- •А.А. ЖИГАЛЬСКИЙ
- •УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ
- •Томск – 2007
- •Кафедра физической электроники
- •А.А. ЖИГАЛЬСКИЙ
- •Учебное пособие
- •Жигальский А.А.
- •ВВЕДЕНИЕ
- •1 ИЗДЕЛИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
- •2 КОНСТРУИРОВАНИЕ И РАСЧЕТ ГИБРИДНЫХ МИКРОСХЕМ
- •2.1 Подложки
- •2.2 Материалы пленок тонкопленочных микросхем
- •2.3 Расчет конструкций тонкопленочных резисторов
- •2.4 Тонкопленочные конденсаторы
- •2.5 Пленочные индуктивности
- •2.6 Конструкции тонкопленочных распределенных RС-структур
- •2.7 Особенности конструкций СВЧ ГИС
- •2.8 Конструкции компонентов гибридных микросхем
- •2.9 Проектирование топологии гибридных ИМС
- •3 ТОЛСТОПЛЕНОЧНЫЕ ГИС
- •3.1 Платы толстопленочных ГИС
- •3.2 Пасты для толстопленочных ГИС
- •3.3 Основные технологические операции изготовления толстопленочных ГИС
- •4 КОНТРОЛЬНО-ПРОВЕРОЧНЫЕ РАСЧЕТЫ
- •4.1 Паразитные связи в гибридных ИМС
- •4.2 Обеспечение тепловых режимов работы ИМС
- •5 ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ НА БИПОЛЯРНЫХ ТРАНЗИСТОРАХ
- •5.1 Подложки полупроводниковых интегральных микросхем
- •5.2 Конструирование и выбор структуры интегральных транзисторов
- •5.3 Конструирование и расчет диодов
- •5.4 Интегральные резисторы
- •5.6 Диоды и транзисторы с барьером Шоттки
- •5.7 Методы изоляции элементов ИМС
- •5.8 Разработка топологии полупроводниковых ИМС
- •5.9 Тепловой режим полупроводниковых ИМС
- •6.1 Типы МДП-транзисторов
- •6.2 Основные принципы построения МДП ИМС
- •6.3 Проектирование топологии МДП ИМС
- •8 ЭЛЕМЕНТЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОСТОЯННЫХ ЗАПОМИНАЮЩИХ УСТРОЙСТВ
- •9 БАЗОВЫЕ МАТРИЧНЫЕ КРИСТАЛЛЫ
- •9.1 Принципы построения базовых матричных кристаллов
- •9.2 Базовые матричные кристаллы на основе биполярных транзисторов
- •9.3 Базовые матричные кристаллы на основе полевых транзисторов с изолированным затвором
- •9.4 Проектирование микросхем на основе базовых матричных кристаллов
- •10 КОНСТРУКТИВНОЕ ОФОРМЛЕНИЕ И ЗАЩИТА МИКРОСХЕМ
- •10.1 Корпуса микросхем
- •10.2 Защита поверхности кристалла бескорпусных микросхем
- •ЛИТЕРАТУРА
198
ЛИТЕРАТУРА
1.Березин А.С., Мочалкина О.Р. Технология и конструирование интегральных схем. – М.: Радио и связь, 1992. – 320 с.
2.Конструирование и технология микросхем/ Под ред. Л.А. Коледова. М.: Высшая школа, 1984. – 231 с.
3.Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок. – М.: Радио и связь, 1989. – 400 с.
4.Матсон Э.А. Конструкции и технология микросхем. – Минск, Высшая школа, 1985. – 207 с.
5.Матсон Э.А., Крыжановский Д.В. Справочное пособие по конструированию микросхем. – Минск, Высшая школа, 1982.
–224 с.
6.Пономарев М.Ф. Конструирование и расчет интегральных схем. – М.: Радио и связь, 1982.
7.Пономарев М.Ф. , Коноплев Б.Г. Конструирование и расчет микросхем и микропроцессоров. – М.: Радио и связь, 1986.– 176 с.
8.Николаев И.М., Филинюк Н.А. Микроэлектронные устройства и основы их проектирования. – М.: Энергия, 1979. – 336 с.
9.Николаев И.М., Филинюк Н.А. Интегральные микросхемы и основы их проектирования. – М.: Радио и связь, 1992. – 424 с.
10.Калниболотский Ю.М., Королев Ю.В., Богдан Г.И., Рогоза В.С. Расчет и конструирование микросхем. – Киев: Высшая школа, 1983. – 279 с.
11.Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. – М.: Радио и связь, 1987. – 464 с.
12.Микроэлектроника / Под ред. Л.А. Коледова. Кн. 2. Полупроводниковые интегральные микросхемы/ Г.Г. Казенов, В.Я. Кремлев. – М.: Высшая школа, 1987. – 144 с.
13.Микроэлектроника / Под ред. Л.А. Коледова. Кн. 3. Базовые матричные кристаллы и программируемые логические матрицы / М.Ф. Пономарев, Б.Г. Коноплев. – М.: Высшая шко-
ла, 1987. – 94 с.
14.Проектирование топологии матричных БИС/ Под. Ред.
Г.Г. Казенова. – М.: Высшая школа, 1990. – 112 с.
