- •Курсовая работа по курсу
- •Москва 2002 Содержание:
- •Исходные данные
- •Основные определения.
- •Сопротивление трубопровода:
- •Расчет вакуумной системы. Определение внутренней поверхности рабочей камеры.
- •Выбор диффузионного насоса.
- •Порядок работы.
- •Временная циклограмма.
- •Диаграмма распределения давления.
- •Список используемой литературы.
Выбор диффузионного насоса.
.
Ориентировочная быстрота откачки рабочей камеры:
![]()
Быстроту действия диффузионного насоса вычисляем по формуле:
![]()
По быстроте действия выбираем насос Н-250/2500 со следующими характеристиками:
-быстрота
действия в диапазоне впускных давлений
![]()
;
-
предельное остаточное давление
;
-наибольшее
выпускное давление
![]()
-расход
охлаждающей воды при температуре
283-293К и давлении
;
-мощность электродвигателя W=2.0кВт;
-габаритные
размеры
;
-масса 36 кг;
-объем
масла 0,6
![]()
-условный проход фланца, мм:
входного 250
выходного 63
-требуемая
быстрота действия форвакуумного насоса
.
Минимальная быстрота действия механического (форвакуумного) насоса.

Проводимость участка диффузионный насос – сечение <<ж>>.
Зададим
размеры трубопровода:
.
Определим режим течения:
молекулярный
режим течения.
Проводимость механической шевронной - конической ловушки.
Давление в ловушке:
![]()
где
-
давление на входе в насос, равное
;
-
номинальная быстрота откачки диффузионного
насоса;
-проводимость
ловушки;
-табличные
данные;
-
площадь сечения ловушки.
Тогда проводимость ловушки:
;
давление в ловушке:
![]()
Видно, что режим течения – молекулярный.
Определяем проводимость участка <<е>>.
Выбираем
размеры трубопровода:
(по заданию),
(по входному патрубку диффузионного
насоса).
Найдем
соотношение
![]()
![]()
Тогда проводимость данного участка:
;
где
-
площадь входного сечения трубопровода,
;
-
коэффициент Клаузинга;
Определим давление на участке <<е>>:
режим
течения молекулярный.
Проводимость
затвора
.
Выбираем
затвор ЗЭПл -250 с проходным диаметром
и проводимостью
.
Давление в трубопроводе:
-
режим молекулярный
Проводимость трубопровода (д)
,
![]()
Найдем
соотношение:
Тогда проводимость данного участка:
.
Определим режим течения на участке:
режим
течения молекулярный.
Расчет кольцевого участка высоковакуумной линии вокруг азотной ловушки.
Параметры
ловушки:
,
,![]()
Проводимость канала:
.
Тогда давление в данном сечении:
режим
течения молекулярный.
Проводимость трубопровода (г).
Выбираем
размеры трубопровода:
(по
заданию),
(по
диаметру предыдущего участка). Найдем
соотношение:
![]()
Тогда проводимость данного участка:
.
Давление в данном сечении:
![]()
-
режим молекулярный
Проводимость
затвора
:
.
Давление в затворе:
режим
течения молекулярный.
Проводимость диафрагменного участка рабочая камера- сечение <<о>> .
Определение проводимости данного участка ведем согласно расчетной схеме приведенной на рисунке 2.

Рис. 2 Расчетная схема
Размеры
присоединительного фланца:
![]()
(по заданию).
Найдем
соотношение
-
короткий трубопровод
.
Тогда проводимость в сечении <<о>>:
.
Давление в сечении <<о>>:
режим
течения вязкостный.
Площадь поперечного сечения рабочей камеры:
![]()
Площадь поперечного сечения присоединительного фланца:
![]()
Проводимость:
.
Давление в рабочей камере:
режим
течения молекулярный.
Определение суммарной проводимости высоковакуумной линии.

Определение действительной быстроты откачки диффузионного насоса.
Действительная быстрота откачки:

Действительное давление в рабочем объеме:
![]()
Время откачки камеры высоковакуумным насосом до предельного давления в камере:
![]()
V-объём
рабочей камеры;
![]()
Выбор механического насоса.
Во
время откачки рабочей камеры механическим
насосом затворы
закрыты.
Минимальная скорость откачки механическим насосом:
![]()
К моменту подключения высоковакуумного насоса для откачки рабочей камеры в ней должно быть давление 0.1 Па (согласно паспортным данным выбранного нами диффузионного насоса), поэтому выбираем механический насос НВЗ-20, серии золотниковых насосов, со следующими характеристиками:
номинальная
быстрота действия
;
предельное
давление
;
диаметр
входного патрубка
.
Проводимость участка <<н>> низковакуумной линии.
Выбираем
размеры трубопровода <<н>>:
![]()
(по входному диаметру механического
насоса).
вязкостный
режим течения.
Найдем
соотношение
:
-короткий
трубопровод
![]()
![]()
Тогда проводимость в сечении <<н>>:
;
Давление в данном сечении:
.
Проводимость
высоковакуумной линии от затвора
до диафрагмы.
Выбираем
затвор ЗЭПл -100 с проходным диаметром
и проводимостью
.
Давление в трубопроводе:
.
Выбираем
размеры трубопровода:
(по
заданию),
(по
диаметру предыдущего участка).
Мы
видим, что
,
значит у нас короткий трубопровод.
Найдем соотношение:
Тогда проводимость данного участка:
.
Определим режим течения на участке:
режим
течения молекулярный.
Проводимость высоковакуумной линии диафрагмы.
Расчет будем проводить с учетом расчетной схемы 3.
Рабочее
давление
.
Давление после диафрагмы
.
Проводимость диафрагмы:
![]()
В следствии малой проводимости диафрагмы, проводимости других элементов трубопровода не учитываются.
Рис. 3 Расчетная схема
![]()
Так
как
,
то проводимость диафрагмы можно записать
в следующем виде:
,
можно записать:
,
откуда, решая уравнение, находим диаметр диафрагмы:
.
Расчёт времени откачки камеры:

Суммарное
время откачки:
![]()
