Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
MRTUS / TEH_PART.DOC
Скачиваний:
45
Добавлен:
16.04.2013
Размер:
238.59 Кб
Скачать

4.3 Основные способы герметизации мэу.

Все многообразие герметизирующих материалов можно разделить на две большие группы:

- неорганические (металлы, стекла, керамика);

- органические полимерные (компаунды, лаки, эмали).

Неорганические материалы характеризуются высокой нагревостойкостью, механической прочностью, твердостью и практически полным отсутствием газо- и водопроницаемости. Они используются для герметизации МЭУ специального назначения путем образования вакуум-плотных гермовводов и швов. Процесс сборки и герметизации микросхем в корпуса из неорганических материалов обычно является достаточно трудоёмким и трудно поддающимся автоматизации. Исключение составляют керамические корпуса, конкурирующие по стоимости с пластмассовыми корпусами.

В отличие от неорганических, органические полимерные материалы являются в той или иной мере влагопроницаемыми и значительно менее нагревостойкими. Поэтому герметизирующие конструкции на их основе используются преимущественно при изготовлении микросхем и МЭУ бытового и общепромышленного назначения. Однако, благодаря успехам в технике производства полупроводниковых ИМС и их герметизации, изделия, герметизированные в полимерсодержащие конструкции, начинают находить применение и в специальной технике. К особенностям герметизации МЭУ полимерами относится малая трудоёмкость, групповой характер технологии и возможность механизации и автоматизации процессов.

Как видно, по сравнению с неорганическими, органические полимерные материалы имеют много характерных отличительных признаков. В технике герметизации именно эти особенности выделяют полимеры в особый класс материалов, а полимерсодержащие конструкции в особый класс конструкций.

В работе [1] приводится следующая классификация способов герметизации предварительно пассивированных слоем двуокиси кремния промышленных полупроводниковых приборов и ИМС:

- герметизация в вакуум-плотные корпуса;

- покрытие слоем полимера, т.е. бескорпусная герметизация, и последующая герметизация в вакуум-плотные корпуса;

- герметизация в монолитные пластмассовые корпуса;

- покрытие слоем полимера, т.е. бескорпусная герметизация, и последующая герметизация в полые полимерсодержащие корпуса.

В [2] приводится более полная классификация средств защиты МЭА от влаги:

Средства защиты МЭА от влаги

Монолитные оболочки Полые оболочки

Оболочки Неразъёмные Разъёмные

из неорганических Полимерные и

материалов Сочетание резиновые

Пассивация материалов уплотнители

сульфидированием Металло- Металлические

SiO2 и др. полимерные уплотнители

Халькогенные и Металло- Разъёмный

другие стёкла стеклянные паяный шов

Металлокерамические

Оболочки Керамические, стеклянные

из органических материалов Заполнение

Пассивация Вакуум

этилированием Инертные газы

Пропитка Кремнийорганическая жидкость

Заливка Тип соединения

Обволакивание Пайка

Опрессовка Сварка

Клейка

Тут вы можете оставить комментарий к выбранному абзацу или сообщить об ошибке.

Оставленные комментарии видны всем.

Соседние файлы в папке MRTUS