SHADOW / REZENZ

Рецензия

на дипломный проект студента группы ЭКТ-57 МГИЭТ

ДЕРЯБИНА ПАВЛА АЛЕКСАНДРОВИЧА

“РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ”.

Дипломный проект П.А. Дерябина выполнен по приоритетному направлению исследований - литографическому обеспечению производства СБИС с 0,8-мкм топологическими нормами. Из этого следует актуальность темы дипломного проекта и практическая важность результатов исследований, представленных в данной работе.

В литературном обзоре проекта рассмотрены перспективы развиития схем ДОЗУ и фотолитографического оборудования в мире. По материалам отечественных и иностранных публикаций рассмотрено современное состояние литографического комплекса “оборудование-технология” и обоснованы перспективные направления разработок в данной области. Рассмотрено простое и эффективное решение сложной проблемы получения минимального линейного размера технологическими способами.

Главы по охране труда и окружающей среды, а также экономический анализ разработки полностью удовлетворяет требованиям к дипломному проектированию. Исследовательская часть работы, завершающая дипломный проект П.А. Дерябина, выполнена с применением современного оборудования и методически правильно.

Недостатки дипломного проекта, к которым можно отнести перегруженность пояснительной записки второстепенной информацией и стилистические огрехи, не ухудшают общего хорошего впечатления от рецензируемого проекта.

Дипломный проект студента П.А. Дерябина заслуживает оценки “отлично”.

Рецензент :