4. Порядок работы.

Порядок работы установки:

1. в режиме откачки:

   1. механический насос откачивает рабочую камеру до форвакуума, магистрали <<н>>, <<к>>,<<л>>; диффузионный насос выходит на режим;

   2. откачка механическим насосом объема диффузионного насоса и откачка диффузионным наосом трубопровода <<г>>;

2. откачка диффузионным наосом рабочей камеры до высокого вакуума.

3. в режиме проведения технологического процесса:

закрываем затвор по достижении высокого вакуума; механический насос откачивает из диффузионного насоса;

4. порядок окончания работы:

после выключения диффузионного насоса происходит его остывание. Механический насос откачивает остатки воздуха из диффузионного насоса и затем выключается.

5. Временная циклограмма.

Вакуумная камера

ФВН

ВВН

ловушка (ж)

ловушка (д)

Первичная откачка Откачка до Технологический Смена изделия в Вторичная

(1) (2) процесс (3) рабочей камере откачка до

(4) (5)

6. Диаграмма распределения давления.

8- ВВН; 7- ловушка (ж); 6- трубопровод (е); 5- затвор ; 4- ловушка (д); 3-трубопровод (г); 2-затвор; 1- трубопровод (о); 0- вакуумная камера;

Элементы системы

7. Список используемой литературы.

1. Курс лекций по вакуумной технике.

2. Фролов Е.С. Справочник “Вакуумная техника. Справочник ”. 1985г.

3. А.И. Пипко “Конструирувание и расчёт вакуумных систем”. 1979г.

15