Московский Институт Электронной Техники

Курсовая работа по курсу

“Основы Вакуумной Техники”

Выполнили:

студенты гр.АиЭМ-43 Рыбалко Е.А.

Петровнин А.С.

Проверил преподаватель:

Профессор Одиноков В.В.

Москва 2002 Содержание:

1. Цель работы, исходные данные……………………………….……….3

2. Основные понятия……………………………………………………....4

3. Расчет вакуумной системы…………………………………………..4-12

4. Временная циклограмма…………………………………………….…13

5. Диаграмма распределения давления………………………………….14

6. Используемая литература……………………………………………...15

7. Эскизный чертёж вакуумной установки……………………………...16

1. Цель работы: Закрепить знания, полученные при изучении дисциплины “Основы вакуумной техники”, по проектированию и расчету откачной вакуумной системы технологического оборудования микроэлектроники. Студент должен рассчитать газовые потоки, правильно и обоснованно выбрать откачные средства, рассчитать проводимости соединительных трубопроводов, оценить совместимость откачных средств, определить фактическую быстроту откачки и перепады давления в трубопроводах, а так же на основании проведенных расчетов выбора типоразмеров откачных средств, затворов и вентилей, выполнить чертеж вакуумной системы (в эскизном исполнении).

Исходные данные

Камера	длина	ширина	высота
	0.4	0.7	0.8

Длины трубопроводов()	в	г	д	е	и	к	л	н
	0.6	0.8	0.6	0.15	1.0	0.7	0.6	1.5

Фланец(), (о)	длина	диаметр
	0.2	0.6

Ловушка(), (д)	длина	диаметр внутренний	диаметр наружный
	0.3	0.125	0.25

Ловушка(), (ж) механическая	Тип	температура
	Шевронная-коническая

Подложкодержатель	время нагрева	материал	температура
		молибден

Газовые потоки

Давление
		7

2. Основные определения.

Поток газа, протекающий во входном сечении вакуумного сечения , называетсяпроизводительность насоса при данном впускном давлении .

Сопротивление трубопровода:

Величина обратная сопротивлению трубопровода W, называется проводимостью трубопровода:

Проводимость сложных трубопроводов рассчитывается по следующим образом:

1. Если участки трубопровода соединены последовательно, то рассчитываются отдельно значения проводимостей отдельных участков, а общая проводимость сложного трубопровода определяется по формуле:

2. Если участки трубопровода соединены параллельно, то отдельные участки также рассчитываются отдельно, а общая проводимость трубопровода определяется по формуле: