Шалимова_К_Физика_полупроводников
.pdf
К. В. ШАЛИМОВА ФИЗИКА
ПОЛУПРОВОДНИКОВ
У Ч Е Б Н И К
Издание четвертое, стереотипное
САНКТ ПЕТЕРБУРГ•МОСКВА•КРАСНОДАР 2010
ББК 22.379я73 Ш 18
Шалимова К. В.
Ш 18 Физика полупроводников: Учебник. 4 е изд., стер. — СПб.: Издательство «Лань», 2010. — 400 с.: ил. — (Учебни ки для вузов. Специальная литература).
ISBN 978 5 8114 0922 8
В учебнике рассмотрены модельные представления о механизме элек тропроводности, даны основы зонной теории полупроводников и теории колебаний кристаллической решетки, изложена статистика электронов и дырок, рассмотрены механизмы рассеяния носителей заряда, генерация и рекомбинация носителей заряда, диффузия и дрейф неравновесных носи телей заряда, изложены контактные и поверхностные явления в полупро водниках, их оптические и фотоэлектрические свойства.
Учебник предназначен для студентов физических и технических спе циальностей, может быть полезен инженерно техническим работникам.
ББК 22.379я73
Обложка
А. Ю. ЛАПШИН
Охраняется законом РФ об авторском праве. Воспроизведение всей книги или любой ее части запрещается без письменного разрешения издателя. Любые попытки нарушения закона
будут преследоваться в судебном порядке.
© Издательство «Лань», 2010 © К. В. Шалимова, наследники, 2010 © Издательство «Лань»,
художественное оформление, 2010
ПРЕДИСЛОВИЕ
В связи со все увеличивающимися темпами развития электроники и повышенным вниманием к фундаментальным и техническим разработкам в области физики полупроводников возникла устойчивая потребность в подготовке специалистов данного направления. Современная литература посвящена преимущественно новейшим достижениям и разработкам, таким как, например, наноэлектроника. При создании актуальных, современных учебных пособий авторам неминуемо приходится меньше внимания уделять методической составляющей издания, грамотному и понятному изложению основ. В результате учебное пособие дает студенту знания и интерес к данному направлению, но не обеспечивает понимания простейших процессов. Возникает необходимость в переиздании методически выверенной литературы, получившей признание многих поколений студентов.
Чтобы восполнить эту потребность, читателям предлагается четвертое издание учебника К. В. Шалимовой «Физика полупроводников».
Книга создавалась в 1960)е годы в период интенсивного развития полупроводниковой электроники в нашей стране. В 1971 г. вышло ее первое издание. Оно не было первым среди книг по физике полупроводников, но выделялось достаточно простым и в то же время строгим изложением материала, охватывающим все разделы, необходимые для студентов, обучающихся по специальностям, связанным с технологией получения полупроводниковых материалов, полупроводниковыми приборами и полупроводниковой электроникой. Уже второе ее издание в 1976 г. получило гриф Министерства высшего и среднего образования СССР и стало использоваться как учебник. Впоследствии книга была еще раз переиздана в 1985 г. Свидетельством ее успешности был перевод на испанский, польский и чешский языки.
За прошедшие с момента последнего издания учебника К. В. Шалимовой 15 лет физика полупроводников обогатилась как исследованиями новых явлений в физике полупроводников и твердого тела, так и исследованиями новых материалов. В первую очередь, вероятно, следует говорить о квантово) размерных эффектах, создании структур квантовых ям, квантовых проволок, квантовых точек и, наконец, сверхрешеток, которые сыграли большую роль в создании новых приборов и совершенствовании параметров уже известных. Более того, переход на наноуровень в размерах исследуемых структур поставил ряд новых вопросов в понимании происходящих в них физических процессов.
Все эти аспекты выходят за рамки данной книги. Несмотря на это, учебник К. В. Шалимовой остается одним из самых востребованных в этой области. Мы надеемся, что новое издание найдет большое число читателей среди преподавателей и студентов и по)своему обогатит образовательный процесс.
СПИСОК |
ОСНОВНЫХ |
ОБОЗНАЧЕНИЙ |
|
|
|
||||||
|
|
а - |
постоянная решетки, радиус Бора, ускорение |
|
|||||||
а, Ь, |
с - |
полуоси эллипсоида |
|
|
|
||||||
В, |
В - |
магнитная |
индукция |
|
|
|
|||||
|
|
С - |
емкость, |
теплопроводность |
|
|
|
||||
|
|
с - |
скорость |
света |
в вакууме |
|
|
|
|||
|
|
D - |
биполярный |
коэффициент диффузии; |
прозрачность |
потенциаль |
|||||
|
|
|
|
ного барьера |
|
|
|
|
|
||
D n , |
D p |
- |
коэффициент диффузии электронов, дырок |
|
|||||||
&, |
|
/S - |
напряженность |
электрического поля |
|
|
|||||
/S "р - |
критическая |
напряженность электрического поля |
|
||||||||
|
/S м - |
максимальная |
напряженность |
электрического поля |
|
||||||
|
|
Е - |
энергия |
|
|
|
|
|
|
|
|
Ее, |
Еи |
- |
энергии, |
соответствующие дну |
зоны |
проводимости |
И потолку |
||||
|
|
|
|
валентной |
зоны |
|
|
|
|
||
Еа., Ed, Еэнс - энергии ионизации акцептора, донора, экситона
Еg - ширина запрещенной зоны
Еи - энергия ионизацин
|
Ер - |
энергия фонона |
|
|||
|
Ет - |
порог внешнего фотоэффекта |
||||
|
Et - |
энергия уровня захвата |
||||
|
|
! |
- |
заряд электрона; деформация |
||
|
|
Н - |
оператор Гамильтона |
|||
Н, |
|
Н - |
напряженность магнитного поля |
|||
f, |
h - |
постоянная Планка; 11, = h/2n |
||||
F - |
сила |
|
|
|||
|
|
F - |
уровень Ферми (энергия Ферми) |
|||
рn, |
F р - |
квазиуровень Ферми для электронов и дырок |
||||
10, |
|
f - |
функция Ферми-Днрака; неравновесная функция распределения |
|||
'ОР - |
равновесная функция распределения для электронов И дырок |
|||||
|
|
G - |
скорость генерации |
|
||
|
а., |
- |
поверхностная проводимость |
|||
|
|
g - |
фактор спинового вырождения; вероятность поглощения |
|||
|
|
I |
- |
ток, интенсивность |
света |
|
i, j, |
k - |
единичные векторы |
|
|||
J, |
|
J - |
плотность тока |
|
||
|
|
J" - |
плотность тока насыщения |
|||
k, |
k - |
волновой вектор носителя заряда; модуль волнового вектора |
||||
|
|
k - |
постоянная Больцмана |
|||
k n , |
kJ! |
- |
вероятность захвата электрона, дырки |
|||
|
|
::е - |
длина; толщина слоя объемного заряда |
|||
|
|
L - |
длина; диффузионная длина; длина затягивания |
|||
L n , |
L p |
- |
длина диффузии электронов и дырок |
|||
|
|
l |
- |
длина свободного пробега; длина |
||
|
|
lэ - |
длина экранирования |
|||
|
|
М - |
масса ядра; масса атома (иона) |
|||
|
то - |
масса свободного электрона |
||||
|
т* - |
эффективная |
масса |
носителя заряда |
||
т~, |
т; - |
эффективная |
масса |
электрона, дырки |
||
mdn • mdp - |
эффективная масса плотности состояний электронов. дырок |
|
|
N - |
плотность квантовых состояний; концентрация |
N a • |
Nd - |
концентрация акцепторов и доноров |
Nc• |
N v - |
эффективная плотность состояний в зоне проводимости. валентной |
зоне
Nt -
N -
;;: - n -
Па. nd -
ПО -
концентрация ловушек захвата
плотность фононов
плотность поверхностных состояний
неравновесная концентрация электронов; квантовое число
концентрация электронов на акцепторной. донорной примеси
равновесная концентрация электронов
П! - |
собственная |
концентрация носителей заряда |
п - |
комплексный |
показатель преломления |
ii - |
показатель преломления среды |
|
р. р - |
импульс электрона; поляризуемость среды; вероятность перехода |
|
Р. Р - |
квазиимпульс носителя заряда |
|
Р - |
неравновесная концентрация дырок; показатель степени |
|
Ра. Pd - |
концеитрация ионизованной акцепторной. донорной примеси |
|
Ро - |
равновесная |
концентрация дырок |
П - |
коэффициент Пельтье |
|
О. Q - |
квазиимпульс решетки; объемный заряд; полный заряд; коли |
|
|
чество тепла |
|
Qss - |
поверхностный заряд |
|
q.q - волновой вектор фонона; модуль волнового вектора фонона
R. R, г. г - радиус-вектор
R - сопротивление; |
коэффициент |
Холла. скорость рекомбинации; |
|||
|
|
коэффициент отражения |
|
||
Q8P - |
объемный заряд в приповерхностной области полупроводника |
||||
R~. R!! - |
плотность равновесного излучения. поглощения |
||||
г. г - |
радиус-вектор электрона |
|
|||
s - |
площадь; скорость поверхностной рекомбинации |
||||
т |
- |
температура; время; кинетическая энергия; период; пропускание |
|||
t |
- |
время |
|
|
|
и |
- |
потенциальная энергия; разность потенциалов |
|||
U - |
смешение |
|
|
||
Uv - |
плотность излучения |
|
|||
V - |
потенциал кристаллической решетки; объем кристалла |
||||
VB - |
объем зоны Бриллюэна |
|
|||
v. v - |
дрейфовая скорость |
|
|||
ио - |
средняя |
скорость теплового движения |
|||
VD - |
диффузионная скорость |
|
|||
Vд - |
скорость |
домена |
|
|
|
V'B - |
скорость |
звука |
|
|
|
игр - |
групповая скорость |
|
|||
Vф - |
фазовая |
скорость |
|
||
W - |
поток тепловой |
энергии |
|
||
W - |
вероятность |
|
|
||
w - |
энергия |
активации |
|
||
у - |
безразмерный поверхностный |
потенциал |
|||
а - |
термический коЭффициент сопротивления; коэффициент ударной |
||||
~ - |
ионизации; удельная термо-ЭДС; коэффициент поглощения |
||||
температурный |
коЭффициент; |
коэффициент квазиупругой силы; |
|||
у - |
квантовый выход |
|
|||
коэффициент рекомбинаl\ИИ; коэффициент ПРОПОРЦИОllальности |
|||||
tJ.n, tJ.p |
- |
концентрация избыточных электронов. дырок |
|||
tS |
- |
относительное изменение энергии; дельта-функция; толщина тун |
|||
|
|
нельного барьера |
|
||
8" 80 |
- |
относительная диэлектрическая проницаемость среды; электри |
|||
|
|
ческая постоянная |
|
||
ТJ |
- |
п риведенный уровень Ферми; |
импульс фотона |
||
5
в-температура Дебая; угол
|
{} - |
угол |
|
|
|
|
Х - |
теплопроводность |
|
||
Хе, XL - |
электронная, решеточная теплопроводность |
||||
|
1. - |
длина волны |
|
||
ft. |
ftd |
- |
дрейфовая |
ПОДВИЖНОСТЬ носителей заряда |
|
/1n, |
ftD |
- |
амбиполярная диффузионная ПОДВИЖНОСТЬ |
||
ftp |
- |
ПОДВИЖНОСТЬ электронов, |
дырок |
||
ftg |
- |
амбиполярная дрейфовая |
подвижность |
||
ftr. |
/1н - |
холловская fЮДВИЖНОСТЬ носителей заряда |
|||
/10 |
- |
относительная магнитная проницаемость среды; магнитная по- |
|||
|
v - |
стоянная |
|
|
|
|
частота; постоянная спада |
||||
|
~ - |
уровень Ферми, отсчитанный от Ее; химический потенциал |
|||
|
р - |
удельное сопротивление; линейная плотность; объемный заряд |
|||
|
<J |
- |
удельная проводимость; эффективное сечение |
||
|
1" |
- |
среднее время свободного пробега; время релаксации; постоянная |
||
|
|
|
времени; |
время жизни |
|
'{n. |
'{р - |
время жизни электронов, дырок |
|||
|
't'J.L - |
время релаксации Максвелла |
|||
|
'{т - |
коЭффициент Томсона |
|
||
|
<р - функция; |
угол; угол Холла; потенциал; контактная разность |
|||
|
Ф - |
потенциалов |
|
||
|
функция; |
работа выхода |
|
||
|
Х - |
энергия сродства к электрону; работа выхода; показатель погло- |
|||
|
'I' - |
щения |
|
|
|
|
функция; |
поверхностный |
потенциал |
||
|
ю - |
угловая частота |
|
||
|
юс - |
циклотронная частота |
|
||
ГЛАВА ПЕРВАЯ
ПОЛУПРОВОДНИI(И.
ЭЛЕМЕНТАРНАЯ ТЕОРИЯ ЭЛЕI(ТРОПРОВОДНОСТИ
1.1. КЛАССИФИКАЦИЯ ВЕЩЕСТВ
ПО УДЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОВОДИМОСТИ.
ПОЛУПРОВОДНИКИ
Все вещества по электрофизическим свойствам могут быть раз делеl'!Ы на три больших класса: металлы, полупроводники и диэлек
трики. Наиболее просто, казалось бы, классифицировать вещества
по удельному электрическому |
сопротивлению |
р. |
У металлов |
оно |
|
находится в пределах 10-6-;..-10-4 |
Ом· см (например, |
для серебра |
при |
||
комнатной температуре |
р = 1,58·10-6 Ом· см, |
для сплава нихром |
|||
р = 1,05·10-4 Ом· см). |
Вещества с удельным |
сопротивлением |
от |
||
10-4 до 1010 Ом,см были отнесены к полупроводникам (например,
удельное сопротивление сернистого кадмия при комнатной темпе
ратуре в зависимости от технологии его изготовления лежит в пре
делах от 10-3 до 1012 Ом· см, германия от |
10-4 до 47 Ом· см, а крем |
ния от 10-4 до 2,5·105 Ом· см). Наконец, |
вещества с удельным со |
противлением более 1010 Ом· см являются диэлектриками (например,
при |
200 ос |
дЛЯ |
слюды |
в |
зависимости от ее состава р = 1013-;..- |
1016 |
Ом· см, |
для |
стекла |
р = |
108-;..-1015 Ом·см). |
Из приведенных примеров следует, что при переходе от одного
класса вещества к другому значения удельного сопротивления пере
крываются. Поэтому значения удельного сопротивления не могут
служить в качестве однозначного критерия для классификации
веществ. Как следует из рис. 1.1 и 1.2, металлы и полупроводники
имеют различного вида температурные зависимости удельного со
противления и удельной электрической проводимости. У металлов
с ростом температуры р увеличивается пропорционально абсолют
ной температуре Т, т. е.
|
р = (10 (1 +at) = ~: |
Т, |
(1.1) |
где Ро - удельное |
сопротивление данного металла при О ОС; а |
||
температурный коэффициент сопротивления, |
равный 1/273; То = |
||
= 273 К. |
как следует из рис. 1.2, |
|
|
Для металлов, |
а, |
характерным является |
|
наличие отрицательного температурного коэффициента удельной электрической проводимости.
7
::Е
'-'
i 0,10
с>
-<t,-
~ ~05~~--~~-+-
cr.
300
::Е 10 31----f------- |
J----- |
,,,IL-I--I |
(J |
|
|
10о)
о0,004 0,008 1/Т,К'!
Рис. 1.1. Зависимость удельного сопротивления металлов (а) и кремния (6) от
температуры
у полупроводников характер температурной зависимости удель ного сопротивления и проводимости иной, для некоторого интер·
вала температур они определяются зависимостями вида:
p=poe~/T; |
(1.2) |
с1 = С10гВ/Т, |
(1.3) |
где Ро, С10, ~ - некоторые постоянные для данного интервала тем·
ператур, характерные для каждого полупроводникового вещества.
Такие зависимости удельного сопротивления и удельной прово
димости от температуры имеют так называемые н е в ы р о ж Д е н
н ы е п о л у про в о Д н и к и. У них согласно рис. 1.2, б тем
пературный коэффициент удельной проводимости положитель
ный, т. е.
Казалось бы, что теперь вопрос о различии полупроводников
и металлов решен знаком температурного коэффициента удельной
проводимости. Одню{о выбор его в качестве определяющего крите
рия осложнен тем, что в некотором интервале температур полупро
водник может вести себя подобно металлу. Поэтому по знаку тем·
с::>Е |
0,.1 |
|
|
+1I i |
|
|
|
||||
|
|
|
|||
", |
0,2 |
|
|
|
|
fj |
|
|
|
|
|
,\8 |
61 |
|
|
|
I |
'" |
|
|
|
I |
|
|
|
|
|||
~ |
|
|
|
I |
! |
\Q 0,1 |
|
|
|
|
|
|
б2 |
|
|
|
|
о
а)
/00 50 30 Т., К
1 |
|
~ |
|
|
\ |
|
|
\ |
|
|
|
|
|
|
\ |
|
|
|
|
~ |
|
|
|
10·6 |
|
|
|
I}' |
|
|
0,02 Т. ;К" |
||||
О |
|||||
|
|
15) |
|
|
|
пературного коэффициента
удельной проводимости не
всегда можно установить
принадлежность вещества
кклассу полупроводни
ков.
Ответить на этот во
прос можно, если просле
дить, как изменяется про
водимость вещества при
понижении температуры.
Как следует из рис. 1.2, а,
Рис. 1.2. Зависимость удельной ПРОВОI\ИМОСТИ свинца (а) и крем
ния (6) от температуры
8
сПОllижением температуры удельная проводимость металлов рас
тет, что возможно лишь потому, что в металле независимо от тем
пературы всегда имеются свободные электроны. У полупроводни ков, наоборот, удельная проводимость уменьшается при пони жении температуры (рис. 1.2, б). Из этого следует, что в полу
проводнике свободные носители заряда I30зникают в результате
теплового возбуждения. Эти носители заряда называют т е п л 0- в ы м и или р а в н о в е с н ы м и. Опыт показывает, что появле ние свободных носителей заряда в полупроводнике имеет место также при ОСI3ещении, облучении ядерными частицами. Возникающие
в этих случаях носители заряда принято называть н е р а в н о
в е с н ы м и. Процесс образования как равновесных, так и неравно
весных носителей заряда очень сильно зависит от структуры полу
проводникового материала и наличия в нем примеси.
Следовательно, полупроводники - это такие материалы, кото рые при комнатной температуре имеют удельную проводимость
в интервале от 10-10 до 104 OM-1.CM-1, зависящую в сильной степени от структуры вещества, вида и количества примеси и от внешних
условий: температуры, освещения, облучения ядерными частица},щ
электрического и магнитного полей.
Существует, как известно, два типа проводников электрического тока: электронные и ионные. Металлы - электронные проводники. у ионных проводников ток переносится ионами вещества, вслед
ствие чего состав ионного проводника меняется при прохождении
через него электрического тока. Типичные представители ионных
проводников - электролиты.
Полупроводниковые вещества также могут быть как электрон
ными, так и ионными. В данной книге будут рассмотрены физиче
ские свойства только электронных полупроводников.
К электронным полупроводникам относится огромное количе
ство самых различных веществ. Полупроводниками являются как простые вещества: бор В, кремний Si, фосфор Р, сера a-S, германий
Ge, мышьяк As, серое олово a-Sn, сурьма ~-Sb, селен Se, теллур Те,
так и многие сложные химические соединения. В качестве примера
в табл. 1.1 приведены некоторые соединения элементов периодиче
ской системы Менделеева (рис. 1.3), обладающие полупроводнико выми свойствами. В таблице указаны кристаллическая структура,
постоянная решетки и другие характеристики этих важнейших
полупроводников.
Кроме неорганических веществ п()лупр()нодникоными снойст вами обладают также и некоторые органические вещества, такие как фталоцианины и полициклические ароматические углеводороды (например, бензол, нафталин, антрацен, нафтацен, коронен и др.).
Особенности электрофизических свойств полупроводников обу
словили их широкое применение для создания самых различных
приборов. Полупроводниковые приборы используются для выпрям
ления переменного тока (диоды), преобразования или смещения
частот, усиления и генерации электрических колебаний (транзи
сторы, СВЧ-диоды, диоды Ганна, лавинно-пролетные диоды, тун-
9
