Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
12
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
21.5 Кб
Скачать

Содержание.

  1. Введение……………………………………………………. 1

  2. Основные компоненты RTP-систем…………………….2

  3. Системы управления температурой подложки в RTP……………………………………………………………9

  4. Модель термического режима реактора……………..10

  5. Перспективные методы управления температурой подложки………………………………………………..…13

  6. Расчет облученности и распределения температуры по подложке…………………………………………….…15

  7. Список литературы………………………………………21

Московский государственный институт электронной техники (технический университет)

Курсовая Работа

по теме

Обеспечение равномерности нагрева подложки в быстрых термических процессах.

Выполнил Труфанов К.В.

Проверил Антоненко К

Москва 2001

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Мы не исправляем ошибки в тексте (почему?), но будем благодарны, если вы все же напишите об ошибках.

Соседние файлы в папке БТП Райнова(курсовая)