Вопросы по ТЗС

Вопросы по ТЗС

1. Понятие о технологической и защитной среде. Конструкционные и технологические материалы

2. Взаимосвязь внешней, производственной и технологической сред и их влияние на объект производства.

3. Значение технологических сред в развитии ЭВС.

4. Классификация технологических сред (ТС) по различным критериям. Особенности применения ТС. Состав ТС, контроль и управление.

5. Аксиомы технологического синтеза ЭВС. Классификация технологических сред.

6. Свойства внешней среды и роль защитных сред в минимизации её влияния на производственную и технологическую среды, а также на объект производства. Классы чистоты производственных помещений.

7. Возможности и методы управления свойствами материалов. Характеристика методов.

8. Естественное и искусственное старение материалов. Процессы, происходящие при старении, и средства, замедляющие процессы естественного старения.

9. Марки чистоты технологических материалов и методы их очистки. Значение сертификации материалов.

10. Понятие о робастности. Общие принципы создания робастных технологий.

11. Рационализация конструкторских, технологических и материаловедческих разработок во взаимосвязи и её роль в совершенствовании изделий микроэлектроники (инвариант критерия совершенствования).

12. Понятие порядка и беспорядка в строении веществ. Характеристика порядка и беспорядка структур на макро- и микроуровнях. Агрегатные состояния веществ.

13. Характеристика основных типов связей между частицами веществ. Понятие о полярности веществ.

14. Газообразные технологические среды (ТС). Разновидности, характер поведения по отношению к объёму производства, особенности использования.

15. Получение, контроль параметров, марки чистоты инертных и химически активных газовых ТС. Понятие о барботировании.

16. Общая характеристика вакуумных сред. Свойства остаточных газов в низком, среднем и высоком вакууме. Назначение вакуумных сред.

17. Получение вакуумных сред. Контроль вакуума. Особенности применения вакуумных сред.

18. Акустические волны в составе ТС. Характеристика УЗ-волн (особенности распространения в разных средах-носителях, основные параметры, нелинейные эффекты).

19. Характер взаимодействия УЗ-волн с объектами производства. Источники УЗ-волн. Применение УЗ-волн в технологии ЭВС.

20. Плазменные ТС. Общая характеристика. Процессы, происходящие в плазме. Получение плазменных сред в технологии ЭВС.

21. Характер взаимодействия плазменных сред с объектом производства. Контроль параметров плазменных ТС.

22. Разновидности жидких ТС. Характеристика. Назначение. Особенности применения.

23. Очистительные процессы в жидких ТС. Разновидности очистителей, принципы очистки поверхностей объектов производства. Контроль качества очистки.

24. Жидкие ТС для травления материалов. Разновидности травителей, характер взаимодействия с объектом производства. Контроль качества процесса травления.

25. Жидкие ТС для химического и электрохимического процессов в технологии ЭВС. Особенности реализации. Сравнительная характеристика. Контроль параметров таких сред.

26. Использование облучающих сред в технологии ЭВС. Общая характеристика и получение пучков частиц: электронов, фотонов, нейтронов. Характер их взаимодействия с объектами производства.