Рецензия

на дипломный проект студента группы ФХ–57 Физико-химического факультета МИЭТ Билан Александра Евгеньевича на тему: «Поиск и разработка составов резистив­ного материала с большим отрица­тельным температурным коэффициентом сопротив­ления для толстопленочных чип-тер­морезисторов».

Терморезисторы с отрицательным температурным коэффициентом сопротивления используются в различных областях промышленности. Их получают, в основном, по ке­рамической технологии, к недостаткам кото­рой можно отнести высокую температуру спекания терморезистивного материала, относительно большие геометрические размеры терморези­сторов и их большая тепловая инертность.

Получение терморезисторов по толстопленочной технологии, позво­ляет не только избежать указанных недостатков, но и получать терморе­зисторы по прогрессивной групповой технологии, где формирование тер­морезисторов совпадает с формированием других толстопленочных эле­ментов. Поэтому изготовление терморезисторов по толсто­пленочной тех­нологии является одним из важнейших направлений толстопленочной микроэлектроники.

Перед дипломантом стояла очень сложная задача определить состав материалов и изготовить методом толстопленочной технологии чип-тер­морезисторы с заданными па­раметрами: большим отрицательным ТКС, наибольшим значением коэффициента тем­пературной чувствительности, заданным сопротивлением при комнатной температуре и небольшими геометрическими размерами.

Трудность решения поставленной задачи усугублялась тем, что свойства терморе­зистивного материала в объемных образцах и пленках толщиной до 100 мкм значи­тельно отличаются. Кроме того, для изготов­ления паст на основе порошков терморези­стивных материалов необхо­димо, чтобы эти порошки имели определенный грануло­метрический состав (максималь­ный размер частиц должен быть не более 20 мкм), а как выяснилось в про­цессе работы, параметры монолитных образцов и пленок терморези­стивных материалов существенно зависят от размера частиц исходного материала.

Ограниченность научно-технической информации по теме диплом­ного проекта, за­ставили Билан А.Е. большое внимание уделить экспери­ментальным исследованиям. Проделан совместно со специалистами ЗАО «Элма–Импульс» и ЗАО «НИИМВ» очень большой объем эксперимен­тальных исследований по теме дипломного проекта.

Необходимо отметить хороший методологический уровень работы: синтез и иссле­дование характеристик монолитных образцов и пленок, ис­следование влияния длитель­ности помола исходного порошка, толщины слоев, температурных режимов вжигания пленок на параметры чип-тер­морезисторов. Все это, в конечном счете, позволило изго­товить чип-тер­морезисторы с параметрами, удовлетворяющими требованиям на ди­плом­ное проектирование.

Большую научную и практическую ценность представляют и результаты исследо­ваний по температурно-временной стабильности чип-термо­резисторов, что позволило после защиты слоя терморезистора пленкой легкоплавкого стекла значительно повысить температурно-временную стабильность параметров чип-терморезисторов.

Разработанное в дипломном проекте приспособление для трафаретной печати про­водящих и резистивных слоев на керамические подложки с большим отношением длины к ширине (40:1 при ширине подложки около 8 мм) характеризует Билан А.Е. как грамотного ин­женера, умеющего сформу­лировать задачу и предложить пути ее реше­ния.

К недостаткам работы следует отнести слабое теоретическое обос­нование связи проводимости слоев терморезистивного материала с неко­торыми технологическими и геометрическими факторами изготовления чип-терморезисторов.

Однако отмеченные недостатки не снижают научной и практической ценности ди­пломного проекта для разработчиков пленочных терморези­сторов и приборов с приме­нением этих терморезисторов. Техническое за­дание на дипломное проектирование вы­полнено в полном объеме.

Работа Билан А.Е. по объему, содержанию и практической значимо­сти соответст­вует требованиям к дипломному проекту.

Дипломный проект выполнен на хорошем методическом и инженер­ном уровне и заслуживает отличной оценки, а его автор, Билан А.Е. – присвоения квалификации ин­женера электронной техники.

Рецензент,

начальник отдела №330 ЗАО «НИИМВ» Пономарев С.В.