Введение

При разработке и внедрении новых изделий, технологических процессов, оборудования, а также при осуществлении других мероприятий важную роль играют расчеты, целью которых является обоснование эффективности капитальных вложений и внедрения новой техники, и выбор на этой основе из ряда возможных, оптимального варианта не только технически возможного, но экономически целесообразного.

Задачей данной главы дипломного проекта является проведение технико-экономического обоснования внедрения оборудования для двухстороннего химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра, используемых при изготовлении СБИС и ССИС.

За базовый и внедряемый варианты в экономическом расчете эффективности два типа оборудования:

1. Базовый – станок односторонней полировки “Яхонт”, 12 пластин за один процесс ХМП.

2. Внедряемый – станок двухсторонней полировки 16В4Р, 24 пластины за один процесс ХМП.

Коэффициенты выхода годных, представленные в таблице, представляют собой средние значения по последним партиям пластин, изготавливаемых на оборудовании.

Балансовая стоимость станка 16В4Р представляет собой ее цену в случае их серийного производства, т.е. цену, которую заплатит за этот станок конечный потребитель.

1