ЛЕКЦИИ ФШФС_2007 / НАШИ СТАТЬИ / RadEl5_05_РУС.pdf / RadEl5_05ZhigalskiiLO

ЗДп, У·ЫТОУ‚ОВММ˚И ‚ТВПЛ МВОЛМВИМ˚ПЛ ˜ОВМ‡- ПЛ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т Ф ЛМflЪ˚ПЛ ‚Л‰‡ПЛ ‡ФФ УНТЛ- П‡ˆЛЛ (13) ЛОЛ (14). м У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ПУКМУ ‚˚ ‡БЛЪ¸ Ъ‡НКВ ‚ УЪМУТЛЪВО¸М˚ı В‰ЛМЛˆ‡ı

K N = N ( I) / R0 , (16)

„‰Â KN – ·ВБ ‡БПВ М˚И НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп, N(I) Ë R0 – ЫТ В‰МВММ˚В ФУ ‚ ВПВМЛ НУ- ˝ЩЩЛˆЛВМЪ˚ ЗДп (15).

мТОУ‚ЛВП МЛБНУ„У Ы У‚Мfl МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп fl‚ОflВЪТfl [24]:

и Л УЪТЫЪТЪ‚ЛЛ НУ ВОflˆЛЛ ПВК‰Ы Б‡‚ЛТfl˘ВИ Л МВБ‡‚ЛТfl˘ВИ УЪ ЪУН‡ ˜‡ТЪflПЛ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl R ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (15) ТФВНЪ ‡О¸М‡fl ФОУЪМУТЪ¸ (ли) ЩОЛННВ М˚ı ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ М‡Ф flКВМЛfl V М‡ ‰‚ЫıФУО˛ТМЛНВ SV( f ) Ф Л Б‡‰‡МЛЛ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ I0

„‰Â SRL( f ) Ë SRN(I0, f ) – ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ МВБ‡‚ЛТfl- ˘ВИ (ОЛМВИМУИ) Л Б‡‚ЛТfl˘ВИ (МВОЛМВИМУИ) УЪ ЪУН‡ ˜‡ТЪВИ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl Ф‡ТТЛ‚МУ„У ‰‚ЫıФУО˛ТМЛН‡ R ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ. иВ ‚УВ ТО‡„‡ВПУВ ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (18) ‰Оfl ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ М‡Ф flКВМЛfl V М‡ ‰‚ЫıФУ- О˛ТМЛНВ УФ В‰ВОflВЪТfl ‡‚МУ‚ВТМ˚ПЛ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl R, ‡ ‚ЪУ УВ – МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ПЛ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ.

Ç ÒÎÛ˜‡Â ËÁÏ ÂÌËfl ëèå 1/f-¯ЫП‡ ‰‚ЫıФУО˛Т- МЛН‡ Ф Л Б‡‰‡МЛЛ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ I0 У·В ТУТЪ‡‚Оfl- ˛˘ЛВ лие ‚ (18) ЛБПВ fl˛ЪТfl У‰МУ‚ ВПВММУ, ˜ЪУ МВ ФУБ‚УОflВЪ УФ В‰ВОЛЪ¸ ‚НО‡‰ ‚ Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ Н‡К‰У„У ЛБ ˜ОВМУ‚ ЗДп ‚ УЪ‰ВО¸МУТЪЛ Л ‚˚‰ВОЛЪ¸ зот ЛБ ФУОМУИ лие ЩОЛННВ -¯ЫП‡ SV(I0, f ). è Ë Ï‡ÎÓÏ ÚÓÍ I0 Ì ‡‚ÌÓ‚ÂÒÌ˚È 1/f-¯ЫП ‚У ПМУ- „Лı ТОЫ˜‡flı П‡ТНЛ ЫВЪТfl ‡‚МУ‚ВТМ˚П (‰Оfl Н‡˜В- ТЪ‚ВММ˚ı ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН У·˚˜МУ ˝ЪУ ЛПВВЪ ПВТЪУ Ф Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j0 ≤ 106 Ä/ÒÏ2).

СОfl ˝ОВПВМЪ‡ ТУ ТО‡·УИ МВОЛМВИМУТЪ¸˛, Н‡НЛП fl‚ОflВЪТfl ПВЪ‡ООЛ˜ВТН‡fl ФОВМН‡ ЛОЛ УПЛ˜ВТНЛВ НУМЪ‡НЪ˚, ˜ОВМ˚ ТЪВФВММУ„У fl‰‡ (13) ·˚ТЪ У Ы·˚‚‡˛Ъ Т УТЪУП МУПВ ‡ n, Ô Ë˜ÂÏ ‰Îfl Ó·˚˜Ì˚ı

‡·У˜Лı ЪУНУ‚ ТФ ‡‚В‰ОЛ‚У ТУУЪМУ¯ВМЛВ R0 Rn

(n = 1, 2, 3…) (Á‰ÂÒ¸ R0 , Rn – ЫТ В‰МВММ˚В ФУ ‚ В- ПВМЛ БМ‡˜ВМЛfl НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУ‚ R0(t), Rn(t)). щЪУ ЫТОУ‚ЛВ ФУБ‚УОflВЪ ‚ М‡Л·УОВВ ‚‡КМ˚ı ‰Оfl Ф ‡НЪЛНЛ ТОЫ˜‡flı У„ ‡МЛ˜ЛЪ¸Тfl ФВ ‚˚ПЛ Ъ ВПfl ˜ОВМ‡ПЛ ‚‡БОУКВМЛЛ (13). нУ„‰‡ ‰Оfl ЗДп ТФ ‡‚В‰ОЛ‚У ‚˚-‡КВМЛВ

и Л ˝ЪУП ЩОЫНЪЫ‡ˆЛЛ М‡Ф flКВМЛfl V М‡ ФОВМУ˜- МУП У· ‡БˆВ Ф Л Ф УЪВН‡МЛЛ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ I0 ÓÔ Â‰ÂÎfl˛ÚÒfl

∆ V ( t) = ∆ R0 ( t) I0 + ∆ R1 ( t) I20 + ∆ R2 ( t) I30 , (20)

„‰Â ∆ V(t) = V(t) – V (V – ЫТ В‰МВММУВ ФУ ‚ ВПВМЛ Ф‡- ‰ВМЛВ М‡Ф flКВМЛfl М‡ ФОВМУ˜МУП У· ‡БˆВ), ∆ Rn(t) =

= Rn(t) – Rn (n = 0, 1, 2).

ЦТОЛ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛЛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУ‚ R0(t), R1(t) Ë R2(t) ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (19) МВНУ ВОЛ У‚‡ММ˚, ЪУ„‰‡ лие 1/f-¯ЫП‡ Ф Л Б‡‰‡ММУП ФУТЪУflММУП ЪУНВ I0 ÓÔ Â‰ÂÎflÂÚÒfl:

SV ( I0, f ) = SR0 ( f ) I20 + SR1 ( f ) I40 + SR2 ( f ) I60 , (21)

„‰Â SR0, SR1, SR2 – ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУ‚ R0, R1, R2 ‚ ‡БОУКВМЛЛ (19) ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ВММУ.

н‡НЛП У· ‡БУП, МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚В ЩОЫНЪЫ‡ˆЛЛ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Ф Л‚У‰flЪ Н УЪНОУМВМЛ˛ ЪУНУ‚УИ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ лие 1/f-¯ЫП‡ УЪ Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ, ˜ЪУ УТУ·ВММУ ‰УОКМУ Ф Уfl‚ОflЪ¸Тfl Ф Л ·УО¸¯Лı ЪУ- Н‡ı. и Л П‡О˚ı ЪУН‡ı ·Ы‰ВЪ М‡·О˛‰‡Ъ¸Тfl ЪУО¸НУ кот, УФ В‰ВОflВП˚И ФВ ‚˚П ТО‡„‡ВП˚П ‚ ‚˚ ‡- КВМЛЛ (21).

З У·БУ В [9] ФУН‡Б‡МУ, ˜ЪУ ‚ Ф У‚У‰fl˘Лı ФОВМ- Н‡ı Л НУМЪ‡НЪ‡ı ТЫ˘ВТЪ‚Ы˛Ъ ‡БОЛ˜М˚В ‚Л‰˚ зот, ‡БОЛ˜‡˛˘ЛВТfl ЩЛБЛ˜ВТНЛПЛ ПВı‡МЛБП‡- ПЛ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛfl. и Л ˝ЪУП М‡·О˛‰‡˛ЪТfl Н‡Н ТЪ‡ˆЛУМ‡ М˚И, Ъ‡Н Л МВТЪ‡ˆЛУМ‡ М˚И зот, ˜ЪУ УФ В‰ВОflВЪТfl ЫТОУ‚ЛflПЛ ЛТФ˚Ъ‡МЛИ Л ПЛН УТЪ-ЫНЪЫ УИ ФОВМНЛ. С‡‰ЛП Н ‡ЪНЛИ ‡М‡ОЛБ ВБЫО¸- Ъ‡ЪУ‚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚ı ЛТТОВ‰У‚‡МЛИ ФУ зот Т‡БОЛ˜М˚ПЛ ЩЛБЛ˜ВТНЛПЛ ПВı‡МЛБП‡ПЛ ‚УБМЛНМУ- ‚ВМЛfl ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМН‡ı Л НУМЪ‡НЪ‡ı [9].

СОfl МВНУЪУ ˚ı ‚Л‰У‚ зот М‡·О˛‰‡˛ЪТfl БМ‡- ˜ВМЛfl ФУН‡Б‡ЪВОfl γ ≥ 2, ıУЪfl ‰Оfl ‰ Ы„Лı ‚Л‰У‚ зот ФУН‡Б‡ЪВО¸ γ ·ОЛБУН Н В‰ЛМЛˆВ. З ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМН‡ı зот, Т‚flБ‡ММ˚И Т Ф УıУК‰ВМЛВП ЪУН‡ ˜В-ВБ У· ‡БВˆ, ПУКВЪ ·˚Ъ¸ У·ЫТОУ‚ОВМ: 1) „ВМВ ‡- ˆЛВИ ЛБ·˚ЪУ˜М˚ı ‚‡Н‡МТЛИ Ф Л ЪУНУ‚УП М‡„ ‚ ӷ ‡Бˆ‡ ЛОЛ Ф Л ОУН‡О¸МУП ФВ В„ ‚ ӷ·ТЪВИ ФОВМНЛ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ М‡ОЛ˜Лfl ОУН‡О¸М˚ı МВУ‰МУ-У‰МУТЪВИ, 2) Ф УˆВТТ‡ПЛ П‡ТТУФВ ВМУТ‡ ‡ЪУПУ‚ ПВЪ‡ОО‡ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ ЛОЛ ФУ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ ПВЪ‡ОО‡ (˝ОВНЪ УПЛ„ ‡ˆЛУММ˚И ¯ЫП). иВ ‚˚И ‚Л‰ МВ ‡‚МУ‚ВТМУ„У 1/f-¯Ûχ fl‚ÎflÂÚÒfl ÒÚ‡ˆËÓ̇ Ì˚Ï, ‚ÚÓ ÓÈ – ÌÂÒÚ‡ˆËÓ̇ Ì˚Ï.

д УПВ ЪУ„У, ‚ ФОВМН‡ı ПВЪ‡ООУ‚ Л ТФО‡‚У‚, ‡ Ъ‡НКВ ‚ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛflı, ЛПВ˛˘Лı „ВЪВ-У„ВММ˚В ‚НО˛˜ВМЛfl ‚ ‚Л‰В УНТЛ‰У‚ ЛОЛ МЛЪ Л- ‰У‚ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ Н ЛТЪ‡ООЛЪУ‚ ЛОЛ ‚ У·О‡Т- ЪЛ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡, зот ПУКВЪ ·˚Ъ¸ Т‚flБ‡М Т Ф Уfl‚ОВМЛВП МВПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı (‡НЪЛ‚‡ˆЛУММ˚ı) ПВı‡МЛБПУ‚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ, ‰‡˛˘Лı ‚ВТ¸П‡ МВБМ‡- ˜ЛЪВО¸М˚И ‚НО‡‰ ‚ У·˘ВВ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ ПВЪ‡О- ОЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ ЛОЛ ‚ НУМЪ‡НЪМУВ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ НУМЪ‡НЪМУ„У ЫБО‡, МУ ‚ УТМУ‚МУП УФ В‰ВОfl˛-

˘Ëı Û Ó‚Â̸ 1/f-¯ЫП‡ У· ‡Бˆ‡. щЪУЪ ‚Л‰ зот fl‚ОflВЪТfl ТЪ‡ˆЛУМ‡ М˚П. з‡·О˛‰‡ОТfl УМ ‚ ФОВМ- Н‡ı ПУОЛ·‰ВМ‡, УТ‡К‰ВММ˚ı Т МЛБНУИ ТНУ УТЪ¸˛ НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ, ‚ НУЪУ ˚ı ЛПВ˛ЪТfl ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ Ф УТОУИНЛ ‚ ‚Л‰В УНТЛ‰‡ ПУОЛ·‰ВМ‡ ФУ „ ‡МЛ- ˆ‡П Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı БВ ВМ [25, 29].

д УПВ зот, Т‚flБ‡ММУ„У Т Ф УıУК‰ВМЛВП ЪУ- Н‡, ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМН‡ı М‡·О˛‰‡ВЪТfl МВ ‡‚- МУ‚ВТМ˚И 1/f γ -¯ЫП, У·ЫТОУ‚ОВММ˚И ЪВ ПУ‰ЛМ‡- ПЛ˜ВТНУИ МВ ‡‚МУ‚ВТМУТЪ¸˛ ТЪ ЫНЪЫ ˚ ФОВМНЛ ЛОЛ ‚МВ¯МЛПЛ ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛflПЛ М‡ ФОВМУ˜М˚И У·-‡БВˆ ( ‡‰Л‡ˆЛУММУВ У·ОЫ˜ВМЛВ, ПВı‡МЛ˜ВТНЛВ М‡„ ЫБНЛ) [9].

З У·БУ В [9] ‡ТТПУЪ ВМ Ъ‡НКВ зот ‚ ФОВМ- Н‡ı ПВЪ‡ООУ‚ Л ТФО‡‚У‚, У·ЫТОУ‚ОВММ˚И „ВМВ ‡- ˆЛВИ ЛБ·˚ЪУ˜М˚ı ‚‡Н‡МТЛИ ‚ У· ‡БˆВ Б‡ Т˜ВЪ ‰КУЫОВ‚‡ М‡„ В‚‡. л Ы‚ВОЛ˜ВМЛВП ЪУН‡ ФУ‚˚¯‡ВЪТfl ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ ФОВМНЛ, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ‚УБ ‡ТЪ‡МЛ˛ ‚ МВИ НУОЛ˜ВТЪ‚‡ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ‚‡Н‡МТЛИ. дУ„‰‡ НУОЛ˜ВТЪ‚У ‰УФУОМЛЪВО¸МУ „ВМВ Л ЫВП˚ı ‚‡Н‡МТЛИ ‚ ФОВМНВ ЛБ-Б‡ ВВ ФВ В„ В‚‡ ТЪ‡МВЪ ‚˚¯В Лı ‡‚МУ- ‚ВТМУ„У ˜ЛТО‡, УФ В‰ВОflВПУ„У ‚˚ ‡КВМЛВП (10) Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В, зот М‡˜МВЪ Ф В- ‚˚¯‡Ъ¸ кот [26, 9] Л ЪУ„‰‡ лие 1/f γ -¯ЫП‡ ·Ы‰ВЪ УФ В‰ВОflЪ¸Тfl ‚ЪУ ˚П ˜ОВМУП ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (21).

з‡ ЛТ. 3 Ф В‰ТЪ‡‚ОВМ˚ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ лие 1/f- ¯ЫП‡ УЪ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡ ‰Оfl ФОВМНЛ ı УП‡ Т ФУ- ‚˚¯ВММУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛВИ ‚‡Н‡МТЛИ [26]. З‡Н‡М- ТЛУММ˚И ПВı‡МЛБП 1/f-¯ЫП‡ ‚ ЛТТОВ‰У‚‡ММ˚ı ФОВМ- Н‡ı ФУ‰Ъ‚В К‰‡ВЪТfl ‡НЪЛ‚‡ˆЛУММУИ Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸˛ лие ¯ЫП‡ УЪ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ Т ˝МВ „ЛВИ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ

E‚‡Í = 0.6 ˝З (М‡ ˜‡ТЪУЪВ 35 Йˆ). и Л ˝ЪУП Ы У‚ВМ¸ М‡·О˛‰‡ВПУ„У 1/f-¯Ûχ ̇ ˜ÂÚ˚ Â-ÔflÚ¸ ÔÓ fl‰ÍÓ‚

‚ВОЛ˜ЛМ˚ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl ·УО¸¯В, ˜ВП ‰‡ВЪ ‚˚ ‡КВМЛВ (1) (НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl МУТЛЪВОВИ ‚ ФОВМНВ Ф Л‡Т˜ВЪ‡ı ‚ [26] Ф ЛМflЪ‡ ‡‚МУИ nc = 1.7 × 1022 ÒÏ–3).

аБ ЛТ. 3 ‚Л‰МУ, ˜ЪУ Ф Л‚В‰ВММ˚В Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ ФУ‰˜ЛМfl˛ЪТfl Б‡НУМЫ SV ~ In Т ФВ ВПВММ˚П n. д‡Н ФУН‡Б˚‚‡ВЪ ‡М‡ОЛБ, Ф Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j < < 3 × 103 Ä/ÒÏ2 ÔÓ͇Á‡ÚÂθ n ·ОЛБУН Н ‚ВОЛ˜ЛМВ n ≈ 2 Ë Ô Ë ÚÓÍ j > 104 Ä/ÒÏ2 ‰ÓÒÚË„‡ÂÚ Á̇˜ÂÌËfl n ≈ 4. и Л ˝ЪУП ‰Оfl П‡О˚ı ЪУНУ‚ ЛПВВЪ ПВТЪУ кот, У·ЫТОУ‚ОВММ˚И ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ ˜ЛТО‡ Н‚‡- БЛ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ‚‡Н‡МТЛИ ‚ У· ‡БˆВ (ли ЩОЫНЪЫ‡- ˆЛИ SR0( f ) ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (21)). л Ы‚ВОЛ˜ВМЛВП ЪУН‡ ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ ФОВМНЛ ФУ‚˚¯‡ВЪТfl, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ‚УБ ‡ТЪ‡МЛ˛ НУОЛ˜ВТЪ‚‡ ‚‡Н‡МТЛИ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т ‚˚ ‡КВМЛВП (10). дУ„‰‡ НУОЛ˜ВТЪ‚У ‰УФУОМЛЪВО¸МУ „ВМВ Л ЫВП˚ı ‚‡Н‡МТЛИ ‚ ФОВМНВ ЛБ-Б‡ ВВ ФВ В„ В‚‡ Ф В‚˚ТЛЪ Лı ‡‚МУ‚ВТМУВ ˜ЛТОУ, ТУУЪ- ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘ВВ НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В, зот М‡˜- МВЪ Ф В‚˚¯‡Ъ¸ кот [26].

ᇂЛТЛПУТЪЛ лие 1/f-¯ЫП‡ УЪ ЪУН‡, ‡М‡ОУ„Л˜- М˚В Ф Л‚В‰ВММ˚П М‡ ЛТ. 3 ‰Оfl ı УП‡, М‡·О˛‰‡- ОЛТ¸ ‚ ‡·УЪВ [4] ‰Оfl ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı ТОУВ‚ ЛБ ТФО‡‚‡ Ni/Cr ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВП 500…4000 йП, ‡ Ъ‡Н- КВ ‚ ‡·УЪВ [30] ‰Оfl ФОВМУН ТФО‡‚‡ Al/Cu (20% ‚ÂÒ. Cu), УТ‡К‰ВММ˚ı М‡ УНЛТОВММ˚ı Н ВПМЛВ‚˚ı ФУ‰- ОУКН‡ı ПВЪУ‰УП ЪВ ПЛ˜ВТНУ„У ЛТФ‡ ВМЛfl ‚ ‚‡НЫЫПВ (‰ОЛМ‡ ФОВМУ˜МУ„У У· ‡Бˆ‡ l = 1.3 ÏÏ, ¯Ë Ë̇ b = 20 ÏÍÏ, ÚÓ΢Ë̇ h = 300 МП). З ФУТОВ‰МВИ ‡- ·УЪВ ЪУНУ‚‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ лие 1/f-¯ЫП‡ ·˚О‡ ·ОЛБН‡ Н Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ Ф Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j0 ≤

≤ 2.1 × 106 Ä/ÒÏ2 Л Ф Л·ОЛБЛЪВО¸МУ ФУ‰˜ЛМflО‡Т¸ Б‡НУМЫ j40 Ф Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j0 = (2.1…3.2) × 106 Ä/ÒÏ2.

иУН‡Б‡ЪВО¸ ЩУ П˚ ТФВНЪ ‡ γ ЛБПВМflОТfl ‚ ‰Л‡Ф‡- БУМВ γ = 1.07…1.22 (± 0.05).

з‡ ЛТ. 4 Ф Л‚В‰ВМ‡ ЪУНУ‚‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ лие 1/f-¯ЫП‡ ‰Оfl ФОВМУН ТФО‡‚‡ Ni/Cr [4]. аПВВЪ ПВТЪУ ТЪВФВММ‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ лие 1/f-¯Ûχ ÓÚ ÚÓ͇,

Ú‡Í ˜ÚÓ SV In0 . è ˘ÂÏ Ô Ë ÚÓÍ I0 < 1.75 ÏÄ ÔÓ-

ФОВМУ˜МУП У· ‡БˆВ М‡·О˛‰‡ВЪТfl зот ‚ТОВ‰ТЪ- ‚ЛВ „ВМВ ‡ˆЛЛ ЛБ·˚ЪУ˜М˚ı ‚‡Н‡МТЛИ, ‚˚Б‚‡ММУИ ОУН‡О¸М˚ПЛ ФВ В„ В‚‡ПЛ ФОВМНЛ.

äÓ˝ÙÙˈËÂÌÚ˚ R1, R2 ‚ ‡БОУКВМЛЛ (13) Л лие SR1 Ë SR2 ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (21) ‰Оfl МВ ‡‚МУ‚ВТМУ„У 1/f-¯ЫП‡, ТУБ‰‡‚‡ВПУ„У ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ ∆ R1, ∆ R2, ‰‡˛Ъ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ У ‡БОЛ˜М˚ı ‚Л‰‡ı ТН ˚- Ъ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛflı, ‚ ПВ- Ъ‡ООЛБ‡ˆЛЛ аел, ‚ ПВКТОУИМ˚ı ФВ ВıУ‰‡ı Л ФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ ‡ı.

д‡Н ‚Л‰МУ ЛБ ‚˚ ‡КВМЛfl (21), Ф Л ЛБПВ ВМЛЛ М‡ ФУТЪУflММУП ЪУНВ I0 ËÁÏ flÂÚÒfl ÒÛÏχ ̇fl ëèå ‡‚ÌÓ‚ÂÒÌÓ„Ó Ë Ì ‡‚ÌÓ‚ÂÒÌÓ„Ó 1/f-¯ЫП‡. йЪМУТЛЪВО¸М˚В ‚НО‡‰˚ кот Л зот ‚ ФУОМЫ˛ ПУ˘МУТЪ¸ 1/f-¯ЫП‡ ‡БОЛ˜М˚, ˜ЪУ Б‡‚ЛТЛЪ УЪ ЫТОУ‚ЛИ ЛБПВ ВМЛИ (‚ВОЛ˜ЛМ˚ ЪУН‡, ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚) Л УТУ·ВММУТЪВИ ПЛН УТЪ ЫНЪЫ ˚ У· ‡Бˆ‡ ( ‡БПВ БВ ВМ, М‡ОЛ˜ЛВ „ВЪВ У„ВММ˚ı ‚НО˛˜ВМЛИ Л ‰ .). и Л ˝ЪУП зот ˜‡ТЪУ П‡ТНЛ ЫВЪТfl ‡‚МУ‚ВТМ˚П ЩОЛННВ -¯ЫПУП, ıУЪfl Ф Л ‚˚ТУНУИ ФОУЪМУТЪЛ ЪУ- Н‡ зот ПУКВЪ ·˚Ъ¸ Ф ВУ·О‡‰‡˛˘ЛП. (З ‡Б‰. 2 Ф Л‚В‰ВМ˚ ПВЪУ‰˚ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚ı ЛТТОВ‰У- ‚‡МЛИ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ЩОЛННВ М˚ı ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ‚ Ф У‚У‰fl˘Лı ФОВМН‡ı Л НУМЪ‡НЪ‡ı, ФУБ‚УОfl˛˘ЛВ ‚˚‰ВОЛЪ¸ зот ЛБ ФУОМУИ ПУ˘МУТЪЛ 1/f-¯Ûχ).

СОfl ·УО¸¯ЛМТЪ‚‡ Ф‡ТТЛ‚М˚ı НУПФУМВМЪУ‚ ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ПЛН УТıВП (ЪУМНУФОВМУ˜М˚В Ф У‚У‰- МЛНЛ, ВБЛТЪЛ‚М˚В ТОУЛ, НУМЪ‡НЪ˚) Л ‰ Ы„Лı ˝ОВНЪ УММ˚ı Ф Л·У У‚ ‚У ПМУ„Лı ТОЫ˜‡flı Ы У‚ВМ¸ зот fl‚ОflВЪТfl М‡Л·УОВВ ЛМЩУ П‡ЪЛ‚М˚П Ф‡ ‡- ПВЪ УП Н‡˜ВТЪ‚‡ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т кот. иУ˝ЪУПЫ Ф Л Ф У‚В‰ВМЛЛ МВ ‡Б Ы¯‡˛˘В„У НУМЪ УОfl Н‡˜В- ТЪ‚‡ ‡БОЛ˜М˚ı ЪЛФУ‚ ˝ОВНЪ УММ˚ı Ф Л·У У‚ Ф В‰ФУ˜ЪВМЛВ ТОВ‰ЫВЪ УЪ‰‡Ъ¸ ЛБПВ ВМЛflП лие зот, ıУЪfl Ъ ‡‰ЛˆЛУММУ ‡БОЛ˜ЛИ ПВК‰Ы кот Л зот Ф Л Ф У‚В‰ВМЛЛ МВ ‡Б Ы¯‡˛˘В„У НУМЪ У- Оfl Н‡˜ВТЪ‚‡, Н‡Н Ф ‡‚ЛОУ, МВ ‰ВО‡ВЪТfl.

¯ЫП‡ М‡ ˜‡ТЪУЪ‡ı МЛКВ 1 Йˆ (У·˚˜МУ ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ УЪ 10 ПЙˆ ‰У 1 Йˆ), ФУТНУО¸НЫ М‡ ·УОВВ ‚˚ТУНЛı ˜‡ТЪУЪ‡ı УМ П‡ТНЛ ЫВЪТfl ‡‚МУ‚ВТМ˚П 1/f-¯ЫПУП, ‰Оfl НУЪУ У„У ФУН‡Б‡ЪВО¸ ЩУ П˚ ТФВНЪ ‡ γ ≈ 1. СОfl ФОВМУН Al Л В„У ТФО‡‚У‚ ‚УБМЛНМУ‚ВМЛВ НУПФУМВМЪ˚ зот Т‚flБ˚‚‡˛Ъ Т Ф УˆВТТУП ПЛ„ ‡ˆЛЛ ‡ЪУПУ‚ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ ЛОЛ ФУ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ [10, 11, 37, 38].

д‡К‰‡fl ЛБ НУПФУМВМЪ ‡‚МУ‚ВТМУ„У 1/f-¯Ûχ Ë Ì ‡‚ÌÓ‚ÂÒÌÓ„Ó ùå 1/f 2-¯ЫП‡ У·ЫТОУ‚ОВМ‡ ‡БОЛ˜- М˚ПЛ ЩЛБЛ˜ВТНЛПЛ ПВı‡МЛБП‡ПЛ. ꇂМУ‚ВТМ˚И 1/f- ¯ЫП ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМН‡ı (УЪУККВММ˚ı Л МВ ФУ‰‚В „МЫЪ˚ı ‚МВ¯МЛП ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛflП, М‡Ф ЛПВ ‰ВЩУ ПЛ У‚‡МЛ˛) ‚УБМЛН‡ВЪ ЛБ-Б‡ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ФУ‰‚ЛКМУТЪЛ МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ Ф Л ‡ТТВflМЛЛ Лı М‡ В¯ВЪНВ ЛОЛ М‡ Н‚‡БЛ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ‚‡Н‡МТЛflı. щЪ‡ НУПФУМВМЪ‡ кот fl‚ОflВЪТfl ТЪ‡ˆЛУМ‡ М˚П 1/f-¯ЫПУП. З ЪУ КВ ‚ ВПfl ще ¯ЫП У·ЫТОУ‚ОВМ Ф УˆВТТУП ˝ОВНЪ УП‡ТТУФВ ВМУТ‡ П‡ЪВ Л‡О‡ ПВ- Ъ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ Н ‡БОЛ˜МУ„У У‰‡ ТЪУН‡П ‚ У·˙ВПВ ( В¯ВЪУ˜М‡fl ‰ЛЩЩЫБЛfl) ЛОЛ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ (Йб-‰ЛЩЩЫБЛfl), НУЪУ ˚И Ф Л‚У‰ЛЪ Н МВУ- · ‡ЪЛП˚П ТЪ ЫНЪЫ М˚П ЛБПВМВМЛflП ‚ ФОВМНВ [1, 37]. иУ Т‚УВИ Ф Л У‰В ˝ЪУЪ ‚Л‰ зот fl‚ОflВЪТfl МВТЪ‡ˆЛУМ‡ М˚П ¯ЫПУП. л ФУ‚˚¯ВМЛВП ЪВПФВ-‡ЪЫ ˚ ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНВ ЫТЛОЛ‚‡˛ЪТfl ще Ф УˆВТТ˚ Л лие ˝ОВНЪ УПЛ„ ‡ˆЛУММУ„У 1/f 2-¯Ы- П‡ Ф Л Б‡‰‡ММУИ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j0 ‚УБ ‡ТЪ‡ВЪ, Л ФУН‡Б‡ЪВО¸ ЩУ П˚ ТФВНЪ ‡ ‰УТЪЛ„‡ВЪ БМ‡˜ВМЛfl γ = 2 [10].

ЗПВТЪВ Т ЪВП Ф Л ЛБПВ ВМЛflı лие 1/f-¯ЫП‡ М‡ ФВ ВПВММУП ЪУНВ (1/∆ f-¯ЫП) [39] ‰Оfl ФОВМУН ТФО‡‚‡ AlSi(1%)Cu(0.5%) Ò ‡ÁÏ ‡ÏË Ó· ‡Áˆ‡ (2 × 100 × × 0 .8 ÏÍÏ3) ФУН‡Б‡ЪВО¸ γ ‚ТВ„‰‡ М‡ıУ‰ЛОТfl ‚ Ф В‰В- О‡ı 0.85…1.15, ˜ЪУ ПУКМУ У·˙flТМЛЪ¸ УЪТЫЪТЪ‚ЛВП Ф УˆВТТ‡ ˝ОВНЪ УПЛ„ ‡ˆЛЛ ‡ЪУПУ‚ ПВЪ‡ОО‡ ‚ ТЛМЫТУЛ‰‡О¸МУП ˝ОВНЪ Л˜ВТНУП ФУОВ [37].

„‰Â B – ФУТЪУflММ‡fl, E‡ – ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ Ф У- ˆВТТ‡ ˝ОВНЪ УПЛ„ ‡ˆЛЛ, ‡‚М‡fl ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡- ˆЛЛ Т‡ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ ‡ЪУПУ‚ ПВЪ‡ОО‡ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ, ФУ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ ЛОЛ ‚‰УО¸ ‰ЛТОУН‡ˆЛИ.

àÁ ËÁÏ ÂÌËÈ ëèå ùå 1/f 2-¯ЫП‡ ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ ЪВПФВ ‡ЪЫ ПУКМУ УФ В‰ВОЛЪ¸ E‡ Òӄ·ÒÌÓ ‚˚ ‡- ÊÂÌ˲ (22).

н‡Н, ‚ fl‰В ‡·УЪ ФУН‡Б‡МУ, ˜ЪУ НУПФУМВМЪ‡ ще 1/f 2-¯ЫП‡ ‚ ФУОЛН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМН‡ı ПВЪ‡ООУ‚ ‚УБМЛН‡ВЪ ЛБ-Б‡ ‰ЛЩЩЫБЛУММУ„У ‰‚ЛКВМЛfl ‡ЪУПУ‚ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ [10, 11, 42]. иУ‰- Ъ‚В К‰ВМЛВП ˝ЪУПЫ ТОЫК‡Ъ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸М˚ВВБЫО¸Ъ‡Ъ˚, ТУ„О‡ТМУ НУЪУ ˚П ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡- ˆЛЛ E‡, УФ В‰ВОВММ‡fl ЛБ ЪВПФВ ‡ЪЫ М˚ı Б‡‚ЛТЛПУТЪВИ лие 1/f 2-¯ЫП‡, ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ‡ЪУПУ‚ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ. з‡Ф ЛПВ , зВ Л Т ТУ‡‚ЪУ ‡ПЛ [10] УФ В‰ВОЛО ˝МВ „Л˛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰Оfl ФОВМУН Д1 ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ ЪВПФВ ‡ЪЫ T = 327…396 K, НУЪУ ‡fl УН‡Б‡О‡Т¸‡‚МУИ 0.6 ˝З. з‡И‰ВММ‡fl ‚ [32] ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡- ˆЛЛ ‰Оfl ФОВМУН ТФО‡‚‡ Al/Si(0.75%)/Cu(0.5%) (h = = 0.8 ÏÍÏ, b = 1.8 ÏÍÏ) ̇ıӉ˷Ҹ ‚ Ô Â‰Â·ı Á̇- ˜ÂÌËÈ E‡ = 0.58…0.77 ˝Ç.

íÓÚ Ù‡ÍÚ, ˜ÚÓ ÔÓÎÛ˜ÂÌ̇fl ‚ ˝ÚËı ˝ÍÒÔ ËÏÂÌ- Ú‡ı ˝Ì „Ëfl ‡ÍÚË‚‡ˆËË ‰Îfl ëèå 1/f 2 ¯ЫП‡ ТУУЪ- ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ФУ „ ‡МЛ- ˆ‡П БВ ВМ, ФУ‰Ъ‚В К‰‡ВЪТfl ‰‡ММ˚ПЛ дУı‡ [43], „‰В ‰Оfl ФОВМУН Д1 Л В„У ТФО‡‚У‚ ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡- ˆЛЛ ще 1/f 2-¯ЫП‡ Ы‚ВОЛ˜Л‚‡О‡Т¸ У‰МУ‚ ВПВММУ Т Ы‚ВОЛ˜ВМЛВП ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ ФУ ПВ В ‰У·‡‚ОВМЛfl Ф ЛПВТВИ. й·˙flТМflВЪТfl ˝ЪУ ЪВП, ˜ЪУ Ф Л МВ ‚˚ТУНУИ НУМˆВМ- Ъ ‡ˆЛЛ Ф ЛПВТЛ ( 1% ‡Ъ.) Ф ЛПВТ¸ ‚ УТМУ‚МУП ТВ„-В„Л ЫВЪТfl М‡ „ ‡МЛˆ‡ı БВ ВМ, ˜ЪУ Ф Л‚У‰ЛЪ Н ‚УБ-‡ТЪ‡МЛ˛ ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ Т‡ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ ФУ

êËÒ. 7. ᇂЛТЛПУТЪЛ лие 1/f 2 ¯ЫП‡ ФОВМНЛ ТФО‡‚‡ Al/Si(1%) УЪ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ Ф Л ФУТЪУflММУП ЪУНВ I =

= 3.4 åÄ/ÒÏ2 ‰Îfl f0 = 50 ÏɈ (1) Ë 1 Ɉ (2) [11].

„ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ М‡ ‚ВОЛ˜ЛМЫ ˝МВ „ЛЛ Т‚flБЛ Ф ЛПВТ- М˚И ‡ЪУП–‚‡Н‡МТЛfl [16]. и Л ˝ЪУП Ф ЛПВТ¸ УН‡- Б˚‚‡ВЪ ТО‡·УВ ‚ОЛflМЛВ М‡ У·˙ВПМ˚В Т‚УИТЪ‚‡ Н ЛТЪ‡ООЛЪУ‚.

З ЪУ КВ ‚ ВПfl ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı Ф У‚У‰МЛН‡ı ТЫ·ПЛН УММ˚ı ‡БПВ У‚, У·О‡‰‡˛˘Лı ПУМУН ЛТ- Ъ‡ООЛ˜ВТНУИ ЛОЛ ·‡П·ЫНУ‚УИ ТЪ ЫНЪЫ УИ, Ф Л НУЪУ УИ Т В‰МЛИ ‡БПВ БВ ВМ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ Ф В‚УТıУ‰ЛЪ ¯Л ЛМЫ ФОВМНЛ Л, ТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ, УЪТЫЪТЪ- ‚ЫВЪ П‡ТТУФВ ВМУТ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ [1, 37], М‡·О˛‰‡ОЛТ¸ ·УО¸¯ЛВ БМ‡˜ВМЛfl ‰Оfl ˝МВ „ЛЛ ‡Н- ЪЛ‚‡ˆЛЛ E‡, УФ В‰ВОВММУИ ЛБ ЪВПФВ ‡ЪЫ МУИ Б‡‚Л- ТЛПУТЪЛ (22) лие ще 1/f 2-¯ЫП‡, ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т ˝МВ „ЛВИ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ФУ Йб, М‡И‰ВММУИ ‰Оfl ФУОЛН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН. н‡Н, ‚ ‡·УЪВ [44] ЛБ ЪВПФВ ‡ЪЫ М˚ı Б‡‚ЛТЛПУТЪВИ лие 1/f '2- ¯Ûχ ‰Îfl Al-ФОВМУН Т ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ЛОЛ ·‡П·ЫНУ‚УИ ТЪ ЫНЪЫ УИ ( ‡БПВ БВ ВМ d ≈ 3 ПНП), („ВУПВЪ Л˜ВТНЛВ ‡БПВ ˚ ФОВМУ˜М˚ı У· ‡БˆУ‚: h = 0.3…0.45 ÏÍÏ, b = 0.6…0.9 ÏÍÏ, l = 400 ÏÍÏ) ÔÓÎÛ˜ËÎË E‡ ≈ 0.8 ˝З. щЪ‡ ˝МВ „Лfl Ф ЛФЛТ˚‚‡ВЪТfl ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ‚‰УО¸ ‰ЛТОУН‡ˆЛИ. аБПВ ВММ‡fl ‚ [45, 46] ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ Т‡ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ ‚‰УО¸ ‰ЛТОУН‡ˆЛИ ‚ Al ТУТЪ‡‚ОflО‡ 0.85 ˝З, ˜ЪУ ‰ВИТЪ‚ЛЪВО¸МУ ·ОЛБНУ Н М‡И‰ВММУИ ‚ [44] ‚В- ОЛ˜ЛМВ. нЛФЛ˜МУВ БМ‡˜ВМЛВ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ Ф Л ЛБПВ ВМЛflı ‚ [44] ·˚ОУ ‚˚· ‡МУ j = 4 × 106 Ä/ÒÏ2.

ᇂЛТЛПУТЪЛ лие ще 1/f 2-¯ЫП‡ УЪ ЪУН‡ ·˚ОЛ Ф В‰ТЪ‡‚ОВМ˚ М‡ ЛТ. 5. д‡Н ЫКВ УЪПВ˜‡ОУТ¸, ФУ- ‰У·М‡fl Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ УЪ ЪУН‡ ПУКВЪ ‚УБМЛНМЫЪ¸ Ф Л М‡ОЛ˜ЛЛ НУ ВОflˆЛЛ ПВК‰Ы НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ‡ПЛ R0(t) Ë R1(t) ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (13), ıУЪfl ЩЛБЛ˜ВТНЛИ ПВı‡МЛБП ФУfl‚ОВМЛfl ˝ЪУИ НУ ВОflˆЛЛ УТЪ‡ВЪТfl ФУН‡ МВ ‚˚flТМВММ˚П.

ЗПВТЪВ Т ЪВП ‚ [4] ‰Оfl ФОВМУН ТФО‡‚‡ Al/Si/Ti (0.15%), Ëϲ˘Ëı ‡ÁÏ ˚: ‰ÎË̇ l = 1.2 ÏÍÏ, ¯Ë-Ë̇ b = 2.8 ÏÍÏ, ÚÓ΢Ë̇ h = 1 ПНП, М‡·О˛‰‡ОЛ Б‡‚ЛТЛПУТЪ¸ ‚Л‰‡ SV j4, 3 ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ ЪВПФВ ‡ЪЫ T = 300…500 K Ф Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j0 = (1…3) × × 106 Ä/ÒÏ2. ᇂЛТЛПУТЪЛ лие ¯ЫП‡ УЪ ЪВПФВ ‡- ЪЫ ˚ ‰Оfl ˝ЪЛı ФОВМУН ЛПВОЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛУММ˚И ı‡-‡НЪВ Т ˝МВ „ЛВИ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ E‡ = 0.59 ˝З Ф Л ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ j = 3 × 106 Ä/ÒÏ2. л В‰МВВ БМ‡˜В- МЛВ ФУН‡Б‡ЪВОfl γ = 2.3, НУЪУ УВ, Н‡Н УЪПВ˜‡ВЪТfl ‚ [4], ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ У· ‡БУ‚‡МЛ˛ ‚ ФОВМНВ МВУ· ‡- ЪЛП˚ı ФУ‚ ВК‰ВМЛИ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ ще-Ф УˆВТТ‡.

ä‡Í ‚ˉÌÓ ËÁ Ô Ë‚Â‰ÂÌÌ˚ı ÂÁÛθڇÚÓ‚, ˝ÎÂÍ- Ú ÓÏË„ ‡ˆËÓÌÌ˚È 1/f 2-¯ЫП ‚УБМЛН‡ВЪ ‚ТОВ‰ТЪ- ‚ЛВ ˝ОВНЪ УП‡ТТУФВ ВМУТ‡ ‡ЪУПУ‚ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ, ‚‰УО¸ ‰ЛТОУН‡ˆЛИ ЛОЛ ФУ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ Ф Л ‚˚ТУНУИ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ Л ФУ‚˚¯ВММ˚ı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı.

3. еЦнйСх щдлиЦкаеЦзнДгъзхп аллгЦСйЗДзав зЦкДЗзйЗЦлзйЙй 1/f-тмеД З икйЗйСьфап игЦздДп а дйзнДднДп

СОfl ‚˚‰ВОВМЛfl зот ЛБ ФУОМУИ ПУ˘МУТЪЛ 1/f- ¯ЫП‡ ПУКМУ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ‰‚‡ ЛБ‚ВТЪМ˚ı ПВЪУ‰‡ ЛБПВ ВМЛИ, ‚ УТМУ‚Ы НУЪУ ˚ı ФУОУКВМУ ‚УБ·ЫК- ‰ВМЛВ ЛТТОВ‰ЫВПУ„У Ф‡ТТЛ‚МУ„У ‰‚ЫıФУО˛ТМЛН‡ ТЛ„М‡О‡ПЛ ‡БОЛ˜МУИ ЩУ П˚ [24, 25, 29]. и Л‚В- ‰ВП Н ‡ЪНЛИ ‡М‡ОЛБ Л У·УТМУ‚‡МЛВ ˝ЪЛı ПВЪУ‰У‚ ЛБПВ ВМЛИ [9].

Оfl˛ЪТfl ˜В ВБ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ˚ fl‰‡ (13) ТОВ‰Ы˛- ˘ЛПЛ ТУУЪМУ¯ВМЛflПЛ [25]:

Д ‰Оfl М‡Ф flКВМЛfl УТМУ‚МУИ ˜‡ТЪУЪ˚ М‡ У· ‡БˆВ ТФ ‡‚В‰ОЛ‚У ‚˚ ‡КВМЛВ

U1 ( t) = R0 ( t) I1 + 0.75 R2 ( t) I31 R0 ( t) I1 . (27)

лО‡„‡ВПУВ Т НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУП R2 ‚ (27) ‰‡ВЪ МВБМ‡˜ЛЪВО¸М˚И ‚НО‡‰ ‚ ‡ПФОЛЪЫ‰Ы U1. í‡Í ̇Á˚‚‡- ÂÏ˚È 1/∆ f-¯ЫП У· ‡Бˆ‡, Н‡Н ТОЫ˜‡ИМ‡fl ПУ‰ЫОflˆЛfl ‡ПФОЛЪЫ‰˚ ТЛМЫТУЛ‰‡О¸МУ„У ЪВТЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡, ЛТТОВ‰У‚‡ММ˚И ‚ ‡·УЪ‡ı [47–50], ‚УБМЛН‡ВЪ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ОЛМВИМУИ ˜‡ТЪЛ ТУФ У- ЪЛ‚ОВМЛfl R0(t) Л Т‚flБ‡М Т ‡‚МУ‚ВТМ˚ПЛ ЩОЫНЪЫ‡- ˆЛflПЛ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ. З ЪУ КВ ‚ ВПfl ЩОЫНЪЫ‡ˆЛЛ НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУ‚ R1 Ë R2 (Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУ„У Л НЫ·Л˜В- ТНУ„У ˜ОВМУ‚ ЗДп) Ф Л‚У‰flЪ Н ПУ‰ЫОflˆЛЛ ¯ЫПУП МЫОВ‚УИ, ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН ТЛ„М‡О‡-УЪ- НОЛН‡ Л ‰‡˛Ъ зот. д‡Н ‚Л‰МУ ЛБ ‚˚ ‡КВМЛИ (24)–(26), МЫОВ‚‡fl Л ‚ЪУ ‡fl „‡ ПУМЛНЛ У·ЫТОУ‚ОВ- М˚ Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ МВОЛМВИМУТЪ¸˛ ЗДп. аı ‡ПФ-

ÎËÚÛ‰˚ Ô ÓÔÓ ˆËÓ̇θÌ˚ I21 . н ВЪ¸fl „‡ ПУМЛН‡ У·ЫТОУ‚ОВМ‡ НЫ·Л˜ВТНУИ МВОЛМВИМУТЪ¸˛ ЗДп Л Ф УФУ ˆЛУМ‡О¸М‡ I31 .

ЛОЛ МЫОВ‚УИ „‡ ПУМЛНЛ (ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛- ˘ВИ) U0(t) [25, 9].

лФВНЪ ‡ПФОЛЪЫ‰М˚ı ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ „‡ ПУМЛН ЛБПВ flВЪТfl ФУТОВ ‰ВЪВНЪЛ У‚‡МЛfl ТЛ„М‡ОУ‚ ‚ЪУ-УИ ЛОЛ Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН. б‡ПВЪЛП, ˜ЪУ ‰У ‰В- ЪВНЪЛ У‚‡МЛfl ТФВНЪ ТЛ„М‡О‡ ‰Оfl Н‡К‰УИ ЛБ „‡ - ПУМЛН fl‚ОflВЪТfl ‰ЛТН ВЪМ˚П Т ТЛППВЪ Л˜М˚П Ф¸В‰ВТЪ‡ОУП УНУОУ ТФВНЪ ‡О¸МУИ ОЛМЛЛ, У·ЫТОУ‚- ОВММ˚П ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflП ВВ ‡ПФОЛЪЫ‰˚ [52]. иУТОВ ‰ВЪВНЪЛ У‚‡МЛfl „‡ ПУМЛ˜ВТНУ„У ТЛ„М‡О‡, У·О‡‰‡- ˛˘В„У ‡ПФОЛЪЫ‰М˚ПЛ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛflПЛ (ТОЫ˜‡ИМУИ ‡ПФОЛЪЫ‰МУИ ПУ‰ЫОflˆЛВИ), ФУОЫ˜‡ВП ТФОУ¯МУИ ТФВНЪ 1/f γ -¯ЫП‡, ТУТ В‰УЪУ˜ВММ˚И УНУОУ МЫОВ- ‚УИ ˜‡ТЪУЪ˚ [52].

С‡‰ЛП Н ‡ЪНУВ УФЛТ‡МЛВ Ф Л·У ‡, Ф В‰М‡БМ‡- ˜ВММУ„У ‰Оfl ЛБПВ ВМЛfl ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛı ТФВНЪ У‚ ‡ПФОЛЪЫ‰М˚ı ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ТЛМЫТУЛ‰‡О¸МУ„У ЪВТЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡ (1/∆ f-¯ЫП), ‡ Ъ‡НКВ ‰Оfl ЛБПВ ВМЛfl ТФВНЪ У‚ ‡ПФОЛЪЫ‰М˚ı ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ „‡ ПУМЛН ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡. л ФУПУ˘¸˛ ˝ЪУ„У ЛБПВ ЛЪВО¸- МУ„У Ф Л·У ‡ ·˚О ЛТТОВ‰У‚‡М зот ‚ ФОВМН‡ı ПУОЛ·‰ВМ‡ [25, 9]. и Л·У ТУТЪУЛЪ ЛБ ¯ВТЪЛ ·ОУНУ‚.

1.ЙВМВ ‡ЪУ ТЛМЫТУЛ‰‡О¸М˚ı ТЛ„М‡ОУ‚ Т У˜ВМ¸ МЛБНЛП ТУ‰В К‡МЛВП „‡ ПУМЛН (<–150 ‰Е), Т НУЪУ У„У М‡Ф flКВМЛВ ФВ ‚УИ „‡ ПУМЛНЛ (УТМУ‚МУИ ˜‡ТЪУЪ˚) ФУ‰‡ВЪТfl М‡ ЛТТОВ‰ЫВП˚И ФОВМУ˜М˚И У·-‡БВˆ. СОfl ФУ‰‡‚ОВМЛfl ‚ ЪВТЪУ‚УП ТЛ„М‡ОВ ‚˚Т¯Лı „‡ ПУМЛН У·˚˜МУ ФУТОВ ТЪ‡М‰‡ ЪМУ„У „ВМВ ‡ЪУ ‡ ТЛМЫТУЛ‰‡О¸М˚ı ТЛ„М‡ОУ‚ ‚НО˛˜‡˛Ъ ЩЛО¸Ъ МЛКМЛı ˜‡ТЪУЪ, ФУТОВ НУЪУ У„У ТЛ„М‡О ФУТЪЫФ‡ВЪ М‡ ЛТТОВ‰ЫВП˚И У· ‡БВˆ. у‡ТЪУЪ‡ ЪВТЪУ‚У„У ТЛ„М‡О‡

‚[25] ‚˚· ‡Ì‡ ‡‚ÌÓÈ f1 = 10 ÍɈ.

2.лВОВНЪЛ‚М˚И ЫТЛОЛЪВО¸, Ф В‰М‡БМ‡˜ВММ˚И

‰Оfl ‚˚‰ВОВМЛfl ТЛ„М‡О‡ УТМУ‚МУИ ˜‡ТЪУЪ˚ f1 Ф Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ 1/∆ f-¯Ûχ [47–50].

3.З˚ТУНУ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸М˚В ТВОВНЪЛ‚М˚В ЫТЛОЛЪВОЛ Ф Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ зот, Ф В‰М‡БМ‡˜ВММ˚В ‰Оfl ‚˚‰ВОВМЛfl Л ЫТЛОВМЛfl ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ ‚ЪУ-

ÓÈ (2f1) Ë Ú ÂÚ¸ÂÈ (3f1) „‡ ПУМЛН (ЛОЛ ЫТЛОЛЪВОfl М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Ф Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ МЫОВ‚УИ „‡ ПУМЛНЛ), ‚УБМЛН‡˛˘Лı ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ФОВМУ˜- МУ„У У· ‡Бˆ‡. СОfl ФУ‰‡‚ОВМЛfl М‡Ф flКВМЛfl ФВ ‚УИ „‡ ПУМЛНЛ ‚ ТФВНЪ В ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ У· ‡Бˆ‡ ФВ-В‰ ТВОВНЪЛ‚М˚ПЛ ЫТЛОЛЪВОflПЛ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН ‚НО˛˜‡˛ЪТfl ЩЛО¸Ъ ˚ ‚В ıМЛı ˜‡ТЪУЪ.

4.ДПФОЛЪЫ‰М˚И ‰ВЪВНЪУ , НУЪУ ˚И ‰ВЪВНЪЛ-

ÛÂÚ Ò˄̇ΠÓÒÌÓ‚ÌÓÈ ˜‡ÒÚÓÚ˚ f1 Л ТЛ„М‡О˚-УЪ- НОЛНЛ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН, Ф УПУ‰ЫОЛ У- ‚‡ММ˚В ФУ ‡ПФОЛЪЫ‰В зот.

5.б‡ ‰ВЪВНЪУ УП ТОВ‰Ы˛Ъ ЩЛО¸Ъ ˚ МЛКМЛı ˜‡- ТЪУЪ (озу) Т ‚˚ТУНЛП ФУ‰‡‚ОВМЛВП ТЛ„М‡ОУ‚ ˜‡-

ÒÚÓÚ f1, 2f1 Ë 3f1, Ъ.В. Ф УФЫТН‡˛˘ЛВ ЪУО¸НУ МЛБНЛВ (ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т f1, 2f1 Ë 3f1) ˜‡ТЪУЪ˚. иУ˝ЪУПЫ УТˆЛООflˆЛУММ˚В ТЛ„М‡О˚ М‡ ‚˚ıУ‰В ЩЛО¸Ъ У‚ МЛКМЛı ˜‡ТЪУЪ ·Ы‰ЫЪ УЪТЫЪТЪ‚У‚‡Ъ¸.

6.З˚ТУНУ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸М˚И МЛБНУ˜‡ТЪУЪМ˚И ЫТЛОЛЪВО¸, ‚НО˛˜‡ВП˚И ФУТОВ озу. б‡ЪВП ЛТ-

êËÒ. 9. лЪ ЫНЪЫ М‡fl ТıВП‡ ТЪВМ‰‡ ‰Оfl ЛБПВ ВМЛfl М‡- Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë Л ТФВНЪ-

‡О¸МУИ ФОУЪМУТЪЛ ВВ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ [24]: R – ЛТТОВ‰ЫВ- П˚И У· ‡БВˆ, 1 – „ВМВ ‡ЪУ ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡, 2 – ЩЛО¸Ъ МЛКМЛı ˜‡ТЪУЪ, 3 – ‚ÓθÚÏÂÚ , 4 – ‡М‡ОЛБ‡ЪУ ТФВНЪ ‡.

ТОВ‰ЫВП˚И зот ФУ‰‡ВЪТfl М‡ ‡М‡ОЛБ‡ЪУ ТФВНЪ ‡ ЛОЛ У· ‡·‡Ъ˚‚‡ВЪТfl Т ФУПУ˘¸˛ щЗе.

иУ ВБЫО¸Ъ‡Ъ‡П ЛБПВ ВМЛИ ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ‡ПФОЛЪЫ‰ МЫОВ‚УИ, ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН SUn ( f ) (n = 0, 2, 3) ПУКМУ УФ В‰ВОЛЪ¸ ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ SRn ( f ) НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪУ‚ R1(t), R2(t) Ë R3(t) ‚ ‡ÁÎÓ-

КВМЛЛ (13) ‰Оfl ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl ФОВМНЛ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т ‚˚ ‡КВМЛflПЛ (24)–(26).

З. еВЪУ‰ ЛБПВ ВМЛИ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ М‡Ф flКВМЛfl ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡ У· ‡Бˆ‡ Ф Л ЛПФЫО¸ТМУП ЪВТЪУ‚УП ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ

С‡ММ˚И ПВЪУ‰ УТМУ‚‡М М‡ ‚УБ·ЫК‰ВМЛЛ ЛТТОВ- ‰ЫВПУ„У У· ‡Бˆ‡, ЛПВ˛˘В„У МВОЛМВИМЫ˛ ЗДп, ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУТЪ¸˛ Ф flПУЫ„УО¸М˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ Т ФУТЪУflММУИ ‡ПФОЛЪЫ‰УИ Л МЫОВ‚˚П Т В‰- МЛП БМ‡˜ВМЛВП ( ЛТ. 8). ЗТОВ‰ТЪ‚ЛВ ‰ВЪВНЪЛ У‚‡- МЛfl ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ М‡ У· ‡БˆВ Т МВОЛМВИМУИ ЗДп ‚УБМЛН‡ВЪ М‡Ф flКВМЛВ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚- Оfl˛˘ВИ (зил) Uèë.

лЪ ЫНЪЫ М‡fl ТıВП‡ Ф УТЪВИ¯В„У ЛБПВ ЛЪВО¸- МУ„У ЫТЪ УИТЪ‚‡, ФУБ‚УОfl˛˘В„У ЛБПВ ЛЪ¸ зил Л ТФВНЪ ‡О¸МЫ˛ ФОУЪМУТЪ¸ ВВ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ, Ф Л‚В- ‰ВМ‡ М‡ ЛТ. 9 [24]. з‡ ЛТТОВ‰ЫВП˚И У· ‡БВˆ R ФУ- ‰‡ВЪТfl ЪВТЪУ‚˚И ТЛ„М‡О ‚ ‚Л‰В ˆВМЪ Л У‚‡ММ˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ (‰‚ЫıФУОfl М˚ı ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡), НУЪУ ˚В ЩУ ПЛ Ы˛ЪТfl М‡ У· ‡БˆВ Ф Л ФУ‰‡˜В ЛПФЫО¸ТУ‚ Т „ВМВ ‡ЪУ ‡ (1) ˜В ВБ ‡Б‰ВОЛЪВО¸М˚И НУМ‰ВМТ‡ЪУ ВПНУТЪ¸˛ C ( ЛТ. 9). з‡Ф flКВМЛВ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë, ‚УБМЛН‡˛˘ВВ М‡ У·-‡БˆВ R Т МВОЛМВИМУИ ЗДп, ‚˚‰ВОflВЪТfl ЩЛО¸Ъ УП МЛКМЛı ˜‡ТЪУЪ (2) Ë ËÁÏ flÂÚÒfl ‚ÓθÚÏÂÚ ÓÏ (3),

‡ В„У ‡ПФОЛЪЫ‰М˚В ЩОЫНЪЫ‡ˆЛЛ ЛБПВ fl˛ЪТfl Т ФУПУ˘¸˛ ‡М‡ОЛБ‡ЪУ ‡ ТФВНЪ ‡ (4) ЛОЛ У· ‡·‡Ъ˚‚‡- ˛ЪТfl щЗе. н‡НЛП ТФУТУ·УП зот ПУКМУ ‚˚‰ВОЛЪ¸ ЛБ ФУОМУИ ПУ˘МУТЪЛ 1/f-¯Ûχ Ó· ‡Áˆ‡ R. йЪПВЪЛП, ˜ЪУ ‚ ТОЫ˜‡В МВ Б‡‚ЛТfl˘В„У УЪ ЪУН‡ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl R М‡Ф flКВМЛВ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚Оfl˛˘ВИ Uèë = 0.

СОfl У·УТМУ‚‡МЛfl ПВЪУ‰‡ ЛБПВ ВМЛfl Ф‡ ‡ПВЪ-У‚ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп Л зот Ф Л ЛПФЫО¸ТМУП ЪВТЪУ‚УП ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛЛ М‡ У· ‡БВˆ Ф Л‚В‰ВП МВНУЪУ ˚В ТУУЪМУ¯ВМЛfl ЛБ ‡·УЪ [24, 53].

уЪУ·˚ ЛБ·ВК‡Ъ¸ ФВ В„ В‚‡ У· ‡Бˆ‡ Б‡ Т˜ВЪ ‰КУЫОВ‚‡ ЪВФО‡ Ф Л ·УО¸¯Лı ЛПФЫО¸ТМ˚ı ЪУН‡ı, ТН‚‡КМУТЪ¸ ЛПФЫО¸ТМУ„У ТЛ„М‡О‡ Q ‚˚·Ë ‡ÂÚÒfl ËÁ ÛÒÎÓ‚Ëfl

„‰Â τ V1 – ‰ОЛЪВО¸МУТЪ¸ ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡, TËÏÔ – ФВ-ЛУ‰ ТОВ‰У‚‡МЛfl ЛПФЫО¸ТУ‚ (TËÏÔ = τ V1 + τ V2).

к‡ТТП‡Ъ Л‚‡ВЪТfl ·ВБ˚МВ ˆЛУММУВ Ф Л·ОЛКВМЛВ, Ф Л НУЪУ УП Ф В‰ФУО‡„‡ВЪТfl УЪТЫЪТЪ‚ЛВ Б‡- ‚ЛТЛПУТЪЛ зил Uèë УЪ ФВ ЛУ‰‡ ТОВ‰У‚‡МЛfl Л ‰ОЛЪВО¸МУТЪЛ ЛПФЫО¸ТУ‚ ЪУН‡ Т ‡ПФОЛЪЫ‰УИ IËÏÔ.

д‡Н ФУН‡Б˚‚‡˛Ъ ‡Т˜ВЪ˚ [24, 53], Ф Л ‚˚ФУОМВМЛЛ У„ ‡МЛ˜ВМЛИ (17) Л (29), Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (15) УН‡Б˚‚‡ВЪТfl Ф У- ФУ ˆЛУМ‡О¸М˚П М‡Ф flКВМЛ˛ ФУТЪУflММУИ ТУТЪ‡‚- Оfl˛˘ВИ Uèë (IËÏÔ, t), Ú‡Í ˜ÚÓ

N(I, t)I [Q3/(Q – 2)(Q – 1)]Uèë(IËÏÔ, t). (30)

и Л ТН‚‡КМУТЪЛ Q = 12, НУЪУ ‡fl ПУКВЪ ·˚Ъ¸ В- НУПВМ‰У‚‡М‡ ‰Оfl Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛı Ф ЛПВМВМЛИ, ЛБ ‚˚ ‡КВМЛfl (30) ‰Оfl МВОЛМВИМУИ ˜‡ТЪЛ ЗДп (15) ЛПВВП

и Л ˝ЪУП ли ПУ˘МУТЪЛ МВ ‡‚МУ‚ВТМУ„У 1/f-¯Ûχ SVN( f ) Т‚flБ‡М‡ Т ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ зил Sèë( f ) ТУУЪМУ¯ВМЛВП [24]:

з‡ УТМУ‚В ‚˚ ‡КВМЛИ (30), (32) ПУКМУ УФ В‰В- ОЛЪ¸ Ы У‚ВМ¸ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп N(I, t) Ë Ì ‡‚ÌÓ- ‚ÂÒÌÛ˛ ÒÓÒÚ‡‚Îfl˛˘Û˛ ëèå 1/f-¯Ûχ SVN( f ).

мН‡КВП УТМУ‚М˚В ‚Л‰˚ ТН ˚Ъ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ ЛОЛ М‡ Ы¯ВМЛИ ‚ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТУВ‰ЛМВМЛflı, ПВ- Ъ‡ООЛБ‡ˆЛЛ Л ‰ Ы„Лı Ф‡ТТЛ‚М˚ı НУПФУМВМЪ‡ı ЛМ-

Ú„ ‡Î¸Ì˚ı ÏËÍ ÓÒıÂÏ, ÍÓÚÓ ˚Â Ô Ë‚Ó‰flÚ Í Û‚Â- ΢ÂÌ˲ çèë Uèë:

1)‡БОЛ˜М˚В ‚Л‰˚ МВУ‰МУ У‰МУТЪВИ ‚ У·О‡ТЪЛ НУМЪ‡НЪ‡, ВБЛТЪЛ‚МУИ ФОВМНЛ ЛОЛ ПВЪ‡ООЛБ‡ˆЛЛ;

2)ЪУМНЛВ ‰Л˝ОВНЪ Л˜ВТНЛВ ТОУЛ ‚ У·О‡ТЪЛ НУМ- Ъ‡НЪ‡ ЛОЛ М‡ „ ‡МЛˆ‡ı Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛı БВ ВМ ПВ- Ъ‡ООЛБ‡ˆЛЛ, Ф Л‚У‰fl˘ЛВ Н ·‡ ¸В М˚П ПВı‡МЛБ- П‡П Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ;

3)ФУ ˚ Л ОУН‡О¸М˚В ПВı‡МЛ˜ВТНЛВ М‡Ф flКВМЛfl ‚ ПВКТУВ‰ЛМВМЛflı Л ‚ У·О‡ТЪЛ НУМЪ‡НЪ‡.

и УˆВТТ˚, ‚˚Б˚‚‡˛˘ЛВ МВТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ НУМ- Ъ‡НЪМУ„У ТУВ‰ЛМВМЛfl ЛОЛ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ ‚У ‚ ВПВМЛ (НУ УБЛfl, ıЛПЛ˜ВТНЛВ В‡НˆЛЛ ‚ Ъ‚В - ‰УИ Щ‡БВ, ‚˚ТУНЛИ Ы У‚ВМ¸ ВО‡НТЛ Ы˛˘Лı ТУ ‚ В- ПВМВП ТЪ ЫНЪЫ М˚ı Л ЩЛБЛНУ-ıЛПЛ˜ВТНЛı ПВı‡МЛ- ˜ВТНЛı М‡Ф flКВМЛИ [1, 28]), ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ‚˚fl‚ОВМ˚ ФЫЪВП ЛБПВ ВМЛИ ли ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ зил Uèë.

4.зЦкДбкмтДыфав дйзнкйгъ дДуЦлнЗД азнЦЙкДгъзхп

еадкйлпЦе ий нЦлнйЗхе лнкмднмкДе

èÓ ËÁÏ ÂÌËflÏ Û Ó‚Ìfl 1/f-¯ЫП‡ Л Ф‡ ‡ПВЪ У‚ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп ЪВТЪУ‚˚ı ˝ОВПВМЪУ‚ аел ПУКМУ Ф В‰ТН‡Б˚‚‡Ъ¸ Н‡˜ВТЪ‚У Лı Ф‡ТТЛ‚М˚ı НУПФУМВМЪУ‚: ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚, ‡БОЛ˜- М˚ı ЪЛФУ‚ НУМЪ‡НЪУ‚, ФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ У‚, еСи-ТЪ ЫНЪЫ , ‡ Ъ‡НКВ М‡‰ВКМУТЪ¸ аел ‚ ˆВОУП. С‡ММ˚В ПВЪУ‰˚ Ф ЛПВМЛП˚ ‰Оfl МВ ‡Б Ы¯‡- ˛˘В„У НУМЪ УОfl Н‡˜ВТЪ‚‡ ‡БОЛ˜М˚ı ‚Л‰У‚ ТУ- ‚ ВПВММ˚ı аел: ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı ТıВП, „Л· Л‰М˚ı ЛМЪВ„ ‡О¸М˚ı ТıВП (Йал) ‰Оfl лЗу-‰Л‡Ф‡БУМ‡, аел Т Ф ‚ МЫЪ˚П Н ЛТ- Ъ‡ООУП (flip chip IC) Ë ‰ .

д‡Н ФУН‡Б˚‚‡ВЪ ‡М‡ОЛБ, ‚У ПМУ„Лı ТОЫ˜‡flı зот fl‚ОflВЪТfl М‡Л·УОВВ ЛМЩУ П‡ЪЛ‚М˚П ЛМ‰Л- Н‡ЪУ УП Н‡˜ВТЪ‚‡ ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т кот. аПВММУ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚В (МВОЛМВИМ˚В) ЩОЫНЪЫ‡ˆЛЛ МВТЫЪ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ У ‡БОЛ˜М˚ı ‚Л‰‡ı М‡ Ы¯ВМЛИ ‚ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ Ъ‚В ‰˚ı ЪВО Л У·О‡‰‡- ˛Ъ ‚˚ТУНУИ ˜Ы‚ТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪ¸˛ Н ТН ˚Ъ˚П ‰В- ЩВНЪ‡П.

ЗПВТЪВ Т ЪВП ФУ Ы У‚М˛ кот, У·ЫТОУ‚ОВММУ„У Ф УˆВТТУП УК‰ВМЛfl-„Л·ВОЛ ‚‡Н‡МТЛИ ‚ ПВЪ‡ОО‡ı, ЛМУ„‰‡ Ы‰‡ВЪТfl УˆВМЛ‚‡Ъ¸ МВ ЪУО¸НУ ще ТЪУИНУТЪ¸ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚ (ТП. ‡Б‰. 1,Е), МУ Ъ‡НКВ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ НУМЪ‡НЪМ˚ı ТЛТЪВП Л ФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ У‚. й‰М‡НУ МВ ‚ТВ„‰‡ Ы‰‡ВЪТfl УТЫ˘ВТЪ‚ЛЪ¸ НУМЪ УО¸ Н‡˜ВТЪ‚‡ Ф‡ТТЛ‚М˚ı НУПФУМВМЪУ‚ аел Л УˆВМЛЪ¸ Лı М‡‰ВКМУТЪ¸ ФУ Ы У‚- М˛ кот.

З ‡·УЪ‡ı лЛНЫО˚ Т ТУ‡‚ЪУ ‡ПЛ [54, 55], ФУТ‚fl- ˘ВММ˚ı ‚УФ УТ‡П ‰Л‡„МУТЪЛНЛ ‡БОЛ˜М˚ı ˝ОВН- Ъ УММ˚ı Ф Л·У У‚ ФУ МЛБНУ˜‡ТЪУЪМУПЫ ¯ЫПЫ, ‚ ˜‡ТЪМУТЪЛ, ‚УФ УТЫ УˆВМНЛ Н‡˜ВТЪ‚‡ Л Ф В‰ТН‡Б‡- МЛfl М‡‰ВКМУТЪЛ ЪУОТЪ˚ı Ф У‚У‰fl˘Лı ФОВМУН М‡ УТМУ‚В Ag/Pd Ë Ag-Ô‡ÒÚ ÔÓ Û Ó‚Ì˛ 1/f-¯Ûχ [54],

УЪПВ˜‡ВЪТfl, ˜ЪУ ТЫ˘ВТЪ‚ЫВЪ ЩЫМ‰‡ПВМЪ‡О¸М‡fl НУПФУМВМЪ‡ от ТУ ТЪ У„У 1/f-ТФВНЪ УП, ‰Оfl НУЪУ-

ÓÈ ëèå S I20 , Л ЛБ·˚ЪУ˜М‡fl НУПФУМВМЪ‡ ¯ЫП‡

Ò 1/f γ -ТФВНЪ УП, „ВМВ Л ЫВП‡fl ‰ВЩВНЪ‡ПЛ. СОfl У·-‡БˆУ‚ Т ЛБ·˚ЪУ˜МУИ НУПФУМВМЪУИ ¯ЫП‡ ФУН‡Б‡- ЪВО¸ γ ≈ 1.4. щЪ‡ ЛБ·˚ЪУ˜М‡fl НУПФУМВМЪ‡ ЛТФУО¸- БЫВЪТfl ‰Оfl У·М‡ ЫКВМЛfl ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ Ф У‚У‰fl˘Лı ФОВМН‡ı, У‰М‡НУ [54] МЛ˜В„У МВ „У‚У ЛЪТfl У Ф Л-У‰В ЛБ·˚ЪУ˜МУИ НУПФУМВМЪ˚ ¯ЫП‡, ФУ‰ НУЪУ УИ ПУКМУ ФУ‰ ‡БЫПВ‚‡Ъ¸ Л зот.

и Л УˆВМНВ Н‡˜ВТЪ‚‡ ‡БОЛ˜М˚ı ЪЛФУ‚ ˝ОВН- Ъ УММ˚ı Ф Л·У У‚ Л Ф‡ТТЛ‚М˚ı ˝ОВПВМЪУ‚ аел ПУКМУ УТЫ˘ВТЪ‚ОflЪ¸ НУМЪ УО¸ Н‡˜ВТЪ‚‡ У‰МУ‚ В- ПВММУ ФУ Ф‡ ‡ПВЪ ‡П МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп (ФУ ‚ЪУ-УИ Л Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛН‡П ТЛ„М‡О‡-УЪНОЛН‡) Л ФУ Ы У‚М˛ 1/f-¯ЫП‡. ЗУУ·˘В ЛПВВЪТfl ‚УБПУКМУТЪ¸ Ф У‚У‰ЛЪ¸ ‰Л‡„МУТЪЛНЫ ˝ОВНЪ УММ˚ı Ф Л·У У‚ Н‡Н ФУ Ф‡ ‡ПВЪ ‡П Н‚‡‰ ‡ЪЛ˜МУИ, НЫ·Л˜ВТНУИ Л ·УОВВ ‚˚ТУНЛП ТЪВФВМflП МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп, Ъ‡Н Л ФУ ЩОЛННВ -¯ЫПЫ, Л Ф ВК‰В ‚ТВ„У ФУ зот. щЪЛ Ф‡-‡ПВЪ ˚ МВТЫЪ ЛМЩУ П‡ˆЛ˛ ФУ ‡БОЛ˜М˚П ‚Л‰‡П ТН ˚Ъ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ ‚ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ Ъ‚В ‰˚ı ЪВО.

LJ·ÓÚ [56] ÔÓ Û Ó‚Ì˛ 1/f-ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ Ф У- ‚У‰ЛПУТЪЛ Л ‡ПФОЛЪЫ‰В Ъ ВЪ¸ВИ „‡ ПУМЛНЛ ТЛ„М‡- О‡-УЪНОЛН‡ УˆВМЛ‚‡ОЛ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪ¸ ЪУОТЪУФОВМУ˜М˚ı ВБЛТЪУ У‚. Д ‚ ‡·УЪВ [57] ЫТЪ‡МУ‚ОВМ‡ ‚Б‡ЛПУТ‚flБ¸ ПВК‰Ы ‡ПФОЛЪЫ‰‡ПЛ ‚ЪУ УИ Л Ъ ВЪ¸- ВИ „‡ ПУМЛН Ф Л ТЛМЫТУЛ‰‡О¸МУП ЪВТЪУ‚УП ‚УБ- ·ЫК‰ВМЛЛ У· ‡Бˆ‡ Л Ы У‚МВП ЛБ·˚ЪУ˜МУ„У ¯ЫП‡ ‚ ФОВМН‡ı ТФО‡‚‡ Al–Cu(4%) ЪУО˘ЛМУИ 1 ПНП, ФУ‰- ‚В „МЫЪ˚ı ще-ФУ‚ ВК‰ВМЛflП Ф Л ‚˚ТУНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ М˚ı Л ЪУНУ‚˚ı М‡„ ЫБН‡ı.

lj‡ММУП ‡Б‰ВОВ Ф Л‚У‰flЪТfl ˝НТФВ ЛПВМЪ‡О¸- М˚В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ФУ ПВЪУ‰‡П МВ ‡Б Ы¯‡˛˘В„У НУМЪ УОfl Н‡˜ВТЪ‚‡ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН, ‡Б- ОЛ˜М˚ı ЪЛФУ‚ НУМЪ‡НЪУ‚ ФЫЪВП ЛБПВ ВМЛИ Ы У‚Мfl кот Л зот Л Ф‡ ‡ПВЪ У‚ МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп.

Д. и У„МУБЛ У‚‡МЛВ ˝ОВНЪ УПЛ„ ‡ˆЛУММУИ ТЪУИНУТЪЛ ЪУМНУФОВМУ˜МУИ ПВЪ‡ООЛБ‡ˆЛЛ

‚àåë ÔÓ 1/f-¯ÛÏÛ

LJ·УЪВ [58] ·˚О Ф В‰ОУКВМ ПВЪУ‰ Ф У„МУБЛ-У‚‡МЛfl ЫТЪУИ˜Л‚УТЪЛ ЪУМНЛı Al ФОВМУН Н ще-ФУ- ‚ ВК‰ВМЛflП ФУ Ы У‚М˛ ‡‚МУ‚ВТМУ„У 1/f-¯ЫП‡, ЛПВ˛˘В„У ‚‡Н‡МТЛУММ˚И ПВı‡МЛБП ‚УБМЛНМУ‚В- МЛfl. еВЪУ‰ УТМУ‚˚‚‡ОТfl М‡ ВБЫО¸Ъ‡Ъ‡ı ˝НТФВ Л- ПВМЪ‡, ТУ„О‡ТМУ НУЪУ ˚П Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ ·˚О ‚˚¯В ‚ ФОВМН‡ı Al c ·УОВВ ПВОНЛПЛ БВ М‡ПЛ [40, 18]. з‡ ЛТ. 10 Ф Л‚В‰ВМ˚ ‰‡ММ˚В ФУ ‚ОЛflМЛ˛ ‰ЛТФВ ТМУТЪЛ ТЪ ЫНЪЫ ˚ М‡ Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ ФОВМУН Al [6]. è Ë ÛÏÂ̸¯ÂÌËË Ò Â‰ÌÂ„Ó ‡ÁÏ ‡ Á ̇ Ô ËÏ ÌÓ ‚ ‰‚‡ ‡Á‡ ̇·Î˛‰‡ÂÚÒfl ÓÒÚ Û Ó‚Ìfl 1/f-¯ЫП‡ М‡ Ъ Л ФУ fl‰Н‡ ‚ВОЛ˜ЛМ˚, Ф Л- ˜ВП ТУФУТЪ‡‚ОВМЛВ Н Л‚˚ı ‡ТФ В‰ВОВМЛИ БВ ВМ ФУ ‡БПВ ‡П ФУН‡Б‡ОУ, ˜ЪУ ФУ‚˚¯ВМЛВ Ы У‚Мfl ¯ЫП‡ Т‚flБ‡МУ Т Ы‚ВОЛ˜ВМЛВП ‰УОЛ ПВОНЛı БВ ВМ (Т

α

103

1

2

3

êËÒ. 10. ᇂЛТЛПУТЪ¸ Ы У‚Мfl 1/f-¯ЫП‡ УЪ Т В‰МВ„У ‡Б- ПВ ‡ БВ ВМ ‚ ФОВМН‡ı Д1 [6] Ф Л ‡БОЛ˜М˚ı ТНУ УТЪflı НУМ‰ВМТ‡ˆЛЛ 1–4) Ë Ô Ë ‡Á΢Ì˚ı ‰‡‚ÎÂÌËflı ‡ „Ó̇ ‚ ͇Ï  (5–8); УЪ ВБН‡ПЛ ТУВ‰ЛМВМ˚ БМ‡˜ВМЛfl Ф‡ ‡- ПВЪ ‡ α ‰Оfl ‡БОЛ˜М˚ı У· ‡БˆУ‚ ЛБ У‰МУИ Ф‡ ЪЛЛ. тЪ ЛıУ‚УИ ОЛМЛВИ ФУН‡Б‡МУ БМ‡˜ВМЛВ ФУТЪУflММУИ пУЫ„В α H = 2 × 10–3.

‡ÁÏ ÓÏ Á ÂÌ dÒ ≤ 50 МП). з‡ fl‰Ы Т ˝ЪЛП ·˚ОУ ЛБ‚ВТЪМУ [37], ˜ЪУ ПВ‰Л‡ММУВ ‚ ВПfl УЪН‡Б‡ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ ˝ОВНЪ УПЛ„-‡ˆЛЛ ‰Оfl ПВОНУБВ МЛТЪ˚ı ФОВМУН Al ПВМ¸¯В ФУ Т ‡‚МВМЛ˛ Т Н ЫФМУБВ МЛТЪ˚ПЛ. щЪЛ ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ‰‡˛Ъ ‚ТВ УТМУ‚‡МЛfl Ф ЛПВМЛЪ¸ ПВЪУ‰ ЛБПВ ВМЛfl лие ‡‚МУ‚ВТМУ„У ‚‡Н‡МТЛУММУ„У 1/f-¯ЫП‡ ‰Оfl УˆВМНЛ ще-ТЪУИНУТЪЛ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН.

СОfl лие кот ЛПВВЪ ПВТЪУ ‡НЪЛ‚‡ˆЛУММ‡fl Б‡- ‚ЛТЛПУТЪ¸ УЪ ЪВПФВ ‡ЪЫ ˚ Т ˝МВ „ЛВИ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ,‡‚МУИ ˝МВ „ЛЛ У· ‡БУ‚‡МЛfl ‚‡Н‡МТЛЛ E‚‡Í, НУЪУ-‡fl ПУКВЪ ·˚Ъ¸ М‡И‰ВМ‡ ЛБ ЪВПФВ ‡ЪЫ МУИ Б‡‚Л- ТЛПУТЪЛ лие 1/f-¯Ûχ ‚ ÒÓÓÚ‚ÂÚÒÚ‚ËË Ò (9·). é‰- ̇ÍÓ Ï‰ˇÌÌÓ ‚ ÂÏfl ÓÚ͇Á‡ t50 Ф Л ЛТФ˚Ъ‡МЛflı ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚ М‡ ще-ТЪУИНУТЪ¸ УˆВМЛ‚‡ВЪТfl ТОВ‰Ы˛˘ЛП ТУУЪМУ¯ВМЛВП [37]:

„‰В НУ˝ЩЩЛˆЛВМЪ Ф УФУ ˆЛУМ‡О¸МУТЪЛ A1 fl‚ОflВЪТfl ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНУИ Ф У‚У‰МЛН‡ Л Б‡‚ЛТЛЪ УЪ П‡- ЪВ Л‡О‡ ФОВМНЛ, ВВ ТЪ ЫНЪЫ ˚ Л „ВУПВЪ ЛЛ.

иУН‡Б‡ЪВО¸ ТЪВФВМЛ n ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (33) ‡‚ВМ 1 Ф Л П‡О˚ı ФОУЪМУТЪflı ЪУН‡ ( j ≤ 105 Ä/ÒÏ2) Л ‚УБ-‡ТЪ‡ВЪ Ф Л Ы‚ВОЛ˜ВМЛЛ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡, Ф ЛМЛ- П‡fl У·˚˜МУ БМ‡˜ВМЛfl ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ УЪ 1 ‰У 5 [38].

д‡Н ЛБ‚ВТЪМУ [16, 17], ‚ ПВЪ‡ОО‡ı УТМУ‚МЫ˛УО¸ Л„ ‡ВЪ ‚‡Н‡МТЛУММ˚И ПВı‡МЛБП ‰ЛЩЩЫБЛЛ. и Л ˝ЪУП ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ Т‡ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ E‡ ‚ ‚˚ ‡КВМЛЛ (33) ‡‚М‡ ТЫППВ ˝МВ „ЛИ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ У· ‡БУ‚‡МЛfl ‚‡Н‡МТЛЛ E‚‡Í Ë ÏË„ ‡ˆËË ‚‡Í‡ÌÒËË EÏ, Ú.Â. E‡ = E‚‡Í + EÏ. л ЫПВМ¸¯ВМЛВП E‚‡Í ·Û‰ÂÚ

ÛÏÂ̸¯‡Ú¸Òfl Ë E‡. й‰МУ‚ ВПВММУ ·Ы‰ВЪ Ы‚ВОЛ˜Л- ‚‡Ъ¸Тfl Л Ы У‚ВМ¸ 1/f-¯ЫП‡ ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т (9·) Л (10). З ПВОНУБВ МЛТЪ˚ı ФОВМН‡ı E‚‡Í ПВМ¸¯В, ˜ВП ‚ Н ЫФМУБВ МЛТЪ˚ı, ‡ ˝ЪУ УБМ‡˜‡ВЪ, ˜ЪУ ‰Оfl ФВ - ‚˚ı ˝МВ „Лfl ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ Т‡ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ E‡ ·Ы‰ВЪ ПВМ¸¯В. аПВММУ ˝ЪУЪ Щ‡НЪ Л ФУБ‚УОflВЪ УˆВМЛ‚‡Ъ¸ ще-ТЪУИНУТЪ¸ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚ ФУ Ы У‚М˛ ‡‚МУ‚ВТМУ„У ‚‡Н‡МТЛУММУ„У 1/f-¯Ûχ.

é‰Ì‡ÍÓ ËÁ ËÁÏ ÂÌËÈ êîò Ì ۉ‡ÂÚÒfl ÓÔ Â‰Â- ÎËÚ¸ E‡, ‚ıУ‰fl˘Ы˛ ‚ ‚˚ ‡КВМЛВ (33), ‰Оfl ПВ‰Л‡ММУ- „У ‚ ВПВМЛ УЪН‡Б‡ t50. д УПВ ЪУ„У, Ф У„МУБЛ У‚‡Ъ¸ ще-ТЪУИНУТЪ¸ ‚˚ТУНУН‡˜ВТЪ‚ВМ-М˚ı ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН Т МЛБНУИ НУМˆВМЪ ‡ˆЛВИ ФУ‰‚ЛКМ˚ı ‰ВЩВНЪУ‚ ФУ ВБЫО¸Ъ‡Ъ‡П ЛБПВ ВМЛfl кот МВ Ы‰‡- ВЪТfl. З Ъ‡НЛı ФОВМН‡ı Ф Л Т ‡‚МЛЪВО¸МУ П‡ОУИ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡ М‡·О˛‰‡ВЪТfl ‡‚МУ‚ВТМ˚И 1/f- ¯ЫП, ‚УБМЛН‡˛˘ЛИ ‚ТОВ‰ТЪ‚ЛВ ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ ФУ- ‰‚ЛКМУТЪЛ МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰‡ Ф Л ‡ТТВflМЛЛ ˝ОВН- Ъ УМУ‚ М‡ ‡НЫТЪЛ˜ВТНЛı ЩУМУМ‡ı, Ы У‚ВМ¸ НУЪУ-У„У УФ В‰ВОflВЪТfl ЩУ ПЫОУИ пУЫ„В (1).

д М‡ТЪУfl˘ВПЫ ‚ ВПВМЛ УФЫ·ОЛНУ‚‡МУ ‰УТЪ‡ЪУ˜- МУ ПМУ„У ‡·УЪ, ‚ НУЪУ ˚ı ‚˚fl‚ОВМ‡ Т‚flБ¸ ПВК‰Ы ще-ТЪУИНУТЪ¸˛ ЪУМНЛı ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı ФОВМУН Л Ы У‚МВП МВ ‡‚МУ‚ВТМУ„У 1/f 2-¯ЫП‡ [10, 11, 30–36, 39, 57]. з‡·О˛‰‡ВП‡fl Т‚flБ¸ ПВК‰Ы ПВ‰Л‡ММ˚П ‚ ВПВМВП УЪН‡Б‡ Л Ы У‚МВП ˝ОВНЪ УПЛ„ ‡ˆЛУММУ- „У 1/f 2-¯Ûχ Ó·ÛÒÎÓ‚ÎÂ̇ ÚÂÏ, ˜ÚÓ Û Ó‚Â̸ 1/f 2- ¯ЫП‡ ‚˚¯В ‚ У· ‡Бˆ‡ı Т ·УОВВ ‚˚ТУНУИ ФОУЪМУТ- Ъ¸˛ ‰ВЩВНЪУ‚, НУЪУ ˚В ‰ВИТЪ‚Ы˛Ъ Н‡Н ЛТЪУ˜МЛ- НЛ-ТЪУНЛ ‚‡Н‡МТЛИ [16] Л, ТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ, ‚ОЛfl˛Ъ М‡ ще-ТЪУИНУТЪ¸ ФОВМУН [37]. н. уВМ Т ТУ‡‚ЪУ ‡- ПЛ [59] Ф flП˚ПЛ ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ПЛ ФУ‰Ъ‚В ‰ЛО, ˜ЪУ ФОВМНЛ Al Т ФУ‚˚¯ВММ˚П ЛБ·˚ЪУ˜М˚П ¯Ы- ПУП ЛПВ˛Ъ ПВМ¸¯ВВ ПВ‰Л‡ММУВ ‚ ВПfl УЪН‡Б‡. б‡- ЪВП зВ Л Т ТУ‡‚ЪУ ‡ПЛ [10] ЛБ ЪВПФВ ‡ЪЫ М˚ı Б‡- ‚ЛТЛПУТЪВИ лие МВ ‡‚МУ‚ВТМУ„У ще 1/f 2-¯ЫП‡ УФ В‰ВОЛО ˝МВ „Л˛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ ‰Оfl ФОВМУН Al, НУЪУ ‡fl ЛПВВЪ ‚ВОЛ˜ЛМЫ ~0.67 ˝З, ˜ЪУ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЫВЪ ˝МВ „ЛЛ ‡НЪЛ‚‡ˆЛЛ Т‡ПУ‰ЛЩЩЫБЛЛ ‚‡Н‡МТЛИ ФУ „ ‡МЛˆ‡П БВ ВМ, Л М‡ıУ‰ЛЪТfl ‚ ‰Л‡Ф‡БУМВ БМ‡˜В- МЛИ, М‡И‰ВММ˚ı ‰ Ы„ЛПЛ ПВЪУ‰‡ПЛ.

óÚÓ·˚ ëèå Ì ‡‚ÌÓ‚ÂÒÌÓ„Ó 1/f 2-¯ЫП‡ Ф В‚˚- ¯‡О‡ У·˘ЛИ Ы У‚ВМ¸ ЩОЛННВ -¯ЫП‡ ФОВМУ˜МУ„У У· ‡Бˆ‡ Ф Л Б‡‰‡МЛЛ ФУТЪУflММУ„У ЪУН‡, ЛБПВ ВМЛfl ‚ ФУ‰У·М˚ı ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ı Ф У‚У‰flЪ Ф Л ‚˚ТУНЛı ЪУНУ‚˚ı Л ЪВПФВ ‡ЪЫ М˚ı М‡„ ЫБН‡ı [10, 11]. и Л ЛБПВ ВМЛflı М‡ ФУТЪУflММУП ЪУНВ лие МВ ‡‚- МУ‚ВТМУ„У 1/f 2-¯Ûχ Ó·˚˜ÌÓ Ô Â‚˚¯‡ÂÚ ëè凂ÌÓ‚ÂÒÌÓ„Ó 1/f-¯ЫП‡ (‰Оfl НУЪУ У„У ФУН‡Б‡ЪВО¸ γ ≈ 1) ЪУО¸НУ М‡ У˜ВМ¸ МЛБНЛı ˜‡ТЪУЪ‡ı (ФУ fl‰Н‡ УЪ МВТНУО¸НЛı ПЛООЛ„В ˆ ‰У 1 Йˆ).

Ç Ò‚flÁË Ò ˝ÚËÏ Ô Ë ËÁÛ˜ÂÌËË ùå 1/f 2 ¯ЫП‡ ПУКМУ ВНУПВМ‰У‚‡Ъ¸ ПВЪУ‰˚, УФЛТ‡ММ˚В ‚ ‡Б‰. 3, НУЪУ ˚В ФУБ‚УОfl˛Ъ ‚˚‰ВОЛЪ¸ МВ ‡‚МУ‚ВТМ˚И 1/f 2- ¯ЫП ЛБ ФУОМУИ ПУ˘МУТЪЛ ¯ЫП‡. и Л ЛТФУО¸БУ‚‡- МЛЛ ПВЪУ‰‡, УТМУ‚‡ММУ„У М‡ ЛБПВ ВМЛЛ ТФВНЪ У‚ ‡ПФОЛЪЫ‰М˚ı ЩОЫНЪЫ‡ˆЛИ „‡ ПУМЛН ТЛ„М‡О‡-УЪ- НОЛН‡, М‡ fl‰Ы Т ТЛМЫТУЛ‰‡О¸М˚П ‚УБ‰ВИТЪ‚ЛВП М‡

У· ‡БВˆ ЛМУ„‰‡ Б‡‰‡˛Ъ Л ФУТЪУflММ˚И ЪУН ‚˚ТУНУИ ФОУЪМУТЪЛ [57]. З ЫТОУ‚Лflı Ф УЛБ‚У‰ТЪ‚‡ ТУ- ‚ ВПВММ˚ı ˝ОВНЪ УММ˚ı Ф Л·У У‚ Л аел Ф В‰ФУ- ˜ЪВМЛВ ТОВ‰ЫВЪ УЪ‰‡Ъ¸ ПВЪУ‰Ы ЛПФЫО¸ТМУ„У ЪВТЪУ- ‚У„У ‚УБ‰ВИТЪ‚Лfl М‡ У· ‡БВˆ [24, 26], Н‡Н ПВЪУ‰Ы М‡Л·УОВВ Ф УТЪУПЫ ‚ ‡ФФ‡ ‡ЪЫ МУИ В‡ОЛБ‡ˆЛЛ.

З О˛·УП ТОЫ˜‡В ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ЛБПВ ВМЛИ ли凂МУ‚ВТМУ„У ‚‡Н‡МТЛУММУ„У 1/f-¯Ûχ ËÎË Ì ‡‚- ÌÓ‚ÂÒÌÓ„Ó ùå 1/f 2-¯ЫП‡ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ ЛТФУО¸БУ‚‡- М˚ ‰Оfl У·М‡ ЫКВМЛfl ще ФУ‚ ВК‰ВМЛИ ‚ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛı Ф У‚У‰МЛН‡ı, ФУ‰‚В „- МЫЪ˚ı ‚˚ТУНУИ ФОУЪМУТЪЛ ЪУН‡, М‡ Т‡П˚ı ‡ММЛı ТЪ‡‰Лflı, НУ„‰‡ ‰ Ы„ЛПЛ ПВЪУ‰‡ПЛ ˝ЪЛ ФУ‚ ВК‰В- МЛfl МВ ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ У·М‡ ЫКВМ˚. д УПВ ЪУ„У, ФУ Ы У‚М˛ 1/f-¯ЫП‡ ПУКМУ УФВ ‡ЪЛ‚МУ УˆВМЛ‚‡Ъ¸ ще-ТЪУИНУТЪ¸ ЪУМНУФОВМУ˜М˚ı Ф У‚У‰МЛНУ‚, МВ Ф Л·В„‡fl Н ‰ОЛЪВО¸М˚П Л ‰У У„УТЪУfl˘ЛП ЪВ ПУ- ˝ОВНЪ Л˜ВТНЛП ЛТФ˚Ъ‡МЛflП.

Е. и У„МУБЛ У‚‡МЛВ ‰УО„У‚ ВПВММУИ ТЪ‡·ЛО¸МУТЪЛ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚ ПВЪ‡ОО– ФУОЫФ У‚У‰МЛН ФУ 1/f-¯ЫПЫ Л МВОЛМВИМУТЪЛ ЗДп

аТТОВ‰У‚‡МЛВ Ф У‚У‰ЛОЛ М‡ ЪВТЪУ‚˚ı ЛМЪВ„-‡О¸М˚ı ТıВП‡ı (нал), Н‡К‰‡fl ЛБ НУЪУ ˚ı ТУ‰В - К‡О‡ ˆВФУ˜НЫ ЛБ 196 ФУТОВ‰У‚‡ЪВО¸МУ ТУВ‰ЛМВМ- М˚ı НУМЪ‡НЪУ‚ ПВЪ‡ОО–ФУОЫФ У‚У‰МЛН ЛОЛ ПВ- Ъ‡ОО 1–ПВЪ‡ОО 2 (еВ1–еВ2). ЙВУПВЪ Л˜ВТНЛВ‡БПВ ˚ Л ˜ЛТОУ НУМЪ‡НЪУ‚ ‚ ˆВФУ˜НВ ·˚ОЛ ‚˚- · ‡М˚ У‰ЛМ‡НУ‚˚ПЛ ‰Оfl ‚ТВı ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛı ‚‡ Л‡МЪУ‚ нал. дУМЪ‡НЪ ПВК‰Ы ТОУflПЛ УТЫ˘В- ТЪ‚ОflОТfl ˜В ВБ НУМЪ‡НЪМ˚В УНМ‡, ‚˚Ъ ‡‚ОВММ˚В ‚ ЛБУОЛ Ы˛˘ВП ТОУВ SiO2, Ò ‡ÁÏ ‡ÏË 4 × 4 ÏÍÏ2 ‰Оfl ТЛТЪВП еВ–еВ ЛОЛ Т ‡БПВ ‡ПЛ 5 Ч 5 ПНП2 ‰Оfl ТЛТЪВП ПВЪ‡ОО–ФУОЫФ У‚У‰МЛН. ЗТВ нал ЛБ„УЪУ‚- ОВМ˚ М‡ Н ВПМЛВ‚˚ı ФО‡ТЪЛМ‡ı У ЛВМЪ‡ˆЛЛ (100). йПЛ˜ВТНЛВ НУМЪ‡НЪ˚ ‚ ТЪ ЫНЪЫ ‡ı ПВЪ‡ОО–ФУОЫ- Ф У‚У‰МЛН ЛБ„УЪ‡‚ОЛ‚‡ОЛ ‰Оfl ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ Т Ф У‚У‰ЛПУТЪ¸˛ n+ Ë p+-ЪЛФ‡. дУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ОВ„Л Ы- ˛˘ВИ Ф ЛПВТЛ ЩУТЩУ ‡ ЛОЛ ·У ‡ ‚ НУМЪ‡НЪМУИ У·- О‡ТЪЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚˚· ‡М‡ ‡‚МУИ 8 Ч 1019 ÒÏ–3. ÉÎÛ·Ë̇ Á‡Î„‡ÌËfl p–n-ФВ ВıУ‰У‚ ‚ ФУОЫФ У‚У‰- МЛНВ ТУТЪ‡‚ОflО‡ 1.2 ПНП. иУ‚В ıМУТЪМУВ ТУФ У- ЪЛ‚ОВМЛВ ТОУfl ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ ‚ НУМЪ‡НЪМУИ У·- О‡ТЪЛ RÍ = 5…30 éÏ/ .

З Н‡˜ВТЪ‚В ПВЪ‡ООЛБ‡ˆЛЛ НУМЪ‡НЪУ‚ Ф ЛПВМflОЛ ЪУМНУФОВМУ˜М˚В ТОУЛ ТФО‡‚‡ ‡О˛ПЛМЛИ–Н ВПМЛИ (Al/Si (1%) ЪУО˘ЛМУИ 0.9…1 ПНП, УТ‡К‰ВММ˚В ПВЪУ‰УП П‡„МВЪ УММУ„У ‡ТФ˚ОВМЛfl [1, 28]. З ТЪ ЫНЪЫ В еВ1–еВ2 ЪУО˘ЛМ‡ ФОВМНЛ ФВ ‚У„У Ы У‚Мfl ПВЪ‡ООЛБ‡ˆЛЛ ‚˚· ‡М‡ ‡‚МУИ 0.6 ПНП.

аТТОВ‰У‚‡МЛВ ‚˚ФУОМВМУ ‰Оfl ˜ВЪ˚ Вı ЪВıМУОУ„Л˜ВТНЛı Ф‡ ЪЛИ УПЛ˜ВТНЛı НУМЪ‡НЪУ‚, ‡БОЛ- ˜‡˛˘ЛıТfl ФУ ТФУТУ·Ы ЪВıМУОУ„Л˜ВТНУИ У· ‡·УЪНЛ ‰М‡ НУМЪ‡НЪМ˚ı УНУМ ФВ В‰ УТ‡К‰ВМЛВП ПВ- Ъ‡ОО‡. з‡ ЛТ. 11 Ф Л‚В‰ВМ˚ Б‡‚ЛТЛПУТЪЛ лие 1/f-¯Ûχ ÓÚ ˜‡ÒÚÓÚ˚ ‰Îfl ˆÂÔÓ˜ÍË ËÁ 196 ÍÓÌÚ‡ÍÚ- Ì˚ı ÒÚ ÛÍÚÛ Me1(Al/1%Si)–Si(n+), Ô Ó¯Â‰¯Ëı