МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ и НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

"Мати" - российский государственный технологический университет имени к.Э. Циолковского

_____________________________________________________________________

Кафедра "Общая химия, физика и химия композиционных материалов"

Лабораторная работа №1

Дисциплина: «Моделирование и проектирование микро- и наносистемной техники»

Тема: «Исследование характеристик тонких пленок на поверхности тонких пластин полученных методом вакуумного напыления »

Выполнил: студент группы 4НАН - 4ДБ - 079

Юнусов У.Д.

Проверил: Жуков А.А.

Москва, 2014 г.

Содержание

Введение……………………………………………………………………………..3

1. Правила техники безопасности…………………………………………….4

2. Теоретическая часть …………………………………………………..……5

1.1 Раздел 1. Теоретические основы нанесения тонких пленок вакуумным магнетронным распылением………………………………….……………..…….5

1.2 Раздел 2. Теоретические основы четырехзондового метода…………………………………...…………………………………………..8

1.3 Раздел 3. Оборудование для определения толщины нанесенных пленок. ………………………….……………………………………………………8

3. Раздел 4. Экспериментальная часть…………………………………..….11

Результаты…………………………………………………………………...……..14

Список литературы…………………………………………………………….…..15

Введение

Актуальность работы связана тем, что в настоящее время тонкие пленки, толщиной от нескольких сотен ангстрем до одного-двух микрометров, получают различными методами вакуумного напыления: термическим, катодным и ионно-плазменным. Все методы имеют отличительные особенности, связанные с величиной вакуума в рабочей камере, способом активации атомов распыляемой мишени, однородностью пленок по толщине, воспроизводимостью характеристик пленки.

Целью настоящей работы является ознакомление с процессом и оборудованием предназначенным для нанесения тонких пленок на поверхности тонких пластин методом вакуумного напыления, определение удельного поверхностного сопротивления исследуемого образца и толщины пленки.

Для достижения поставленной цели необходимо было решить следующие задачи:

1. Изучить теоретические основы нанесения тонких пленок вакуумным напылением.

2. Изучить теоретические основы четырехзондового метода.

3. Ознакомиться с оборудованием для определения толщины нанесенных пленок.

4. Выполнить экспериментальную часть лабораторной работы: определить удельное поверхностное сопротивление исследуемого образца и толщины пленки, построить график зависимости R_S и L.

 

Правила техники безопасности.

Работник должен быть обеспечен средствами индивидуальной защиты: шапочка, халат, респиратор типа РПГ-67 с патроном марки «А» или противогазом ГП-4У, резиновые и матерчатые перчатки.

Перед началом работы необходимо включить приточно-вытяжную вентиляцию и проверить исправность приборов. Не допускается работать одному. Необходимо следить за показателями приборов и давлением рабочих газов. По окончании работы необходимо отключить установку в соответствии с инструкцией по эксплуатации и привести рабочее место в порядок.