4.3 Основные способы герметизации мэу.

Все многообразие герметизирующих материалов можно разделить на две большие группы:

- неорганические (металлы, стекла, керамика);

- органические полимерные (компаунды, лаки, эмали).

Неорганические материалы характеризуются высокой нагревостойкостью, механической прочностью, твердостью и практически полным отсутствием газо- и водопроницаемости. Они используются для герметизации МЭУ специального назначения путем образования вакуум-плотных гермовводов и швов. Процесс сборки и герметизации микросхем в корпуса из неорганических материалов обычно является достаточно трудоёмким и трудно поддающимся автоматизации. Исключение составляют керамические корпуса, конкурирующие по стоимости с пластмассовыми корпусами.

В отличие от неорганических, органические полимерные материалы являются в той или иной мере влагопроницаемыми и значительно менее нагревостойкими. Поэтому герметизирующие конструкции на их основе используются преимущественно при изготовлении микросхем и МЭУ бытового и общепромышленного назначения. Однако, благодаря успехам в технике производства полупроводниковых ИМС и их герметизации, изделия, герметизированные в полимерсодержащие конструкции, начинают находить применение и в специальной технике. К особенностям герметизации МЭУ полимерами относится малая трудоёмкость, групповой характер технологии и возможность механизации и автоматизации процессов.

Как видно, по сравнению с неорганическими, органические полимерные материалы имеют много характерных отличительных признаков. В технике герметизации именно эти особенности выделяют полимеры в особый класс материалов, а полимерсодержащие конструкции в особый класс конструкций.

В работе [1] приводится следующая классификация способов герметизации предварительно пассивированных слоем двуокиси кремния промышленных полупроводниковых приборов и ИМС:

- герметизация в вакуум-плотные корпуса;

- покрытие слоем полимера, т.е. бескорпусная герметизация, и последующая герметизация в вакуум-плотные корпуса;

- герметизация в монолитные пластмассовые корпуса;

- покрытие слоем полимера, т.е. бескорпусная герметизация, и последующая герметизация в полые полимерсодержащие корпуса.

В [2] приводится более полная классификация средств защиты МЭА от влаги:

Средства защиты МЭА от влаги