Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

SHADOW / TITUL

.DOC
Скачиваний:
1
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
15.36 Кб
Скачать

Министерство высшего и среднего специального образования России

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

ФАКУЛЬТЕТ ЭКТ

КАФЕДРА ФТИМС

ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

К ДИПЛОМНОМУ ПРОЕКТУ

НА ТЕМУ:

РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННОЙ

ФОТОЛИТОГРАФИИ (ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПРОЕКЦИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ С ЦЕЛЬЮ УВЕЛИЧЕНИЯ ЕГО РАЗРЕШЕНИЯ)

Дипломант__________________________________(Дерябин П.А.)

Руководитель проекта__________________________(Гущин О.П.)

Консультант__________________________________(Кукина Н.С.)

Консультант по техноло-

гической части________________________________(Кукина Н.С.)

Консультант по организационно-

экономической части________________________(Анискин Ю.П.)

Консультант по технике

безопасности_______________________________(Привалов В.П.)

1997 г.

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Мы не исправляем ошибки в тексте (почему?), но будем благодарны, если вы все же напишите об ошибках.

Соседние файлы в папке SHADOW