Технология СБИС / sbis / s_kontr / metal / metal_2

ВОПРОС loc=""+location; inv=loc.indexOf("?")+1; for (var i=inv+2; i44) { msk=Math.pow(2,rnc); p_str=".htm?"+typ+"+"+tch+"+"+msk+"+"+prav; location="../t_iz/t_iz_"+rnc+p_str } else location="metal_"+rnc+p_str } else { if (tch>4) { location="../end"+p_str } else location="metal_"+rnc+p_str } } Какой недостаток имеет метод металлизации с использованием источников электронно-лучевого испарения?

Варианты ответов: Низкая скорость роста пленок

Невозможность напыления тугоплавких материалов

Наличие ионизирующего излучения, проникающего в приповерхностные слои подложек

Выберите номер правильного ответа 1 2 3