Заключение

В данной работе мною затронуты лишь несколько фундаментальных методов исследования поверхности твердых образцов, такие как рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, оже-электронная спектроскопия, вторичная масс-спектрометрия, дифракция медленных электронов и сканирующая туннельная микроскопия. Они являются лидерами по популярности и информативности среди всех методов анализа поверхности и, с другой стороны, могут быть гармонично объединены в рамках общего высоковакуумного комплекса.

Дальнейшее развитие методов фотоэлектронной спектроскопии и дифракции видится в нескольких направлениях:

• Повышение латерального и углового разрешения РФЭС УР-спектроскопии;

• Использование в лабораторных спектрометрах нескольких монохроматизированных рентгеновских источников с разными энергиями возбуждения (от ультрафиолета до 5-8 кэВ);

• Использование жесткого рентгеновского излучения синхротронных источников для проведения экспериментов РФЭС с угловой зависимостью и РФД;

• Программное обеспечение для расчетов фотоэлектронной дифракции и фотоэлектронной голографии;

• РФЭС и РФД – эксперименты при экстремально низких температурах;

• Повышение скорости РФД-эксперимента.

ВСТМ-микроскопии видятся следующие перспективы:

• Эксперименты при низких (гелиевых) температурах;

• Программное обеспечение для атомной сборки на поверхности;

• Новые материалы для зондов;

• Сопутствующее оборудование для подготовки поверхности и росту поверхностных структур;

• Развитие многозондовой СТМ-микроскопии;

В целом, можно предположить, что будут строиться высоковакуумные комплексы, сочетающие в себе методы осаждения твердотельных материалов и исследование новых материалов спектральными, дифракционными и микроскопическими методами[1].

Список использованных источников

1. М.В.Кузнецов «Современные методы исследования поверхности твердых тел: фотоэлектронная спектроскопия и дифракция, СТМ-микроскопия», институт химии твердого тела УрО РАН, Екатеринбург, 2010, 43 с.

2. Сканирующая зондовая микроскопия, спектроскопия и литография. Учебное пособие, 2008.

3. Осьмушко И. С., ВовнаВ. И., Короченцев В. В. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия твёрдых тел: теория и практика: Учебное пособие. Владивосток: Изд-во Дальневост. ун-та, 2010. 42 с.

4. Карлсон Т. Фотоэлектронная и оже-спектроскопия, пер. с англ., Л., 1981

5. Брандон Д., Каплан В. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. — М.: Техносфера, 2006. — 384 с.

6. Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / Под ред. В. И. Сергиенко. — М.: Наука, 2006. — 490 с.

7. Гусев А.И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. — М.: Физматлит, 2007. — 416 с.

21