11. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:

а) основная литература:

1. Светцов, В. И, Смирнов, С. А. Корпускулярно-фотонные процессы и технологии.Иваново, 2009. 276 с. (80 экз.)

2. Аброян, И.А., Андронов, А.Н., Титов, А.И. Физические основы электронной и ионной технологии  .— М.: Высш. шк., 1984  .— 320с. (52 экз.)

3. Вендик, О.Г., Горин, Ю.Н., Попов, В.Ф. Корпускулярно-фотонная технология  .— М.: Высш. шк., 1984  .— 240с. (10 экз.)

4. Попов, В.Ф., Горин, Ю.Н. Процессы и установки электронной технологии  .— М.: Высш. шк., 1988  .— 255с. (1 экз.)

б) дополнительная литература:

1. Дьюли, У. Лазерная технология и анализ материалов  .— М.: Мир, 1986  .— 504 с. (2 экз.)

2. Методы нанолитографии : достижения и перспективы : [моногр.] / Г. С. Константинова [и др.]. - Ростов н/Д : Терра-принт, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр. : с. 110-111. (1 экз.)

в) программное обеспечение

• СИСТЕМНЫЕ ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА: Microsoft Windows XP, Microsoft Vista

• ПРИКЛАДНЫЕ ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА: Microsoft Office 2007, MozillaFireFox

• СПЕЦИАЛИЗИРОВАННОЕ ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ: СДО Moodle, SunRAVBookOfficePro, SunRAV TestOfficePro.

Электронные учебные ресурсы:

- тренировочные и контрольные тесты по каждому модулю http://edu.isuct.ruв категории ТПиМЭТ;

- Автономный гипертекстовый электронный учебник http://plasma.isact.ru/book/kft/ (доступен только из локальной сети университета);

- Текст лекций с контрольными вопросами для самопроверки, задачами для практических занятий и глоссарием в электронном учебнике СДО ИГХТУ Moodlehttp://edu.isuct.ruкатегория ТПиМЭТ.

г) базы данных, информационно-справочные и поисковые системы:

- база данных по технологическим установкам литографии, ионной имплантации, электронно-лучевого испарения, вакуумно-плазменного травления, окисления http://plasma.isact.ru (доступена только из локальной сети университета).

12. Материально-техническое обеспечение дисциплины (модуля)

Лекции по дисциплине проводятся в аудитории, оснащенной видеопроектором. Практические занятия проводятся в дисплейном классе кафедры (11 ПЭВМ типаPentium4).

Программа составлена в соответствии с требованиями ФГОС ВПО с учетом рекомендаций и ПрООП ВПО по направлению и профилю подготовки.

Автор (Смирнов С.А.)

Заведующий кафедрой (Светцов В.И.)

Рецензент (ы)

(подпись, ФИО)

Программа одобрена на заседании научно-методического совета факультета неорганической химии и технологии ИГХТУ от «_____» ________ 201__ года, протокол № ____.

Председатель НМС _______________ (ФИО)

17