Московский Институт Электронной Техники

Курсовая работа по курсу

“Основы Вакуумной Техники”

Выполнил: Марышев Ю.А.

Морозов С.В.

Проверил: Одиноков В.В.

Москва 2002 Содержание:

1. Цель работы, исходные данные……………………………………….3

2. Основные понятия……………………………………………………...4

3. Расчет вакуумной системы…………………………………………4-11

4. Порядок работы………………………………………………………..12

5. Временная циклограмма………………………………………………13

6. Диаграмма распределения давления………………………………….14

7. Используемая литература……………………………………………...15

1. Цель работы: Закрепить знания, полученные при изучении дисциплины “Основы вакуумной техники”, по проектированию и расчету откачной вакуумной системы технологического оборудования микроэлектроники. Студент должен рассчитать газовые потоки, правильно и обоснованно выбрать откачные средства, рассчитать проводимости соединительных трубопроводов, оценить совместимость откачных средств, определить фактическую быстроту откачки и перепады давления в трубопроводах, а так же на основании проведенных расчетов выбора типоразмеров откачных средств, затворов и вентилей, выполнить чертеж вакуумной системы (в эскизном исполнении).

Исходные данные

Камера	длина	ширина	высота
	0.6	0.4	0.7

Длины трубопроводов()	в	г	д	е	и	к	л	н
	0.9	0.8	0.5	0.1	0.8	0.8	0.6	1.5

Фланец(), (о)	длина	диаметр
	0.15	0.5

Ловушка(), (д)	длина	диаметр внутренний	диаметр наружный
	0.25	0.5	0.5

Ловушка(), (ж) механическая	Тип	температура
	Шевронная-коническая

Подложкодержатель	время нагрева	материал	температура
		молибден

Газовые потоки

Давление
		4

2. Основные определения.

Поток газа, протекающий во входном сечении вакуумного сечения , называетсяпроизводительность насоса при данном впускном давлении .

Сопротивление трубопровода:

Величина обратная сопротивлению трубопровода W, называется проводимостью трубопровода:

Проводимость сложных трубопроводов рассчитывается по следующим образом:

1. Если участки трубопровода соединены последовательно, то рассчитываются отдельно значения проводимостей отдельных участков, а общая проводимость сложного трубопровода определяется по формуле:

2. Если участки трубопровода соединены параллельно, то отдельные участки также рассчитываются отдельно, а общая проводимость трубопровода определяется по формуле:

3. Расчет вакуумной системы. Определение внутренней поверхности рабочей камеры.

где B,H,L- размеры рабочей камеры;

-размеры присоединительного фланца.

Газовыделение рабочей камеры.

газовыделение:

тогда диффузионное газовыделение:

Определение стационарного газового потока.

где - газовыделение от подложкодержателя:

где - удельное газовыделение материала (Мо) при заданной температуре;

- объем подложкодержателя;

- плотность молибдена;

- время газовыделения.

Тогда газовый поток, откачиваемый во время работы вакуумной установки: