Технология СБИС / sbis / s_kontr / metal / metal_15

ВОПРОС loc=""+location; inv=loc.indexOf("?")+1; for (var i=inv+2; i44) { msk=Math.pow(2,rnc); p_str=".htm?"+typ+"+"+tch+"+"+msk+"+"+prav; location="../t_iz/t_iz_"+rnc+p_str } else location="metal_"+rnc+p_str } else { if (tch>4) { location="../end"+p_str } else location="metal_"+rnc+p_str } } В основе какого метода заложены следующие формулы:

2MoCl5 + 5H2 = 2Mo + 10HCl (T = 800°C)

2TaCl5 + 5H2 = 2Ta + 10HCl (T = 600°C)

TiCl4 + 2H2 = Ti + 4HCl (T = 500°C)

Варианты ответов: Металлизация с использованием источников электронно-лучевого испарения

Металлизация с использованием источников индукционного нагрева

Металлизация с использованием ионного распыления

Металлизация с использованием источников резистивного нагрева

Металлизация с использованием магнетронного источника

Металлизация путем химического осаждения из парогазовой смеси

Выберите номер правильного ответа 1 2 3 4 5 6