SHADOW / TITUL

Министерство высшего и среднего специального образования России

МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

ФАКУЛЬТЕТ ЭКТ

КАФЕДРА ФТИМС

ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

К ДИПЛОМНОМУ ПРОЕКТУ

НА ТЕМУ:

“РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ СУБМИКРОННОЙ

ФОТОЛИТОГРАФИИ (ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПРОЕКЦИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ С ЦЕЛЬЮ УВЕЛИЧЕНИЯ ЕГО РАЗРЕШЕНИЯ)”

Дипломант__________________________________(Дерябин П.А.)

Руководитель проекта__________________________(Гущин О.П.)

Консультант__________________________________(Кукина Н.С.)

Консультант по техноло-

гической части________________________________(Кукина Н.С.)

Консультант по организационно-

экономической части________________________(Анискин Ю.П.)

Консультант по технике

безопасности_______________________________(Привалов В.П.)

1997 г.