
БТП Райнова(курсовая) / БТП Райнова(курсовая) / титул Райнова
.docСодержание.
-
Введение……………………………………………………. 1
-
Основные компоненты RTP-систем…………………….2
-
Системы управления температурой подложки в RTP……………………………………………………………9
-
Модель термического режима реактора……………..10
-
Перспективные методы управления температурой подложки………………………………………………..…13
-
Расчет облученности и распределения температуры по подложке…………………………………………….…15
-
Список литературы………………………………………21
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Курсовая Работа
по теме
Обеспечение равномерности нагрева подложки в быстрых термических процессах.
Выполнил Труфанов К.В.
Проверил Антоненко К
Москва 2001