Порядок работы.
Порядок работы установки:
в режиме откачки:
механический насос откачивает рабочую камеру до форвакуума, магистрали <<н>>, <<к>>,<<л>>; диффузионный насос выходит на режим;
откачка механическим насосом объема диффузионного насоса и откачка диффузионным наосом трубопровода <<г>>;
откачка диффузионным наосом рабочей камеры до высокого вакуума.
в режиме проведения технологического процесса:
закрываем
затвор
по достижении высокого вакуума;
механический насос откачивает из
диффузионного насоса;
порядок окончания работы:
после выключения диффузионного насоса происходит его остывание. Механический насос откачивает остатки воздуха из диффузионного насоса и затем выключается.
Временная циклограмма.
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вакуумная камера
ФВН
ВВН
ловушка (ж)
ловушка (д)
Первичная
откачка Откачка до
Технологический Смена изделия в
Вторичная
(1)
(2) процесс (3) рабочей
камере откачка до
(4) (5)
Диаграмма распределения давления.
8-
ВВН; 7- ловушка (ж); 6- трубопровод (е); 5-
затвор
;
4- ловушка (д); 3-трубопровод (г);
2-затвор
;
1- трубопровод (о); 0- вакуумная камера;
Элементы системы
Список используемой литературы.
Курс лекций по вакуумной технике.
Фролов Е.С. Справочник “Вакуумная техника. Справочник ”. 1985г.
А.И. Пипко “Конструирувание и расчёт вакуумных систем”. 1979г.
