Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
Скачиваний:
14
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
443.39 Кб
Скачать

Московский государственный институт электронной техники

(Технический университет)

Домашние задание 1

« Расчет резистивного нагревательного устройства »

ПО КУРСУ:

«Расчет и проектирование нагревательных устройств и газовых систем оборудования»

Выполнил:

группа ЭТМО-53а

Проверил: Самойликов В.К.

Москва 2005

Задание.

В рабочей камере диффузионной окислительной печи производится термическая обработка (при температуре ) n подложек диаметром dпл, размещаемых на кварцевом подложкодержателе.

Выполнить тепловой расчет термического модуля печи и определить:

- конструктивные размеры печи;

- температуру печи;

- температуру нагревателя;

- температуру газа-носителя на выходе из печи;

- установленную мощность печи;

Построить также графики кинетики разогрева печи и изделий.

Предложены следующие данные:

1 Производительность n=100

2 Диаметр обрабатываемых подложек Dпл =200 мм

3 Шаг между подложками s=10 мм

4 Температура обработки подложек =1100С

5 Температура загрузки подложек =600С

6 Температура окончания 1-го этапа нагрева =950С

7 Температура коха печи tкох=60С

8 Температура окружающей среды tок=25С

9 Газ-носитель (ГН) воздух

10 Температура ГН на входе в печь tг=25С

11 Излучательная способность материала стен печи =0,65

12 Время выдержки подложек в=60 мин

13 Время отсасывания печи о=40 мин

14 Время простоя печи пр=30 мин

При проведении расчетов использовать следующие дополнительные сведения:

  • толщина подложек (пл) может быть выбрана из следующего соотношения пл0,004 Dпл;

  • излучательная способность материала подложек пл=0,70;

  • плотность материала подложек =2330 кг/м3;

  • удельная теплоемкость материала подложек Сsi2000 Дж/кгК;

  • удельная теплоемкость материала подложкодержателя СПД2400 Дж/кгК;

  • средняя удельная теплоемкость газа-носителя Сp(воздуха)1050 Дж/кгК;

  • теплопроводность воздуха при нормальных условиях =0,026 Вт/мК.

Теплофизические свойства конструкционных и обрабатываемых материалов:

Кремний

Кварц

Воздух

Теплоизо-

ляция

Нагрева-

тель

Плотность

кг/м2

2300

2655

1,29

200

7750

Теплоем-

кость

Ср

Дж/кг град

2000

1560

1050

1100

600

Теплопро-

водность

Вт/м град

25

2,5

0,05

0,058+

+0,19.10-3tср

27

Кинемати-

ческая вяз-

кость

м2

-

-

14,6.10-6

-

-

Уд. эл. соп-

ротивление

Ом.м

-

-

-

-

1,35

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке РиП_НУиГСО(Самойликов)