф Л‚У‰ЛЪ Н ‰В„ ‡‰‡ˆЛУММУПЫ ЛБПВМВМЛ˛ ТУФ У- ЪЛ‚ОВМЛfl НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡.

ä‡Í ÔÓ͇Á‡ÌÓ ‚˚¯Â, Û Ó‚Â̸ 1/f-¯ЫП‡ НУМЪ‡Н- ЪУ‚ Л ‚ВОЛ˜ЛМ‡ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп НУМЪ‡НЪУ‚ ‚Б‡ЛПУТ‚flБЛ. и Л ‡Б ‡·УЪНВ ПВЪУ‰‡ НУМЪ УОfl ТЪ‡·ЛО¸МУТЪЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡Н- ЪУ‚ ‚ Ф УЛБ‚У‰ТЪ‚ВММ˚ı ЫТОУ‚Лflı Ф В‰ФУ˜ЪВМЛВ ТОВ‰ЫВЪ УЪ‰‡Ъ¸ ПВЪУ‰Ы Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ, ФУТНУО¸- НЫ ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ЛПВВП ‰ВОУ Т ‰ВЪВ ПЛМЛ У‚‡ММ˚П ТЛ„М‡ОУП, ˜ЪУ ЫФ У˘‡ВЪ Ф УˆВТТ ЛБПВ ВМЛИ.

иУТЪВФВММ˚В УЪН‡Б˚ ‚ аел ˜‡ТЪУ fl‚Оfl˛ЪТfl ТОВ‰ТЪ‚ЛВП ‰В„ ‡‰‡ˆЛЛ ЩЛБЛНУ-ıЛПЛ˜ВТНЛı Т‚УИТЪ‚ НУМЪ‡НЪУ‚ Ф Л ВТЪВТЪ‚ВММУП ТЪ‡ ВМЛЛ ЛОЛ ФУ‰ ‚ОЛflМЛВП ˝НТФОЫ‡Ъ‡ˆЛУММ˚ı Щ‡НЪУ У‚. й·М‡ Ы- КВММ‡fl Т‚flБ¸ ПВК‰Ы М‡˜‡О¸МУИ МВОЛМВИМУТЪ¸˛ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ Л Лı ‰УО„У‚ ВПВММУИ ТЪ‡- ·ЛО¸МУТЪ¸˛, ФУ ‚ТВИ ‚Л‰ЛПУТЪЛ, У·ЫТОУ‚ОВМ‡ МВЫТЪУИ˜Л‚˚ПЛ ПЛН У‰ВЩВНЪ‡ПЛ ТЪ ЫНЪЫ ˚ ‚ У·О‡ТЪЛ НУМЪ‡НЪМУ„У ФВ ВıУ‰‡ (‚ ЪУП ˜ЛТОВ ‚‡Н‡МТЛflПЛ ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНВ), НУЪУ ˚В Ф ЛТЫЪТЪ‚Ы˛Ъ ‚ У· ‡Бˆ‡ı ‰У Ф У‚В‰ВМЛfl нщн Л ‰‡˛Ъ ‚НО‡‰ ‚ ЛТıУ‰МЫ˛ МВОЛМВИМУТЪ¸ ЗДп НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т ‚˚ ‡КВМЛВП (11). з‡Л·УОВВ ‚В УflЪМ‡fl ‰В- „ ‡‰‡ˆЛfl УПЛ˜ВТНУ„У НУМЪ‡НЪ‡ Ф УЛТıУ‰ЛЪ ‚ТОВ‰- ТЪ‚ЛВ ‰ЛЩЩЫБЛЛ Ф ЛПВТВИ [61] Л Ф ВК‰В ‚ТВ„У ОВ„Л Ы˛˘ВИ, ЛБ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЫ˛ ФОВМНЫ. и Л ˝ЪУП Ф ЛФУ‚В ıМУТЪМ‡fl У·О‡ТЪ¸ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ У·В‰МflВЪТfl Ф ЛПВТflПЛ, ‚ТОВ‰ТЪ- ‚ЛВ ˜В„У Ф УЛТıУ‰ЛЪ УТЪ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl УПЛ˜ВТНУ„У НУМЪ‡НЪ‡. ЦТОЛ НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ‚‡Н‡МТЛИ ‚ ПВ- Ъ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНВ ФУ‚˚¯ВМ‡, ‰ЛЩЩЫБЛfl Ф ЛПВТЛ ·Ы‰ВЪ Ф УЛТıУ‰ЛЪ¸ ·УОВВ ЛМЪВМТЛ‚МУ, ˜ЪУ ‰УОКМУ Ф Л‚ВТЪЛ Н Ы‚ВОЛ˜ВМЛ˛ НУМЪ‡НЪМУ„У ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl. щЪУЪ ˝ЩЩВНЪ Л М‡·О˛‰‡ВЪТfl ‚ Ф Л‚В‰ВММ˚ı ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚ı ВБЫО¸Ъ‡Ъ‡ı.

д‡Н ЛБ‚ВТЪМУ, УˆВМН‡ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ аел ·ВБ Ф У‚В‰ВМЛfl ‰ОЛЪВО¸М˚ı Л ‰У У„УТЪУfl˘Лı ЛТФ˚Ъ‡МЛИ fl‚ОflВЪТfl ‚‡КМВИ¯ВИ ‰Оfl Ф ‡НЪЛНЛ Б‡‰‡˜ВИ. лУ„О‡ТМУ Ф Л‚В‰ВММ˚П В- БЫО¸Ъ‡Ъ‡П, ˝Ъ‡ Б‡‰‡˜‡ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ В¯ВМ‡ ФЫЪВП ЛБПВ ВМЛИ Ы У‚Мfl 1/f-¯ЫП‡ ЛОЛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ЪВТЪУ‚˚ı НУМЪ‡НЪМ˚ı ТЪ ЫНЪЫ , НУЪУ ˚В У·˚˜МУ ЛБ„УЪ‡‚ОЛ‚‡˛ЪТfl М‡ Н ВПМЛВ‚УИ ФО‡ТЪЛМВ У‰МУ‚ ВПВММУ Т ЩУ ПЛ У‚‡МЛВП НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ ‚ аел.

з‡ УТМУ‚В ЫТЪ‡МУ‚ОВММУИ Т‚flБЛ ПВК‰Ы НУ˝Щ- ЩЛˆЛВМЪУП ТЪ‡ ВМЛfl УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ ПВ- Ъ‡ОО–ФУОЫФ У‚У‰МЛН Л Ы У‚МВП Лı М‡˜‡О¸МУИ МВОЛМВИМУТЪЛ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ТУБ‰‡М ПВЪУ‰ Ф У„МУБЛ У- ‚‡МЛfl ‰УО„У‚ ВПВММУИ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ ФУ М‡˜‡О¸МУИ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп (ФУ Ы У‚М˛ ‡ПФОЛЪЫ‰˚ Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ), НУЪУ ˚И ЛПВВЪ fl‚М˚В Ф ВЛПЫ˘ВТЪ‚‡ ФВ В‰ ЛБ‚ВТЪМ˚ПЛ ПВЪУ‰‡ПЛ ЫТНУ ВММ˚ı ЛТФ˚Ъ‡МЛИ Ф Л ЪВ ПЛ˜ВТНУИ Л ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ М‡„ ЫБН‡ı. еВЪУ‰ НУМЪ УОfl ‰УО- „У‚ ВПВММУИ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚, УТМУ‚‡ММ˚И М‡ ЛБПВ ВМЛЛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп, ФУБ‚УОflВЪ Ф УЛБ‚У‰ЛЪ¸ УФВ ‡ЪЛ‚-

ÌÛ˛ ÓˆÂÌÍÛ Í‡˜ÂÒÚ‚‡ ÚÂıÌÓÎÓ„ËË ÙÓ ÏË Ó‚‡ÌËfl ÓÏ˘ÂÒÍËı ÍÓÌÚ‡ÍÚÓ‚ ‚ Ô ÓˆÂÒÒÂ Ô ÓËÁ‚Ó‰ÒÚ‚‡ àåë, fl‚ÎflÂÚÒfl ˝ÍÒÔ ÂÒÒÌ˚Ï Ë ÌÂ Ú Â·ÛÂÚ Á̇˜Ë- ÚÂθÌ˚ı Ô ÓËÁ‚Ó‰ÒÚ‚ÂÌÌ˚ı Á‡Ú ‡Ú.

Ç.и У„МУБЛ У‚‡МЛВ ПВı‡МЛ˜ВТНУИ Ф У˜МУТЪЛ ПЛН УТ‚‡ М˚ı НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ

àåë ÔÓ Û Ó‚Ì˛ 1/f-¯Ûχ

аТТОВ‰У‚‡МЛfl ‚˚ФУОМВМ˚ М‡ ЪВТЪУ‚˚ı ПЛН У- Т‚‡ М˚ı НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛflı [63], ЛБ„УЪУ‚- ОВММ˚ı ПВЪУ‰УП ЪВ ПУНУПФ ВТТЛУММУИ Т‚‡ НЛ [62]. иУ‰У·М˚В ТУВ‰ЛМВМЛfl ЛТФУО¸БЫ˛ЪТfl ‚ лЗу Йал. бУОУЪ‡fl Ф У‚УОУН‡ ‰Л‡ПВЪ УП 50 ПНП Ф Л- ‚‡ Л‚‡О‡Т¸ ПВЪУ‰УП ПЛН УТ‚‡ НЛ М‡ НУМЪ‡НЪМ˚В ФОУ˘‡‰НЛ ЛБ ФОВМУН ПВ‰Л (0.6 Ч 0.6 ПП2, ЪУО˘ЛМ‡ 6 ПНП), УТ‡К‰ВММ˚ı М‡ ТЛЪ‡ООУ‚УИ ФУ‰ОУКНВ. и Л ЛБ„УЪУ‚ОВМЛЛ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ ‚‡ ¸Л-У‚‡ОЛ ВКЛП ПЛН УТ‚‡ НЛ. нВТЪУ‚˚В У· ‡Бˆ˚ ‰Оfl ЛБПВ ВМЛИ ·˚ОЛ ‚˚ФУОМВМ˚ ‚ ‚Л‰В ФУОЫПУТЪУ‚УИ ТıВП˚, ТУ‰В К‡˘ВИ ‚ Н‡К‰УП ФОВ˜В ФУ ‰‚‡ ПЛН УТ‚‡ М˚ı ТУВ‰ЛМВМЛfl, ‡БПВ˘ВММ˚ı ‚ НУ - ФЫТВ. уЪУ·˚ ТМЛБЛЪ¸ Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ ЫБО‡ НУМ- Ъ‡НЪМ‡fl ФОУ˘‡‰Н‡ – МУКН‡ НУ ФЫТ‡, ЪВТЪУ‚˚В ˝ОВПВМЪ˚ Ф Л‚‡ Л‚‡ОЛ М‡ МУКНЛ НУ ФЫТ‡ Т ФУПУ- ˘¸˛ ¯ЛМ, ТУТЪУfl˘Лı ЛБ Ъ Вı Ф‡ ‡ООВО¸МУ ТУВ‰Л- МВММ˚ı БУОУЪ˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚.

З˚fl‚ОВМУ ‚ОЛflМЛВ ВКЛПУ‚ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl ПЛ- Н УТ‚‡ М˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ М‡ Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ Л НУ- ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп. л ‡БЫ ФУТОВ ЛБ- „УЪУ‚ОВМЛfl У· ‡БˆУ‚ ЛБПВ flОЛ лие 1/f-¯ЫП‡. б‡ЪВП У· ‡Бˆ˚ ‚˚‰В КЛ‚‡ОЛ ‚ МУ П‡О¸М˚ı ЫТОУ- ‚Лflı Л ˜В ВБ 10 ‰МВИ УФ В‰ВОflОЛ ПВı‡МЛ˜ВТНЫ˛ Ф У˜МУТЪ¸ ТУВ‰ЛМВМЛИ БУОУЪУИ Ф У‚УОУНЛ Т НУМ- Ъ‡НЪМ˚ПЛ ФОУ˘‡‰Н‡ПЛ ‡Б Ы¯‡˛˘ЛП ПВЪУ‰УП, ФЫЪВП ЛБПВ ВМЛИ ЫТЛОЛИ УЪ ˚‚‡ Ф У‚У‰МЛН‡ ‚ БУМВ НУМЪ‡НЪ‡. З˚fl‚ОВМ‡ Т‚flБ¸ ПВК‰Ы Ы У‚МВП лие 1/f-¯ЫП‡ ‚ Т‚ВКВЛБ„УЪУ‚ОВММ˚ı У· ‡Бˆ‡ı Л ПВı‡МЛ˜ВТНУИ Ф У˜МУТЪ¸˛ ПЛН УТ‚‡ МУ„У ТУВ‰Л- МВМЛfl [63]. и Л˜ВП, ВТОЛ УЪ ˚‚ Ф У‚У‰МЛН‡ Ф У- ЛТıУ‰ЛЪ ФУ ФВ ЛПВЪ Ы БУМ˚ Т‚‡ НЛ ЛОЛ ЛПВВЪ ПВТЪУ УЪТОУВМЛВ Ф У‚У‰МЛН‡ УЪ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ, ЪУ Ф УТОВКЛ‚‡ВЪТfl Б‡НУМУПВ МУТЪ¸ Ы‚В- ОЛ˜ВМЛfl Ф У˜МУТЪЛ ‰Оfl НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ Т ПВМ¸¯ЛП Ы У‚МВП 1/f-¯Ûχ.

д‡Н ЫТЪ‡МУ‚ОВМУ ‚ [62], ‚ БУМВ Т‚‡ МУ„У ¯‚‡ Н ПУПВМЪЫ В„У УТЪ˚‚‡МЛfl ФУТОВ Ф У‚В‰ВМЛfl ПЛН У- Т‚‡ НЛ ТЫ˘ВТЪ‚ЫВЪ ЛБ·˚ЪУ˜М‡fl НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ‚‡- Н‡МТЛИ. З Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ УЪ ВКЛП‡ Т‚‡ НЛ НУМˆВМ- Ъ ‡ˆЛfl ‚‡Н‡МТЛИ ‚ БУМВ ¯‚‡ ‡БОЛ˜М‡. еУ„ЫЪ ‚УБМЛН‡Ъ¸ Л НУПФОВНТ˚ ‚‡Н‡МТЛИ. и Л ˝ЪУП ·УОВВ ‚˚ТУНЛИ Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ ‚ У· ‡Бˆ‡ı, ЛПВ˛˘Лı ПВМ¸¯Ы˛ ПВı‡МЛ˜ВТНЫ˛ Ф У˜МУТЪ¸ ПЛН УТ‚‡ МУ- „У ТУВ‰ЛМВМЛfl, У·˙flТМflВЪТfl ФУ‚˚¯ВММУИ НУМˆВМ- Ъ ‡ˆЛВИ ЛБ·˚ЪУ˜М˚ı ‚‡Н‡МТЛИ Л Лı НУПФОВНТУ‚ ‚ У·О‡ТЪЛ Т‚‡ МУ„У ¯‚‡ ПВЪ‡ООЛ˜ВТН‡fl ФОВМН‡–БУ- ОУЪУИ Ф У‚У‰МЛН, Б‡‚ЛТfl˘ВИ УЪ ВКЛП‡ ПЛН У- Т‚‡ НЛ. оОЫНЪЫ‡ˆЛЛ НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ЛБ·˚ЪУ˜М˚ı ‚‡Н‡МТЛИ Л ‰‡˛Ъ М‡·О˛‰‡ВП˚И ‚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ı

‚‡Н‡МТЛУММ˚И 1/f-¯ЫП (ТП. ‡Б‰ВО 1). щЪЛ ЛБ·˚- ЪУ˜М˚В ‚‡Н‡МТЛЛ Б‡ЪВП ПУ„ЫЪ У· ‡БУ‚˚‚‡Ъ¸ ПЛН-У- Л П‡Н УФУ ˚ [1, 28], НУЪУ ˚В Ф Л‚У‰flЪ Н ТМЛКВМЛ˛ Ф У˜МУТЪЛ ПЛН УТ‚‡ МУ„У ТУВ‰ЛМВМЛfl Cu- ФОВМН‡–Au-Ô Ó‚ÓÎÓ͇.

è ˂‰ÂÌÌ˚ ÂÁÛθڇÚ˚ ÔÓ͇Á˚‚‡˛Ú, ˜ÚÓ ÔÓ Û Ó‚Ì˛ 1/f-¯ЫП‡ ЪВТЪУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ ПУКМУ ‚˚- · ‡Ъ¸ М‡Л·УОВВ УФЪЛП‡О¸М˚И ВКЛП ЪВ ПУНУП- Ф ВТТЛУММУИ ПЛН УТ‚‡ НЛ Ф Л ЛБ„УЪУ‚ОВМЛЛ НУМ- Ъ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ ‚ лЗу Йал.

Й. дУМЪ УО¸ Н‡˜ВТЪ‚‡ Ф‡flМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ ФУ М‡Ф flКВМЛ˛ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ Ф Л ЛПФЫО¸ТМУП ЪВТЪУ‚УП ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ

СОfl УˆВМНЛ Н‡˜ВТЪ‚‡ Ф‡flМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛflı ‚ аел Т Ф ‚ МЫЪ˚П Н ЛТЪ‡ООУП (flip chip assemblies) ·˚ОЛ ЛБ„УЪУ‚ОВМ˚ ТФВˆЛ‡О¸М˚В ЪВТЪУ‚˚В У· ‡Бˆ˚, ТУ‰В К‡˘ЛВ ˆВФУ˜НЫ ЛБ 20 Л‰ВМЪЛ˜М˚ı НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ М‡ УТМУ‚В ЫМЛ‚В Т‡О¸МУ- „У НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ ‡Б ‡·УЪ‡М ‚ дУПФ‡МЛЛ “еМУ„УН ЛТЪ‡О¸М˚В ЪВıМУОУ„ЛЛ”, „. бВОВМУ„ ‡‰, кУТТЛfl), ТУВ‰ЛМfl˛˘В„У ПВЪУ‰УП Ф‡ИНЛ Ф ЛФУВП ийл-61 НУМЪ‡НЪ˚ М‡ Н ЛТЪ‡ООВ Т УЪ‚ВЪМ˚ПЛ НУМ- Ъ‡НЪ‡ПЛ М‡ ФУОЛЛПЛ‰МУП МУТЛЪВОВ (ЪУО˘ЛМУИ 50 ПНП) [64].

СОfl ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ ‚˚· ‡ОЛ 19 ЪВТЪУ‚˚ı ˝ОВПВМЪУ‚, ‚ НУЪУ ˚ı ·˚О ЛБПВ ВМ ТЛ„М‡О-УЪНОЛН – М‡Ф flКВМЛВ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë Ф Л ‚УБ·ЫК‰ВМЛЛ Лı ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪ¸˛ НУ УЪНЛı Ф flПУЫ„УО¸М˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В ФУ ПВЪУ‰Ы, УФЛТ‡ММУП ‚ ‡Б‰. 2. и‡-‡ПВЪ ˚ ЛПФЫО¸ТУ‚ ‚˚· ‡М˚ ТОВ‰Ы˛˘ЛПЛ: τ V1 = = 16 ПНТ; ТН‚‡КМУТЪ¸ Q = 10 (ТП. ЛТ. 8). кВБЫО¸Ъ‡- Ъ˚ ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ Ф Л‚В‰ВМ˚ ‚ Ъ‡·ОЛˆВ.

й·М‡ ЫКВМ˚ ЪВТЪУ‚˚В У· ‡Бˆ˚, НУЪУ ˚В ‡Б- ОЛ˜‡ОЛТ¸ ФУ Ы У‚М˛ НУПФУМВМЪ˚ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë ·УОВВ ˜ВП М‡ ‰‚‡ ФУ-fl‰Н‡ ‚ВОЛ˜ЛМ˚. З ЪУ КВ ‚ ВПfl ФУ НУМЪ‡НЪМУПЫ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛ˛ R ˝ЪЛ У· ‡Бˆ˚ ‡БОЛ˜‡ОЛТ¸ П‡ОУ. д‡Н ‚Л‰МУ ЛБ Ъ‡·ОЛˆ˚, ‰Л‡Ф‡БУМ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛИ ЪВТЪУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ R = 3.30…4.68 йП. З ЪУ КВ ‚ ВПfl ‰Л‡Ф‡БУМ БМ‡˜ВМЛИ НУПФУМВМЪ˚ Uèë =

=15.39…2885 ПНЗ. й· ‡БВˆ 3 ЛПВВЪ ‚˚ТУНЛИ Ы У- ‚ВМ¸ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë =

=372 ПНЗ, ‡ ТЪ ЫНЪЫ ‡ 15 ЛПВВЪ ‡МУП‡О¸МУ ‚˚ТУНЛИ Ы У‚ВМ¸ М‡Ф flКВМЛfl Uèë = 2885 ÏÍÇ.

з‡ ЛТ. 14 Ф Л‚В‰ВМ˚ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë УЪ ‰ОЛЪВО¸МУТЪЛ ЛПФЫО¸ТУ‚ τ V1 (Ф Л ‡ПФОЛЪЫ‰В IËÏÔ = 0.5 A) [3].

З˚ТУНЛИ Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ‚˚Б‚‡М‡БОЛ˜М˚ПЛ ‚Л‰‡ПЛ ТН ˚Ъ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ У·О‡ТЪЛ Ф‡flМУ„У НУМЪ‡НЪМУ„У ТУВ‰ЛМВМЛfl ( ‡БОЛ˜М˚В ‚Л- ‰˚ МВУ‰МУ У‰МУТЪВИ, ФУ ˚, ЪУМНЛВ ‰Л˝ОВНЪ Л˜В- ТНЛВ ТОУЛ, НУ УБЛfl ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ, ОУ- Н‡О¸М˚В ПВı‡МЛ˜ВТНЛВ М‡Ф flКВМЛfl). щЪЛ ‰ВЩВН- Ъ˚ ‰‡˛Ъ УТМУ‚МУИ ‚НО‡‰ ‚ НУПФУМВМЪЫ Uèë Ë

á̇˜ÂÌËfl ÒÓÔ ÓÚË‚ÎÂÌËfl R Л НУПФУМВМЪ˚ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ Uèë ‰Оfl 19 ЪВТЪУ‚˚ı ˝ОВПВМЪУ‚ ˆВФУ˜ВН, ТУТЪУfl˘Лı ЛБ 20 Л‰ВМЪЛ˜М˚ı Ф‡flМ˚ı НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛИ М‡ УТМУ‚В ЫМЛ- ‚В Т‡О¸МУ„У НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡

П‡О˚И ‚НО‡‰ ‚ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ R. ᇂЛТЛПУТЪЛ НУПФУМВМЪ˚ Uèë ‰Оfl ˝ОВПВМЪУ‚ Т ‚˚ТУНЛП Ы У‚- МВП МВОЛМВИМУТЪЛ УЪ ‰ОЛЪВО¸МУТЪЛ ЛПФЫО¸Т‡ τ V1 ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ Т‚УИТЪ‚‡ ·ВБ˚МВ ˆУММ˚ı ‰‚ЫıФУ- О˛ТМЛНУ‚ (УЪТЫЪТЪ‚ЛВ ЛОЛ У˜ВМ¸ ТО‡·‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ УЪ ‰ОЛЪВО¸МУТЪЛ τ V1).

щОВПВМЪ 6 Т П‡ОУИ ‚ВОЛ˜ЛМУИ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë ( ËÒ. 14, Í Ë‚‡fl 3) Л БУМ‡ Н Л‚˚ı 4 ‰Оfl 16 ЪВТЪУ‚˚ı ˝ОВПВМЪУ‚, НУЪУ ˚В ЛПВОЛ ТУ- Ф УЪЛ‚ОВМЛВ ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ R = 3.30…4.68 йП, ФУН‡- Б˚‚‡˛Ъ ЛМВ ˆЛУММ˚В Т‚УИТЪ‚‡, ı‡ ‡НЪВ М˚В ‰Оfl Ф УˆВТТ‡ ЪВ ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ. СОfl ˝ЪЛı ˝ОВПВМЪУ‚ М‡·О˛‰‡ВЪТfl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ Uèë УЪ ‰ОЛЪВО¸МУТЪЛ ЪВТЪУ‚˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ τ V1.

нВФОУ‚˚В Т‚УИТЪ‚‡ ‚˚ТУНУН‡˜ВТЪ‚ВММ˚ı ˝ОВПВМЪУ‚, МВ ТУ‰В К‡˘Лı ТН ˚Ъ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚, УФЛ- Т˚‚‡˛ЪТfl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸˛ Uèë τ V1. ЗПВТЪВ Т ЪВП ‰Оfl У· ‡БˆУ‚, ЛПВ˛˘Лı ТН ˚Ъ˚В ‰ВЩВНЪ˚, Ы У- ‚ВМ¸ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ ТЛ„- М‡О‡-УЪНОЛН‡ Uèë УН‡Б˚‚‡ВЪТfl ‚˚ТУНЛП ( ЛТ. 14, Н Л‚˚В 1 Ë 2). З ˝ЪЛı ТОЫ˜‡flı ЛМВ ˆЛУММ˚В ˝Щ- ЩВНЪ˚ П‡ТНЛ Ы˛ЪТfl ·ВБ˚МВ ˆЛУММ˚ПЛ ˝ЩЩВН- Ъ‡ПЛ, Т‚flБ‡ММ˚ПЛ ТУ ТН ˚Ъ˚ПЛ ‰ВЩВНЪ‡ПЛ ‚ У·- О‡ТЪЛ Ф‡flМУ„У ТУВ‰ЛМВМЛfl, НУЪУ ˚ПЛ Л УФ В‰ВОflВЪТfl ТЪУО¸ ‚˚ТУНЛИ Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп.

и Л‚В‰ВММ˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ, ˜ЪУ ФУ Ы У‚М˛ зил ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ Uèë, ‚УБМЛН‡˛˘В- „У Ф Л ‚УБ·ЫК‰ВМЛЛ ЪВТЪУ‚˚ı У· ‡БˆУ‚ ФУТОВ‰У- ‚‡ЪВО¸МУТЪ¸˛ НУ УЪНЛı Ф flПУЫ„УО¸М˚ı ЛПФЫО¸- ТУ‚ ЪУН‡, ПУКМУ УˆВМЛ‚‡Ъ¸ Н‡˜ВТЪ‚У Ф‡flМ˚ı ТУ- В‰ЛМВМЛИ ‚ аел Т Ф ‚ МЫЪ˚П Н ЛТЪ‡ООУП (flip chip assemblies).

С. и У„МУБЛ У‚‡МЛВ ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ Ф У˜МУТЪЛ еСи ТЪ ЫНЪЫ

З ‡·УЪВ [3] Ф Л‚В‰ВМ˚ ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ЛТТОВ‰У‚‡- МЛИ ‰Оfl ‡БОЛ˜М˚ı ЪЛФУ‚ ейи-ТЪ ЫНЪЫ , ФУН‡- Б˚‚‡˛˘ЛВ БМ‡˜ЛПЫ˛ НУ ВОflˆЛ˛ ПВК‰Ы Ы У‚- МВП 1/f-¯ЫП‡, ЛБПВ ВММУП Ф Л М‡Ф flКВМЛЛ, МВ Ф В‚˚¯‡˛˘ВП ФУОВ Ф У·Уfl УНТЛ‰‡, Л М‡Ф flКВММУТЪ¸˛ ФУОfl Ф У·Уfl, УФ В‰ВОВММУИ ‚ ˝НТФВ ЛПВМ- Ъ‡ı ‡Б Ы¯‡˛˘ЛП ПВЪУ‰УП. иУ‰У·М‡fl Т‚flБ¸ ·˚О‡ ЫТЪ‡МУ‚ОВМ‡ Ъ‡НКВ ПВК‰Ы НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУП МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп Л М‡Ф flКВМЛВП Ф У·Уfl ‰Л˝ОВНЪ Л- Н‡. СОfl ТЪ ЫНЪЫ Al–SiO2–Si Т ЪУО˘ЛМУИ УНТЛ‰‡ 50 МП ·˚О ЛБПВ ВМ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ‚ ВКЛПВ У·У„‡˘ВМЛfl ФУ ПВЪУ‰Ы Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ Ф Л ЩЛНТЛ У‚‡ММУП М‡Ф flКВМЛЛ ТПВ- ˘ВМЛfl U ̇ åÑè-ÒÚ ÛÍÚÛ Â ‚·ÎËÁË Ì‡Ô flÊÂÌËfl Ô Ó·Ófl ‰Ë˝ÎÂÍÚ Ë͇ UÔ , Ú‡Í ˜ÚÓ U = (0.6…0.9)UÔ [3]. дУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ еСи-ТЪ ЫНЪЫ KN ‚˚˜ËÒÎflÎË ÔÓ ÙÓ ÏÛΠ(28) Ô Ë ÔÓ‰‡˜Â ̇ ÒÚ ÛÍÚÛ Û Ì‡Ô flÊÂÌËfl ÓÒÌÓ‚ÌÓÈ ˜‡ÒÚÓÚ˚ f = 10 ÍɈ. á‡- ÚÂÏ ‰Îfl ˝ÚËı ÒÚ ÛÍÚÛ ·˚ÎË ÓÔ Â‰ÂÎÂÌ˚ Ô Ó·Ë‚- Ì˚Â Ì‡Ô flÊÂÌËfl UÔ . и У·УИ В„ЛТЪ Л У‚‡ОТfl ФУВБНУПЫ ‚УБ ‡ТЪ‡МЛ˛ ЪУН‡, Ф УıУ‰fl˘В„У ˜В ВБ ТЪ ЫНЪЫ Ы Ф Л ФУТЪУflММУИ ТНУ УТЪЛ М‡ ‡ТЪ‡МЛfl М‡Ф flКВМЛfl М‡ ТЪ ЫНЪЫ В (≈ 0.3 З/Т), Л МУТЛО МВУ- · ‡ЪЛП˚И ı‡ ‡НЪВ . мТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ ПВК‰Ы KN Ë UÔ ÒÛ˘ÂÒÚ‚ÛÂÚ Á̇˜Ëχfl ÍÓ ÂÎflˆËÓÌ̇fl Ò‚flÁ¸, Ô Ë˜ÂÏ KN ‚˚¯В ‰Оfl ТЪ ЫНЪЫ Т ПВМ¸¯ЛПЛ Ф У·Л‚- М˚ПЛ М‡Ф flКВМЛflПЛ. З˚˜ЛТОВММ˚И НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ НУ ВОflˆЛЛ K{KN, UÔ } = –0.94 [2]. и Л ˝ЪУП М‡- ·О˛‰‡ВПУВ ‚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ı ‚УБ ‡ТЪ‡МЛВ KN Т УТЪУП U fl‚ОflВЪТfl Ф В‰‚ВТЪМЛНУП Ф У·Уfl ‰Л˝ОВНЪ ЛН‡, Л ФУ ‚ВОЛ˜ЛМВ KN ‚ Ф В‰Ф У·УИМУИ У·О‡ТЪЛ (Ф Л М‡- Ф flКВМЛЛ М‡ ТЪ ЫНЪЫ В U = (0.5…0.7)UÔ ) ПУКМУ Ф У„МУБЛ У‚‡Ъ¸М‡Ф flКВМЛВФ У·УflеСи-ТЪ ЫНЪЫ .

ìÒÚ‡ÌÓ‚ÎÂ̇ Ú‡ÍÊ ҂flÁ¸ ÏÂÊ‰Û ëèå 1/f-¯Û- χ S Л М‡Ф flКВМЛВП Ф У·Уfl UÔ ‰Оfl 200 еСиТЪ ЫНЪЫ Т ВО¸ВЩМ˚П УНЛТОУП (ЪУО˘ЛМ‡ ЪУМНУ- „У УНЛТО‡ 30 МП, „ ‡МЛ˜‡˘В„У Т ЪУОТЪ˚П УНЛТОУП ЪУО˘ЛМУИ 900 МП, Ф ЛПВМflВПУ„У ‰Оfl Б‡˘ЛЪ˚ Л ЛБУОflˆЛЛ ˝ОВПВМЪУ‚ ‚ еСи Еал) [75]. дУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ НУ ВОflˆЛЛ ‰Оfl ТЪ ЫНЪЫ , ЛБ„УЪУ‚ОВММ˚ı ФУ ‡БМ˚П ЪВıМУОУ„ЛflП, K{S, UÔ } = –(0.67…0.72).

ЗВОЛ˜ЛМ‡ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ МВОЛМВИМУТЪЛ Л Ы У‚- Мfl ЛБ·˚ЪУ˜МУ„У ¯ЫП‡ еСи-ТЪ ЫНЪЫ УФ В‰ВОflВЪТfl ПВı‡МЛБП‡ПЛ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ‚ ‰Л˝ОВНЪ ЛНВ. оЛБЛ˜ВТНЛВ ПВı‡МЛБП˚ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl ЛБ·˚ЪУ˜- МУ„У ¯ЫП‡ ‚ еСи-ТЪ ЫНЪЫ ‡ı ‡ТТПУЪ ВМ˚ ‚ У·- БУ В [75]. м У‚ВМ¸ ЛБ·˚ЪУ˜МУ„У ¯ЫП‡ Т‚flБ‡М Т ФОУЪМУТЪ¸˛ ОУ‚Ы¯ВН ‚ УНТЛ‰В Л М‡ „ ‡МЛˆВ ‰Л˝ОВ-

êËÒ. 15. й· ‡Бˆ˚ ВБЛТЪУ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ Т ‡БОЛ˜М˚П ˜ЛТОУП Н‚‡‰ ‡ЪУ‚ ФОВМ-НЛ, Ф В‰М‡БМ‡˜ВММ˚В ‰Оfl ‡Б- ‰ВОВМЛfl ¯ЫПУ‚ НУМЪ‡НЪУ‚ Л ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ [4].

ÚÛ Û, ÒӉ ʇ˘Û˛ ‰ÓÒÚ‡ÚÓ˜ÌÓ ·Óθ¯Ó ˜ËÒÎÓ N У‰ЛМ‡НУ‚˚ı ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ ТУВ‰ЛМВММ˚ı ФОВМУ˜М˚ı НУМЪ‡НЪУ‚ Л Т ‡‚МЛ‚‡˛Ъ ВВ ¯ЫП˚ Т ¯ЫП‡- ПЛ У‰МУ У‰МУИ ФОВМНЛ ЛБ ЪУ„У КВ П‡ЪВ Л‡О‡, ЛПВ˛˘ВИ ЪЫ КВ Ф УЪflКВММУТЪ¸, МУ ТУ‰В К‡˘ВИ ЪУО¸НУ ‰‚‡ НУМЪ‡НЪ‡ [68].

(·)

b

a2 a2

„‰Â ëèå 1/f-¯ЫП‡ ВБЛТЪЛ‚М˚ı ТОУВ‚ Sb1 Ë Sb2 УФ-В‰ВОfl˛ЪТfl ˜В ВБ ˜ЛТОУ Н‚‡‰ ‡ЪУ‚ ФОВМУ˜М˚ı

Ó· ‡ÁˆÓ‚ n 1 = l1/b1 Ë n 2 = l2/b2, „‰Â n 1 Ë n 2 – ˜ЛТОУ Н‚‡‰ ‡ЪУ‚ ФОВМНЛ ‰Оfl ЛТ. 15‡ Л 15· ТУУЪ‚ВЪТЪ-

‚ÂÌÌÓ: Sb1 = n 1Sb, Sb2 = n 2Sb.

èÓ ÂÁÛÎ¸Ú‡Ú‡Ï ËÁÏ ÂÌËÈ ëèå 1/f-¯Ûχ SV1 Ë SV2 ЛБ Ы ‡‚МВМЛИ (35) ПУКМУ М‡ИЪЛ лие 1/f-¯ЫП‡ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ Sb Ë ÍÓÌÚ‡ÍÚ‡ SÍ. л ЛТФУО¸БУ- ‚‡МЛВП ЪВТЪУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ ( ЛТ. 15) ‚ ‡·УЪВ [4] ·˚О ‚˚‰ВОВМ ¯ЫП ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl ЛБ ТФО‡‚‡ Ni/Cr Л ФОВМУ˜М˚ı Al-НУМЪ‡НЪУ‚ Н ˝ЪУПЫ ТОУ˛. мТЪ‡МУ‚ОВМУ, ˜ЪУ ТФВНЪ ЩОЛННВ -¯ЫП‡ ФОВМУ˜- М˚ı НУМЪ‡НЪУ‚ ·ОЛБУН Н ˜ЛТЪУПЫ 1/f-¯ЫПЫ, Ы У- ‚ВМ¸ В„У Б‡‚ЛТЛЪ УЪ ЪУН‡ Л МВ Б‡‚ЛТЛЪ УЪ ‚ВОЛ˜ЛМ˚ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl. З ‡·УЪВ [4] ‰Оfl Ni/Cr- ВБЛТЪУ У‚ Т Al-НУМЪ‡НЪ‡ПЛ ¯ЫП У‰МУ- „У НУМЪ‡НЪ‡ ТУТЪ‡‚ОflО ПВМВВ 10% УЪ ФУОМУ„У ¯Ы- П‡ ВБЛТЪУ ‡. иУ˝ЪУПЫ МВ ‚ТВ„‰‡ ‚УБПУКМУ ЛБПВ-ЛЪ¸ ¯ЫП НУМЪ‡НЪУ‚ Т ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП ЪВТЪУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ , Ф Л‚В‰ВММ˚ı М‡ ЛТ. 15.

З [24] ‰Оfl ‚˚‰ВОВМЛfl ¯ЫПУ‚ НУМЪ‡НЪУ‚ ЛТФУО¸БУ‚‡ОЛ ЪВТЪУ‚˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚, НУМТЪ ЫНˆЛfl НУЪУ ˚ı Ф Л‚В‰ВМ‡ М‡ ЛТ. 16. кВБЛТЪУ М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ (‡) Л (·) ‡ТФУОУКВМ˚ М‡ У‰МУИ ФУ‰ОУКНВ,

SV 1 = N1 SÍ + n1 Sb1 ,

(36)

SV 2 = N2 SÍ + n2 Sb1 .

к‡Б В¯‡fl (36) УЪМУТЛЪВО¸МУ SÍ Ë Sb1, ФУОЫ˜ЛП ‚˚-‡КВМЛВ ‰Оfl лие ¯ЫП‡ У‰МУ„У НУМЪ‡НЪ‡

Л ‰Оfl лие ¯ЫП‡ У‰МУ„У Н‚‡‰ ‡Ъ‡ ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ

з‡Л·УОВВ ‰ВЪ‡О¸М˚В ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl ФУ ‚˚flТМВМЛ˛ ‚НО‡‰‡ НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп Л лие 1/f-¯ЫП‡ ‚˚ФУОМВМ˚ ‰Оfl ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ У‚ М‡ УТМУ‚В ФОВМУН МЛЪ Л‰‡ Ъ‡МЪ‡О‡ [24, 53, 69, 70], ЛБ„УЪУ‚ОВММ˚ı ФУ Ф УП˚- ¯ОВММУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ. СОfl УФ В‰ВОВМЛfl ‚НО‡‰‡ НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ВБЛТЪУ МУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚ Л ‚˚‰ВОВМЛfl 1/f-¯ЫП‡ НУМЪ‡Н- ЪУ‚ ЛБ ФУОМУИ ПУ˘МУТЪЛ ¯ЫП‡ ВБЛТЪУ ‡ ·˚ОЛ ЛБ„УЪУ‚ОВМ˚ ЪВТЪУ‚˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ НУМТЪ ЫНˆЛЛ, ФУН‡Б‡ММУИ М‡ ЛТ. 16. зВОЛМВИМУТЪ¸ ЗДп НУМ- Ъ‡НЪУ‚ ‚ [69] УФ В‰ВОflОЛ ПВЪУ‰УП ЛБПВ ВМЛfl ‡ПФОЛЪЫ‰ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛ- Н‡ У· ‡Бˆ‡ Ф Л „‡ ПУМЛ˜ВТНУП ЪВТЪУ‚УП ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ, ‡ ‚ ‡·УЪВ [70] – ПВЪУ‰УП ЛБПВ ВМЛfl М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ ТЛ„М‡О‡- УЪНОЛН‡ Uèë, ‚УБМЛН‡˛˘ВИ Ф Л ‚УБ·ЫК‰ВМЛЛ ФОВМУ˜МУ„У У· ‡Бˆ‡ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪ¸˛ Ф flПУ- Ы„УО¸М˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ (ТП. ‡Б‰. 3, Е).

л ˆВО¸˛ ‚˚flТМВМЛfl ПВı‡МЛБП‡ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl зот ‚ ВБЛТЪЛ‚М˚ı ТОУflı Л НУМЪ‡НЪ‡ı, ·˚ОЛ Ф У‚В‰ВМ˚ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl 1/f-¯ЫП‡ ‚ ЪУМНУФОВМУ˜- М˚ı ВБЛТЪУ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ ‡ı, ЛБ„УЪУ‚ОВММ˚ı Ф Л‡БОЛ˜М˚ı ВКЛП‡ı УТ‡К‰ВМЛfl ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl Л ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl Н МВПЫ НУМЪ‡НЪУ‚. С‡‰ЛП Н ‡Ъ- НУВ УФЛТ‡МЛВ ЪВıМУОУ„ЛЛ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl ВБЛТЪУ - М˚ı ТЪ ЫНЪЫ , ЛТТОВ‰У‚‡ММ˚ı ‚ ‡·УЪ‡ı [24, 53, 69, 70]. кВБЛТЪЛ‚М˚В ФОВМНЛ УТ‡К‰‡ОЛ М‡ ТЛЪ‡ООУ- ‚˚В ФУ‰ОУКНЛ ПВЪУ‰УП П‡„МВЪ УММУ„У ‡ТФ˚ОВМЛfl Ъ‡МЪ‡ОУ‚УИ ПЛ¯ВМЛ ‚ ТПВТЛ „‡БУ‚ ‡ „УМ‡ Л ‡БУ- Ъ‡ (10%) Ф Л ‡БОЛ˜М˚ı ТНУ УТЪflı УТ‡К‰ВМЛfl [28]. С‡‚ОВМЛВ ТПВТЛ „‡БУ‚ ‚У ‚ТВı Ф УˆВТТ‡ı ФУ‰‰В КЛ- ‚‡ОУТ¸ У‰ЛМ‡НУ‚˚П Л ‡‚М˚П (7…10) Ч 10–2 и‡. лНУ УТЪ¸ УТ‡К‰ВМЛfl ‚‡ ¸Л У‚‡ОЛ ФЫЪВП ЛБПВМВМЛfl М‡Ф flКВМЛfl М‡ ПЛ¯ВМЛ, Ф Л ˝ЪУП НУМЪ УОЛ-

Ó‚‡ÎÒfl ËÓÌÌ˚È ÚÓÍ Ï˯ÂÌË IËÓÌ. нВПФВ ‡ЪЫ ‡ ФУ‰ОУКНЛ Ф Л УТ‡К‰ВМЛЛ ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl ·˚-

· ‚˚· ‡Ì‡ ‡‚ÌÓÈ 350°ë.

аТТОВ‰У‚‡МЛfl ‚˚ФУОМВМ˚ ‰Оfl ˜ВЪ˚ Вı ЪЛФУ‚ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ У‚. кВБЛТЪЛ‚М˚В ФОВМНЛ Ы ‚ТВı ЛТТОВ‰ЫВП˚ı У· ‡БˆУ‚ ЛПВОЛ Ы‰ВО¸МУВ ФУ‚В ıМУТЪМУВ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ 100 ± 10 йП/ . дУМЪ‡НЪ˚ Н ВБЛТЪЛ‚МУПЫ ТОУ˛ ЩУ ПЛ У‚‡ОЛТ¸ М‡ УТМУ‚В ФОВМУН ПВ‰Л ЪУО˘ЛМУИ hCu = 1 ПНП Т ФУ‰ТОУВП ı УП‡ (‰Оfl ЫОЫ˜¯ВМЛfl ‡‰„ВБЛЛ). лОУЛ ПВЪ‡ООУ‚ УТ‡К‰‡ОЛТ¸ ПВЪУ‰УП ‚‡НЫЫП-ЪВ ПЛ˜ВТНУ„У ЛТФ‡ ВМЛfl Ф Л ‰‡‚ОВМЛЛ УТЪ‡ЪУ˜М˚ı „‡БУ‚ ‚ Н‡ПВ В МВ ·УОВВ 7 Ч 10–4 è‡.

иВ ‚˚И Л ‚ЪУ УИ ЪЛФ˚ У· ‡БˆУ‚ ‡БОЛ˜‡ОЛТ¸ ТНУ УТЪ¸˛ УТ‡К‰ВМЛfl ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl. СОfl ФВ - ‚У„У ЪЛФ‡ У· ‡БˆУ‚ УТ‡К‰ВМЛВ Ф У‚У‰ЛОЛ ‚ ЪВ˜В-

ÌË 6 ÏËÌ 40 Ò Ô Ë ÚÓÍ Ï˯ÂÌË IËÓÌ = 1.5 Ä (‚˚ÒÓ- ͇fl ÒÍÓ ÓÒÚ¸ Ó҇ʉÂÌËfl). ÑÎfl Ó· ‡ÁˆÓ‚ ‚ÚÓ Ó„Ó

ЪЛФ‡ ВБЛТЪЛ‚М˚И ТОУИ УТ‡К‰‡ОЛ ‚ ЪВ˜ВМЛВ 52 ПЛМ Ф Л ЪУНВ IËÓÌ = 0.3 A (ÌËÁ͇fl ÒÍÓ ÓÒÚ¸ Ó҇ʉÂÌËfl).

З У· ‡Бˆ‡ı Ъ ВЪ¸В„У Л ˜ВЪ‚В ЪУ„У ЪЛФ‡ ЫТОУ- ‚Лfl ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ ·˚ОЛ У‰Л- М‡НУ‚˚ПЛ Л ‚˚· ‡М˚ Ъ‡НЛПЛ, ˜ЪУ·˚ У·ВТФВ˜ЛЪ¸ ТУБ‰‡МЛВ ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl Т М‡ЛПВМ¸¯ЛП Ы У‚- МВП ЩОЛННВ -¯ЫП‡ [71]. л ˝ЪУИ ˆВО¸˛ ЛБ„УЪ‡‚ОЛ- ‚‡О‡Т¸ ‰‚ЫıТОУИМ‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡, ‚ НУЪУ УИ ВБЛТЪЛ‚М‡fl ФОВМН‡ ‚˚ ‡˘Л‚‡О‡Т¸ ‚ ‰‚В ТЪ‡‰ЛЛ: ТМ‡˜‡-

· Ô Ë ÚÓÍ Ï˯ÂÌË IËÓÌ = 1.2 Ä Ó҇ʉ‡ÎÒfl Ô ‚˚È ÒÎÓÈ ‚ Ú˜ÂÌË 9 ÏËÌ, ‡ Á‡ÚÂÏ Ô Ë ÚÓÍ IËÓÌ = 0.3 Ä

Ó҇ʉ‡ÎÒfl ‚ÚÓ ÓÈ ÒÎÓÈ ‚ Ú˜ÂÌË 10 ÏËÌ.

йЪОЛ˜ЛЪВО¸МУИ УТУ·ВММУТЪ¸˛ У· ‡БˆУ‚ ˜ВЪ- ‚В ЪУ„У ЪЛФ‡ fl‚ОflВЪТfl ЪУ, ˜ЪУ ‰Оfl МЛı ЩУ ПЛ У‚‡- МЛВ ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ Л НУМЪ‡НЪУ‚ Ф У‚У‰ЛОЛ ‚ В‰ЛМУП ЪВıМУОУ„Л˜ВТНУП ˆЛНОВ ·ВБ ‡Б„В ПВЪЛ- Б‡ˆЛЛ ‚‡НЫЫПМУИ Н‡ПВ ˚: ФУТОВ УТ‡К‰ВМЛfl ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ Т ЛМЪВ ‚‡ОУП ‚ ВПВМЛ МВ ·УОВВ 3 ПЛМ УТ‡К‰‡ОТfl ФУ‰ТОУИ ı УП‡, ‡ Б‡ЪВП ТОУИ ПВ‰Л.

иУТОВ УТ‡К‰ВМЛfl ТОУfl ПВ‰Л ‰Оfl НУМЪ‡НЪУ‚ У·-‡Бˆ˚ ‚ТВı ˜ВЪ˚ Вı ЪЛФУ‚ ФУ‰‚В „‡ОЛТ¸ ‚‡НЫЫПМУПЫ УЪКЛ„Ы Ф Л ЪВПФВ ‡ЪЫ В 350°л ‚ ЪВ˜ВМЛВ 30 ПЛМ Т ˆВО¸˛ ТЪ‡·ЛОЛБ‡ˆЛЛ ПЛН УТЪ ЫНЪЫ ˚ [72] Л ТМЛКВМЛfl Ы У‚Мfl 1/f-¯ЫП‡. б‡ЪВП Ф У‚У‰Л- ОЛ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ „‡О¸‚‡МЛ˜ВТНУВ М‡ ‡˘Л‚‡- МЛВ М‡ НУМЪ‡НЪ˚ ТОУВ‚ ПВ‰Л, МЛНВОfl Л БУОУЪ‡ ЪУО- ˘ЛМУИ hCu = 5 ÏÍÏ, hNi = 0.5 ÏÍÏ, hAu = 2 ÏÍÏ.

кВБЛТЪУ М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ ЛПВОЛ ˜ЛТОУ Н‚‡‰ ‡- ЪУ‚ ФОВМНЛ: n1 = 25 – ‰Îfl ÒÚ ÛÍÚÛ ˚ ̇ ËÒ. 16‡ Ë Ë n2 = 10 – ‰Оfl ТЪ ЫНЪЫ ˚ ЛТ. 16·. ЙВУПВЪ Л˜ВТНЛВ ‡БПВ ˚ У· ‡БˆУ‚ ТОВ‰Ы˛˘ЛВ: ‰ОЛМ‡ a1 = = 2500 ÏÍÏ, a2 = 500 ÏÍÏ, ¯Ë Ë̇ b = 100 ÏÍÏ.

ç ‡‚ÌÓ‚ÂÒÌ˚È 1/f-¯ЫП НУМЪ‡НЪУ‚ ЛТТОВ‰У‚‡М ‚ [24, 53] ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ ˜‡ТЪУЪ 20 Йˆ…1 НЙˆ ФУ ПВЪУ‰Ы ЛБПВ ВМЛfl ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë Ф Л ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ М‡ ФОВМУ˜М˚И ВБЛТЪУ ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪ¸˛ Ф flПУ- Ы„УО¸М˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ Т ФВ ЛУ‰УП TËÏÔ = 8 ПНТ Л ‰ОЛЪВО¸МУТЪ¸˛ τ V1 = 1 ПНТ Т ‡БОЛ˜МУИ ‡ПФОЛЪЫ- ‰УИ VËÏÔ. й¯Л·Н‡ ЛБПВ ВМЛИ МВ Ф В‚˚¯‡О‡ 20%. д УПВ ЪУ„У, ‚˚ФУОМВМ˚ ЛБПВ ВМЛfl лие 1/f-¯Ы- П‡ Ф Л ФУТЪУflММУП ЪУНВ I0. кВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ЛБПВ ВМЛИ 1/f-¯Ûχ Ô Ë ÚÓÍ I0 Т ‡‚МЛ‚‡˛ЪТfl Т ВБЫО¸Ъ‡Ъ‡ПЛ ЛБПВ ВМЛИ Ф Л ЛПФЫО¸ТМУП ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ. и Л ЛБПВ ВМЛflı лие ¯ЫП‡ ФУТЪУflММУВ М‡Ф flКВМЛВ М‡ВБЛТЪУ В V0 = RI0 (R – ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ У· ‡Бˆ‡) ‚˚- · ‡МУ ‡‚М˚П ‡ПФОЛЪЫ‰В ЛПФЫО¸ТУ‚, Ъ.В. V0 = VËÏÔ.

á̇˜ÂÌËfl ëèå 1/f-¯ЫП‡ ‰Оfl У‰МУ„У ФОВМУ˜МУ- „У НУМЪ‡НЪ‡ SÍ, ЛБПВ ВММ˚В Ф Л ФУТЪУflММУП ЪУНВ I0 = 6 ПД М‡ ˜‡ТЪУЪВ f = 130 Ɉ [24], Ô Â‰ÒÚ‡‚ÎÂÌ˚ ÌËÊÂ:

ÇˉÌÓ, ˜ÚÓ ëèå 1/f-¯ЫП‡ ФОВМУ˜МУ„У НУМЪ‡Н- Ъ‡ ‰Оfl ˜ВЪ‚В ЪУ„У ЪЛФ‡ У· ‡БˆУ‚ ПВМ¸¯В, ФУ Т ‡‚- МВМЛ˛ Т ФВ ‚˚П ЪЛФУП, ·УОВВ ˜ВП ‚ 104 ‡Б. иОВМУ˜М˚В НУМЪ‡НЪ˚ Н ВБЛТЪЛ‚М˚П ТОУflП МВ ‰‡˛Ъ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ„У ‚НО‡‰‡ ‚ 1/f-¯ЫП ВБЛТЪУ ‡ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНУИ ОЛ¯¸ ‚ ТОЫ˜‡В ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl ВБЛТЪУ ‡ ‚ В‰ЛМУП ЪВıМУОУ„Л˜ВТ-

НУМЪ‡НЪУ‚, ˜ЪУ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸МУ ФУН‡Б‡МУ ‚ [69], „‰В ЛТТОВ‰У‚‡М‡ МВОЛМВИМУТЪ¸ ЗДп УФЛТ‡ММ˚ıВБЛТЪУ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ ПВЪУ‰УП „‡ ПУМЛ˜ВТНУ„У ЪВТЪУ‚У„У ‚УБ‰ВИТЪ‚Лfl М‡ У· ‡БВˆ (ТП. ‡Б‰. 3,Е). л ФУПУ˘¸˛ ЪВТЪУ‚˚ı ТЪ ЫНЪЫ НУМТЪ ЫНˆЛЛ, ФУ- Н‡Б‡ММУИ М‡ ЛТ. 16, ·˚ОЛ ‚˚‰ВОВМ˚ НУПФУМВМЪ˚ Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ Л НЫ·Л˜ВТНУИ МВОЛМВИМУТЪВИ ЗДпВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl Л НУМЪ‡НЪУ‚ ЛБ У·˘ВИ МВОЛМВИМУТЪЛ ВБЛТЪУ МУИ ТЪ ЫНЪЫ ˚, ‚ ЪУП ˜ЛТОВ Л ‰Оfl ТЪ ЫНЪЫ ‚ЪУ У„У ЪЛФ‡. З˚flТМВМУ, ˜ЪУ ВБЛТЪЛ‚М˚И ТОУИ ЛПВВЪ ‚ УТМУ‚МУП НЫ·Л˜ВТНЫ˛ МВОЛМВИМУТЪ¸ ЗДп, ЪУ„‰‡ Н‡Н ‚ НУМЪ‡НЪ‡ı Ф ВУ·О‡‰‡- ВЪ Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜М‡fl МВОЛМВИМУТЪ¸.

з‡ ЛТ. 18 ФУН‡Б‡М˚ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ ‡ПФОЛЪЫ‰˚ Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ ‰Оfl У‰МУ„У Н‚‡‰ ‡Ъ‡ ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ Л ‚ЪУ УИ „‡ ПУМЛНЛ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ УЪ М‡Ф fl- КВМЛfl ЪВТЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡ U1 ‰Оfl ‡БОЛ˜М˚ı ЪЛФУ‚ВБЛТЪУ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ [69]. з‡Л·УО¸¯ЛП Ы У‚МВП МВОЛМВИМУТЪЛ, Н‡Н Л 1/f-¯ЫП‡ [24], У·О‡‰‡ВЪ ВБЛТЪЛ‚М˚И ТОУИ, УТ‡К‰ВММ˚И Т ‚˚ТУНУИ ТНУ УТЪ¸˛ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ (ФВ ‚˚И ЪЛФ У· ‡БˆУ‚).

êËÒ. 18. ᇂЛТЛПУТЪЛ ‡ПФОЛЪЫ‰˚ Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ У‰МУ„У Н‚‡‰ ‡Ъ‡ ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ (‡) Л ‚ЪУ УИ „‡ ПУМЛНЛ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ (·) УЪ ‡ПФОЛЪЫ‰˚ ЪВТЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡ [69]: Н Л‚˚В 1 – Ô ‚˚È ÚËÔ Ó· ‡ÁˆÓ‚ (‚˚ÒÓ͇fl ÒÍÓ ÓÒÚ¸ Ó҇ʉÂÌËfl); 2 – ‚ÚÓ ÓÈ ÚËÔ Ó· ‡ÁˆÓ‚ (ÌËÁ͇fl ÒÍÓ ÓÒÚ¸ Ó҇ʉÂÌËfl); 3 – ˜ВЪ‚В Ъ˚И ЪЛФ У· ‡БˆУ‚ (‰‚ЫıТЪ‡‰ЛИМУВ УТ‡К‰ВМЛВ).

оЛБЛ˜ВТНЛИ ПВı‡МЛБП ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl НЫ·Л˜ВТНУИ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl ФВ ‚У- „У ЪЛФ‡ У· ‡БˆУ‚ Т‚flБ‡М Т Ф УˆВТТУП УК‰ВМЛfl Л „Л·ВОЛ ‚‡Н‡МТЛИ [6]. иУ‰Ъ‚В К‰ВМЛВП ˝ЪУПЫ ТОЫКЛЪ М‡·О˛‰‡ВП˚И ‚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ı ‚˚ТУНЛИ Ы У- ‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ Л М‡Ф flКВМЛfl Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ Ы ФВ ‚У„У ЪЛФ‡ У· ‡БˆУ‚, Л ·У- ОВВ МЛБНЛИ Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ Л МВОЛМВИМУТЪЛ Ы У·-‡БˆУ‚ ‚ЪУ У„У ЪЛФ‡, ФУОЫ˜ВММ˚ı Т П‡ОУИ ТНУ У- ТЪ¸˛ УТ‡К‰ВМЛfl ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl. ЗУ ‚ ВПfl НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl М‡ ФУ‰ОУКНВ ‚ У·-‡Бˆ‡ı ФВ ‚У„У ЪЛФ‡, ФУОЫ˜ВММ˚ı Т ‚˚ТУНУИ ТНУ-УТЪ¸˛ УТ‡К‰ВМЛfl, ‚‡Н‡МТЛЛ МВ ЫТФВ‚‡˛Ъ ‚˚ИЪЛ Н Щ УМЪЫ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ФОВМНЛ (ЛБ- Б‡ МЛБНУИ ТНУ УТЪЛ Лı ‰ЛЩЩЫБЛЛ) Л УН‡Б˚‚‡˛ЪТfl Б‡ПЫ У‚‡ММ˚ПЛ ‚ У·˙ВПВ НУМ‰ВМТ‡Ъ‡ [74]. З Ф У- ˆВТТВ ТЪ‡ ВМЛfl Л ˝НТФОЫ‡Ъ‡ˆЛЛ ВБЛТЪУ ‡ ˝ЪЛ ЛБ- ·˚ЪУ˜М˚В ‚‡Н‡МТЛЛ ПУ„ЫЪ У·˙В‰ЛМflЪ¸Тfl ‚ НУПФОВНТ˚, У· ‡БЫfl ПЛН УФУ ˚ Л ФЫТЪУЪ˚ [1, 28, 74], ‚·ОЛБЛ НУЪУ ˚ı ФОУЪМУТЪ¸ ЪУН‡ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl ФУ- ‚˚¯ВММУИ. и Л ˝ЪУП У· ‡БЫ˛ЪТfl БУМ˚ ОУН‡О¸МУ- „У ФВ В„ В‚‡, „‰В Б‡ЪВП Л Ф УЛТıУ‰ЛЪ ‡Б Ы¯ВМЛВВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ.

м У‚МЛ МВОЛМВИМУТЪЛ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ ФУ ‚ЪУ-УИ „‡ ПУМЛНВ ‰Оfl ЛТТОВ‰ЫВП˚ı ЪЛФУ‚ У· ‡БˆУ‚ Ъ‡НКВ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ‡БОЛ˜‡˛ЪТfl ‚У ‚ТВП ‰Л‡Ф‡БУМВ М‡Ф flКВМЛИ ЪВТЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡ U1 ( ЛТ. 18·). и Л ˝ЪУП Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп НУМЪ‡НЪУ‚ ФУ ‚ЪУ УИ „‡ ПУМЛНВ fl‚ОflВЪТfl М‡Л·УОВВ ˜Ы‚ТЪ‚Л- ЪВО¸М˚П Ф‡ ‡ПВЪ УП, ı‡ ‡НЪВ ЛБЫ˛˘ЛП Н‡˜ВТЪ- ‚У НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ [69]. з‡Л·УО¸¯ЛП Ы У‚МВП МВОЛМВИМУТЪЛ, Ъ‡Н КВ Н‡Н Л 1/f-¯ЫП‡, У·О‡‰‡˛Ъ НУМЪ‡НЪ˚ ВБЛТЪУ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ ФВ ‚У„У ЪЛФ‡, ФУОЫ˜ВММ˚В Ф Л ‚˚ТУНУИ ТНУ УТЪЛ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ.

и Л Ы‚ВОЛ˜ВМЛЛ М‡Ф flКВМЛfl УТМУ‚МУИ ˜‡ТЪУ- Ъ˚ ‚УБ ‡ТЪ‡˛Ъ ‡ПФОЛЪЫ‰˚ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ -

ПУМЛН ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡. д‡Н ФУН‡Б‡МУ ‚ [69], Ф Л ‡ПФОЛЪЫ‰В ФВ ‚УИ „‡ ПУМЛНЛ U1 = 10 B Ы У‚ВМ¸ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ НУМ- Ъ‡НЪ‡ ·УОВВ ˜ВП М‡ ФУ fl‰УН ‚ВОЛ˜ЛМ˚ Ф В‚˚¯‡ВЪ Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ У‰МУ„У Н‚‡‰ ‡Ъ‡ ВБЛТЪЛ‚- МУИ ФОВМНЛ ‰Оfl ‚ТВı ЪЛФУ‚ ЛТТОВ‰У‚‡ММ˚ı У· ‡Б- ˆУ‚. и Л ˝ЪУП ‚НО‡‰ ФВ ВıУ‰МУ„У ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl НУМЪ‡НЪ‡ ‚ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ ТЪ ЫНЪЫ ˚ ‰Оfl У‰МУ„У Н‚‡‰ ‡Ъ‡ ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ ТУТЪ‡‚ОflВЪ ПВМВВ 0.5%. нУ ВТЪ¸ Ф Л Т ‡‚МЛЪВО¸МУ П‡ОУП ‚НО‡‰В ‚ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ ВБЛТЪУ ‡ НУМЪ‡НЪ˚ Ф Л ‰УТЪ‡- ЪУ˜МУ ·УО¸¯УП ЪУНВ ПУ„ЫЪ ‰‡‚‡Ъ¸ БМ‡˜ЛЪВО¸М˚И ‚НО‡‰ ‚ Ы У‚ВМ¸ Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ Л НЫ·Л˜ВТНУИ МВОЛМВИМУТЪВИ ЗДп, ‡ Ъ‡НКВ ‚ Ы У‚ВМ¸ зот.

оЛБЛ˜ВТНЛИ ПВı‡МЛБП ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl зот ‚ ФОВМУ˜М˚ı НУМЪ‡НЪ‡ı ВБЛТЪЛ‚М˚И ТОУИ–еВ ЛОЛ еВ1–еВ2 Ф ВК‰В ‚ТВ„У Т‚flБ‡М ТУ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ „ ‡- МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ ФОВМУ˜М˚ı ТОУВ‚, ‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ, Т Ф УˆВТТУП ‡‰ТУ ·ˆЛЛ „‡БУ‚ Л Т ФУТОВ‰Ы˛˘ЛП Ф У- ıУК‰ВМЛВП ‡БОЛ˜М˚ı ıЛПЛ˜ВТНЛı В‡НˆЛИ ПВК- ‰Ы „‡БУ‚˚ПЛ Ф ЛПВТflПЛ Л П‡ЪВ Л‡ОУП НУМЪ‡НЪ‡ ЛОЛ Т УНЛТОВМЛВП „ ‡МЛˆ˚ ‡Б‰ВО‡ Ф У‚У‰fl˘Лı ТОУВ‚ ‚ Ф УˆВТТВ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl Л ı ‡МВМЛfl ВБЛТЪУ ‡.

З Т‚flБЛ Т ˝ЪЛП У‰МУИ ЛБ ‚УБПУКМ˚ı Ф Л˜ЛМ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп Л зот НУМ- Ъ‡НЪУ‚ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ М‡‰·‡ ¸В М˚И ЛОЛ ЪЫММВО¸- М˚И ПВı‡МЛБП˚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ [1, 27, 28] ˜В ВБ ЪУМНЛИ ТОУИ УНТЛ‰‡, НУЪУ ˚И У· ‡БЫВЪТfl М‡ „ ‡- МЛˆВ ‡Б‰ВО‡ Ф У‚У‰fl˘Лı ТОУВ‚. 燉·‡ ¸В М˚И Л ЪЫММВО¸М˚И ПВı‡МЛБП˚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Ф Л‚У‰flЪ Н ФУfl‚ОВМЛ˛ Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ, Ы‚ВОЛ˜ВМЛ˛ НЫ·Л˜ВТНУИ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп Л Н ‚УБМЛНМУ‚ВМЛ˛ зот. еВı‡МЛБП ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl зот ‚ ФОВМУ˜М˚ı НУМЪ‡НЪ‡ı ПУКВЪ ·˚Ъ¸ Т‚flБ‡М Т ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ

‚˚ТУЪ˚ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУ„У ·‡ ¸В ‡ М‡ „ ‡МЛˆВ ‡Б- ‰ВО‡ Ф У‚У‰fl˘Лı ТОУВ‚ Ф Л М‡‰·‡ ¸В МУП ЛОЛ ЪЫММВО¸МУП Ъ ‡МТФУ ЪВ МУТЛЪВОВИ [75]. и Л МЛБНУП Н‡˜ВТЪ‚В НУМЪ‡НЪ‡ ˝ЪУЪ ‚Л‰ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ УФ В‰ВОfl˛˘ЛП ‚ ТУБ‰‡МЛЛ зот ВБЛТЪУ ‡. З ТОЫ˜‡В УТ‡К‰ВМЛfl ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl Л НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ В‰ЛМУП ЪВıМУОУ„Л˜ВТНУП ˆЛНОВ (·ВБ‡Б„В ПВЪЛБ‡ˆЛЛ ‚‡НЫЫПМУИ ЫТЪ‡МУ‚НЛ) УНТЛ‰- М˚И ТОУИ М‡ „ ‡МЛˆВ ВБЛТЪЛ‚М˚И ТОУИ–ПВЪ‡ООЛ- ˜ВТН‡fl ФОВМН‡ УЪТЫЪТЪ‚ЫВЪ. и Л ˝ЪУП Ы У‚МЛ Н‚‡- ‰ ‡ЪЛ˜МУИ Л НЫ·Л˜ВТНУИ МВОЛМВИМУТЪЛ, ‡ Ъ‡НКВ зот НУМЪ‡НЪУ‚, УН‡Б˚‚‡˛ЪТfl М‡Л·УОВВ МЛБНЛПЛ.

з‡ fl‰Ы Т зот, Т‚flБ‡ММ˚П Т ПВı‡МЛБП‡ПЛ М‡‰- ·‡ ¸В М˚И ЛОЛ ЪЫММВО¸М˚И ˝ПЛТТЛЛ, ‚ ФОВМУ˜М˚ı НУМЪ‡НЪ‡ı ПУКВЪ М‡·О˛‰‡Ъ¸Тfl Ъ‡НКВ зот, ‚˚- Б‚‡ММ˚И Ф УˆВТТУП „ВМВ ‡ˆЛЛ-‡ММЛ„ЛОflˆЛЛ ЛБ·˚- ЪУ˜М˚ı ‚‡Н‡МТЛИ, ‡ Ъ‡НКВ ПВı‡МЛ˜ВТНЛПЛ М‡Ф fl- КВМЛflПЛ ‚ У·О‡ТЪЛ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡ [9].

и Л‚В‰ВММ˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ, ˜ЪУ ФУ Ы У‚М˛ кот, ЛБПВ ВММУ„У М‡ ФУТЪУflММУП ЪУНВ, МВ ‚ТВ„‰‡ Ы‰‡ВЪТfl УˆВМЛЪ¸ Н‡˜ВТЪ‚У ФОВМУ˜М˚ıВБЛТЪУ У‚ Л Лı НУМЪ‡НЪУ‚, Н‡Н ˝ЪУ ЛПВОУ ПВТЪУ ‰Оfl ТЪ ЫНЪЫ ‚ЪУ У„У ЪЛФ‡. З ЪУ КВ ‚ ВПfl ФУ Ы У‚- М˛ зот Л МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп (ФУ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸- ВИ „‡ ПУМЛН‡П) ПУКМУ УТЫ˘ВТЪ‚ОflЪ¸ МВ ‡Б Ы¯‡- ˛˘ЛИ НУМЪ УО¸ Н‡˜ВТЪ‚‡ ФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ У‚, УˆВМЛ‚‡Ъ¸ Н‡˜ВТЪ‚У Н‡Н ВБЛТЪЛ‚МУ„У ТОУfl, Ъ‡Н Л НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ УЪ‰ВО¸МУТЪЛ, ˜ЪУ ‚‡КМУ Ф Л НУМЪ УОВ ЪВıМУОУ„ЛЛ ЛБ„УЪУ‚ОВМЛfl ВБЛТЪУ У‚, ‡ Ъ‡НКВ „У- ЪУ‚˚ı ЛБ‰ВОЛИ.

6. азнЦЙкДгъзДь СаДЙзйлнадД Еал а щгЦднкйззхп млнкйвлнЗ

ий огмднмДсаье нйдД ийнкЦЕгЦзаь

З ˆВОflı У·ВТФВ˜ВМЛfl ‚˚ТУНУИ М‡‰ВКМУТЪЛ ТУ- ‚ ВПВММ˚ı Еал Л лЕал М‡ УТМУ‚В НУПФОВПВМ- Ъ‡ М˚ı ТЪ ЫНЪЫ ПВЪ‡ОО–УНЛТВО–ФУОЫФ У‚У‰МЛН ‚ ТУТЪ‡‚В ‡‰ЛУ˝ОВНЪ УММУИ ‡ФФ‡ ‡ЪЫ ˚ Т ‰ОЛЪВО¸М˚ПЛ Т УН‡ПЛ ‡НЪЛ‚МУ„У ЩЫМНˆЛУМЛ У‚‡- МЛfl, МВУ·ıУ‰ЛПУ Ф У‚У‰ЛЪ¸ ‰УФУОМЛЪВО¸М˚И ‰Л‡- „МУТЪЛ˜ВТНЛИ НУМЪ УО¸, НУЪУ ˚И ФУБ‚УОflВЪ ‚˚- fl‚ОflЪ¸ ФУЪВМˆЛ‡О¸МУ МВМ‡‰ВКМ˚В ПЛН УТıВП˚ Л ТН ˚Ъ˚В ‰ВЩВНЪ˚ ‚ Лı ТЪ ЫНЪЫ В. кВ„ЫОfl МУВ ФУ- ‚˚¯ВМЛВ Ы У‚Мfl ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ лЕал Л ЪВП ·УОВВ ФВ ВıУ‰ Н „ОЫ·УНУ ТЫ·ПЛН УММУИ ЪВıМУОУ„ЛЛ ТЫ- ˘ВТЪ‚ВММУ УТОУКМfl˛Ъ ‚˚fl‚ОВМЛВ П‡Н У‰ВЩВНЪУ‚ ‚ ПЛН УТıВП‡ı.

д‡Н ФУН‡Б‡ОЛ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl [3, 76, 77], ˝ЩЩВНЪЛ‚М˚П ПВЪУ‰УП У·М‡ ЫКВМЛfl Л Л‰ВМЪЛЩЛН‡ˆЛЛ ТН ˚Ъ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ дейи Еал Л лЕал fl‚ОflВЪТfl НУМЪ УО¸ МЛБНУ˜‡ТЪУЪМ˚ı (зу) ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ЪУН‡ ФУЪ В·ОВМЛfl ‚ ТЪ‡ЪЛ˜ВТНУП ВКЛПВ (ЛБ·˚- ЪУ˜МУ„У ¯ЫП‡ ‚Л‰‡ 1/f). и Л ˝ЪУП НУМЪ УО¸ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ЪУН‡ ‚ ˆВФЛ ФЛЪ‡МЛfl ФУБ‚УОflВЪ УТЫ˘ВТЪ- ‚ЛЪ¸ ЛМЪВ„ ‡О¸МЫ˛ УˆВМНЫ Н‡˜ВТЪ‚‡ аел Л Ф У- „МУБЛ У‚‡Ъ¸ Лı М‡‰ВКМУТЪ¸ ФУ ‚ТВПЫ ПМУКВТЪ‚Ы ТЪ ЫНЪЫ М˚ı НУПФУМВМЪУ‚.

СЛ‡„МУТЪЛ˜ВТНЛИ НУМЪ УО¸ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ТЪ‡ЪЛ- ˜ВТНУ„У ЪУН‡ ФУЪ В·ОВМЛfl Icc ‚ ˆВФЛ У·˘В„У Ф У- ‚У‰‡ Еал Т‚У‰ЛЪТfl, ФУ ТЫ˘ВТЪ‚Ы, Н ЛБПВ ВМЛflП ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ЪУН‡, Ф УıУ‰fl˘В„У ˜В ВБ ‰‚ЫıФУО˛Т- МЛН, Ъ.В. ТıВП‡ ЛБПВ ВМЛИ лие ¯ЫП‡ Ф Л ‰Л‡„МУТЪЛНВ Еал МВ УЪОЛ˜‡ВЪТfl УЪ ТıВП˚ ЛБПВ ВМЛИ ¯ЫПУ‚ ‚ Ф‡ТТЛ‚М˚ı НУПФУМВМЪ‡ı аел (ПВЪ‡ООЛ- Б‡ˆЛfl, НУМЪ‡НЪ˚ ЛОЛ ВБЛТЪУ ˚) Ф Л Б‡‰‡МЛЛ ˜В-ВБ МЛı ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡.

й·˚˜МУ МЛБНУ˜‡ТЪУЪМ˚И ¯ЫП ‚ ТЪ ЫНЪЫ ‡ı ПВЪ‡ОО-УНЛТВО-ФУОЫФ У‚У‰МЛН Л ‚ Ф Л·У ‡ı М‡ Лı УТМУ‚В Т‚flБ˚‚‡˛Ъ Т ˝ОВНЪ УММ˚ПЛ ТУТЪУflМЛflПЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ЛТЪ‡ОО‡ Л ОУ‚Ы¯Н‡ПЛ ‚ УНТЛ‰В [75]. й‰М‡НУ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛВ ЛБ·˚ЪУ˜МУ„У ¯ЫП‡ ‚ ˆВФЛ ФЛЪ‡МЛfl дейи Еал МВ У„ ‡МЛ˜Л‚‡ВЪТfl ЪУО¸НУ ОУ‚Ы¯В˜М˚П ПВı‡МЛБП‡П. к‡Б‚ЛЪ‡fl ТВЪ¸ ФВ В ‡ТФ В‰ВОВМЛfl ЪУН‡ ˜В ВБ УЪ‰ВО¸М˚В ‚ВЪ‚Л ˝ОВНЪ Л˜ВТНУИ ТıВП˚ Еал ТУБ‰‡ВЪ ТФВˆЛЩЛ˜ВТНЛИ Щ‡НЪУ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ, Т‚flБ‡М- М˚ı Т П‡Н У‰ВЩВНЪ‡ПЛ ‚ ВВ ТЪ ЫНЪЫ М˚ı НУПФУМВМЪ‡ı Л Т ЩЫМНˆЛУМ‡О¸М˚ПЛ УТУ·ВММУТЪflПЛ УЪ- ‰ВО¸М˚ı ЫБОУ‚ аел.

LjВФЛ ФЛЪ‡МЛfl Еал М‡ ЩЫМ‰‡ПВМЪ‡О¸М˚В ¯Ы- П˚: ЪВФОУ‚УИ, ‰ У·У‚УИ Л 1/f-¯ЫП, Т‚flБ‡ММ˚И Т ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ ФУ‰‚ЛКМУТЪЛ МУТЛЪВОВИ ЪУН‡ Ф Л‡ТТВflМЛЛ М‡ ЩУМУМ‡ı (ТП. ‡Б‰. 1, 2), М‡О‡„‡ВЪТfl ЛБ·˚ЪУ˜М‡fl ТУТЪ‡‚Оfl˛˘‡fl ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ЪУН‡ ФУ- Ъ В·ОВМЛfl, У·ЫТОУ‚ОВММ‡fl М‡ОЛ˜ЛВП П‡Н У‰В- ЩВНЪУ‚ ‚ ТЪ ЫНЪЫ В Еал. й·М‡ ЫКВМЛВ Л Л‰ВМЪЛЩЛН‡ˆЛfl ˝ЪУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ зу-¯ЫП‡ Л fl‚ОflВЪТfl УТМУ‚УИ ‰Л‡„МУТЪЛ˜ВТНУ„У НУМЪ УОfl Н‡˜ВТЪ‚‡ Еал ФУТ В‰ТЪ‚УП М‡·О˛‰ВМЛfl зу ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ЪУН‡ Icc ‚ ˆÂÔË ÔËÚ‡ÌËfl.

LJ·УЪ‡ı [3, 76] Ф Л‚В‰ВМ˚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸- М˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУ ЛТТОВ‰У‚‡МЛflП зу ЩОЫНЪЫ‡- ˆЛИ ЪУН‡ ФУЪ В·ОВМЛfl ‰Оfl ТВ ЛИМУ ‚˚ФЫТН‡ВП˚ı дейи Еал УФВ ‡ЪЛ‚МУ„У Б‡ФУПЛМ‡˛˘В„У ЫТЪ-УИТЪ‚‡. СОfl ˝НТФВ ЛПВМЪУ‚ ·˚ОЛ УЪУ· ‡М˚ У·-‡Бˆ˚ Еал, Ы‰У‚ОВЪ‚У fl˛˘ЛВ Н ЛЪВ ЛflП „У‰МУТЪЛ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т ЪВıМЛ˜ВТНЛПЛ ЫТОУ‚ЛflПЛ, МУ ‚БflЪ˚ ·˚ОЛ ЛБ Ф УЛБ‚У‰ТЪ‚ВММУИ Ф‡ ЪЛЛ Т ФУМЛКВММ˚П Ф УˆВМЪУП ‚˚ıУ‰‡ „У‰М˚ı.

лФВНЪ ‡О¸М‡fl ФОУЪМУТЪ¸ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ЪУН‡ ФУ- Ъ В·ОВМЛfl дейи Еал ‚ ТЪ‡ЪЛ˜ВТНУП ВКЛПВ Б‡- ‚ЛТВО‡ ‚ [76] УЪ ˜‡ТЪУЪ˚ ФУ Б‡НУМЫ 1/f γ , „‰В ФУН‡- Б‡ЪВО¸ ЩУ П˚ ТФВНЪ ‡ γ ≈ 0.9…1.2 ‰Оfl ‡БОЛ˜М˚ı ˝НБВПФОfl У‚ ПЛН УТıВП ЛТТОВ‰ЫВПУИ ‚˚·У НЛ. СОfl УФВ ‡ЪЛ‚МУИ УˆВМНЛ Ы У‚Мfl зу-¯ЫП‡ Еал ‚ [76] ЛБПВ flОЛ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУВ М‡Ф flКВМЛВ ¯ЫП‡ U˝Ù ‚ ФУОУТВ ˜‡ТЪУЪ ∆ f = 1…8 Ɉ.

з‡ ЛТ. 19 Ф Л‚В‰ВМ‡ ‰Л‡„ ‡ПП‡ ˝ЩЩВНЪЛ‚МУ- „У М‡Ф flКВМЛfl ¯ЫПУ‚ U˝Ù ‰Оfl дейи Еал УФВ ‡- ЪЛ‚МУ„У ‰УФУОМfl˛˘В„У ЫТЪ УИТЪ‚‡, „ВМВ Л ЫВПУ- „У ЪУНУП ФУЪ В·ОВМЛfl ‚ ВКЛПВ, Ф Л НУЪУ УП ‚ıУ‰

Ò˄̇· ‡Á ¯ÂÌËfl CE = 0, Ъ.В. ТıВП˚ М‡ıУ‰ЛОЛТ¸ ‚ ‡НЪЛ‚МУП ВКЛПВ Ф Л М‡Ф flКВМЛЛ ФЛЪ‡МЛfl UÔËÚ = = 4.0 Ç (Ó·˙ÂÏ ‚˚·Ó ÍË Åàë N = 28 ¯Ú.) [76].