Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги / Микроструктуры интегральной электроники

..pdf
Скачиваний:
3
Добавлен:
12.11.2023
Размер:
20.63 Mб
Скачать

33. Shannon J. M. Increasing the Effective Height of a Schottky Barrier Using Low-energy Ion Implantation//Appl. Phys. Letts. — 1974,—Vol. 25, Mb i._

P.75—77.

34.Твердофазная эпитаксия p-Si на поверхности n~Si в контактах Al-n-Si со структурами Al-Si02-w-Si по краям/Е. В. Бузанева, А. П Ветров, Ю. Г. Мун-

тян

и др.//Электронная

 

техника. — Сер.

3.

Микроэлектроника. — 1986 —Выл.

2 -

С. 69—92.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

35. О физической модели структур металл-р+-/г-кремний с радиационными

дефектами в кремнии/Е. В. Бузанева, А. Д. Вдовиченко,

В. Г Левандовский и

др.//Электронная

техника

Сер 2

Нол\проводниковые

 

приборы — 1983 —

№ 6 — С 102—111.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

36. Бузанева

Е. В.,

Левандовский

В. Г.,

Стриха В. И. Инжекция

в кон-

1 актах

металл-тонкий р+-слой-полупроводни^/Радиотехника

и электроника —

1985 — Вып. 7. — С 1403—1408.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

37. Моделирование

электрофизических

характеристик

структур металл-р+-

слой-п-полупроводник

с

неоднородным

по

толщине р+-слоем/Е. В. Бузанева,

А

II

Ветров, В

Г. Левандовский и

др//Электронная техника. Сер. 2. Полу

проводниковые приборы.— 1985. — Вып. 4 —С. 31—36.

 

 

 

 

38

Влияние концентрации примесей в n-Si на Bbicoiy барьера и иарамсгры

ВАХ контактов Al-p+-n-Si с барьером Шотки/Е

В. Бузанева, T. II. Трайнис,

В

А

Хрусталев

и др//Электронная

техника

Сер. 3.

Микроэлектроника,—

1986 — Вып. 4 — С. 14—22

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

39

Woodcoch J. М., Shannon J. М. Thermoionic Emission in Bulk Unipolar

Camel

Diodes//Appl. Phys. Letts. — 1984. — Vol. 48, № 8 — P. 876—878.

 

40. Изменение свойств поверхности кремния при электрохимической имплан

тации

сурьмы/Е. В. Бузанева, Г А

Зыков,

3

С

Саган//Поверхность. — Физи­

ка, химия, механика. — 1983.—№ 5.---С. 156—158.

 

 

 

 

 

41

Паничевская В. И., Бузанева Е. В., Осипов А. В. Спектр поверхност­

ных состояний и

механизм

переноса

тока

в

напыленных

контактах

металл-

кремний с барьером Шотки//Полупроводниковая техника и микроэлектроника —

1977, — Вып. 26 — С. 9—15

 

42. Исследование реальной поверхности д-кремния (III) с адсорбированным

гадолинием методом растровой оже-электронной

спектроскопии/Е. В. Бузайева,

А А Вдовенков, Т А

Вдовенкова и др //Поверхность. Физика, химия, механи­

ка — 1985. — Кя 10.- С

56—63

 

43 Физико-химические свойства окисленной поверхности поликристалличе-

ского п-CdTe/E. В. Бузанева, Е В. Винник, С. С

Кильчицкая и др.//Изв вузов

СССР. Сер Физика — 1986. — № 9. — С 118—121.

 

44 Шека Д. И., Воскобойников А. М., Стриха В. И. Поверхностные состоя­

ния и поверхностный заряд в структуре металл-промежуточный слой-полупровод-

ник//Тр Всесоюз конф. по физике

полупроводников. — Баку, 1982 —Т. 2. — С.

296—297.

 

 

 

 

на

45. Бузанева Е. В., Ильченко В. В. Стриха В. И. Электронные состояния

границе раздела

в изотипных

р-р-гетеропереходах кремний — дисилицид

рения//Тр. II Всесоюз. конф. по физическим процессам в полупроводниковых

гетероструктурах —Ашхабад- Ылым, 1978 —Т. 2. — С. 46—48

 

ток

46 Бузанева Е. В., Ильченко

В. В, Стриха В. И. Туннельно-резонансный

в контактах металл-кремний,

легированный палладием//Изв вузов СССР.

Сер

Физика. -- 1982 — № 3. — С. 76—79

V. К. Surface States in

 

47 Tupenevich Р. A., Buzaneva Е. V., Kononenko

In-ZnTe Structures//Proc. Intern. Centre for Theoretical

Physics

—Trieste, Italy,

1984.— P. 2-6.

высоты потенциального барьера

области

пространственно­

 

48. Определение

го заряда в полупроводнике с инверсионным изгибом зон для структур ме­

талл— тонкий диэлектрик — полупроводник/Е. В.

Бузанева,

В Г.

Левандов­

ский, В. И Стриха, А. А Шумило//Поверхность

Физика,

химия,

механика.—

1984 — Т 1, —С 84—88.

49. On the Temperature Dependenc of the Mott-Schottky Characteristics of High Barrier Ti-p-Si Metal-Insulator-Semiconductor Diodes/D. U. Lootens, P. L.

Hanselaer, W H

Laflere et al//J. Appl.

Phys. -

1987. —Vol 61,

Ab

6. ~ P ,

2277—2281.

 

 

 

 

 

 

50 Теоретические и экспериментальные исследования физической

модели

гетероструктур

с

многофазным переходным слоем на CdTe/B.

И

Стриха,

Е В. Бузанева,

В. Г. Левандовский и др.//Тр. IV

Всесоюз. конф. по

физиче­

ским процессам

 

в полупроводниковых

гетероструктурах. — Ч.

2. —Минск*

1986, —327 с.

 

 

 

 

 

 

51. Варламов И. В.. Вьюков Л. А. Особенности вольтфарадной характеристи­ ки варизонных МДП структур//ФТГ1 — 1987. — Т. 21, Вып. 6.—С. 1043—1046.

52 Frantsuzov A. A, Okhonin S. A., Pogosov A. G. The Influence of Quan­ tization of Si in Strong Accumulation//Phys. Stat. Solidi (b). — 1986.—Vol. 136, Ab 1.--P. 241—249.

53 Левин E. И., Монахов A. H., Рогачев А А. О возможности немонотон­ ного хода потенциала в аккумуляционном слое//ФТП. — 1988. — Т, 22, вып. 3.— С 450—454

54. Литовченко В. Г. Основы

физики полупроводниковых слоистых сис­

тем — Киев Пашкова думка, 1980.

-282 с.

 

55 Бузанева Е. В., Лобарев Е. Н., Стриха В. И. Физические процессы

в

структ>рах металл-тонкий диэлектрик-полупроводник с барьером Шогки

и

возможные применения их в устройствах микроэлектроники//Полунроводиико-

вая техника и микроэлектроника

1978.--Вып.

27. — С

50—59.

 

56. Теоретическое и экспериментальное исследование контактов металл-тои-

кий диэлекгрик-низкоомный арсенид галлия/В. И. Стриха,

Е В.

Бузанева*

Г В. К>знецов, Г. Д 11опова//Полупроводниковые

приборы с барьером Шот-

ки —Киев. Наукова думка, 1979.—С

197 -203.

А. А. Исследование

туннели­

57 Охонин С. А., Погосов А. Г.,

Французов

рования электронов в МОП структурах в области перехода or трапецеидаль­

ного барьера к треуюлыюму//ФТП.— 1988. — Т

22, вып. 5. — С

811—814.

by

5<8. Maserjian

J., Zamani N Behavior of the

Si/Si02 Interface

Observed

Fowler-Nordheim

Tunneling/'J. Appl Phys. — 1982.

—Vol. 53, Ab

1.—P. 559—

567.

 

 

меняющийся во времени

по­

59 Кузнецов В. С. Прохождение частиц через

тенциальный барьер//Письма в ЖТФ.— 1988. — Т. 14, вып. 6. — С 502—506.

60.

Осцилляция

туннельной проводимости

структур

p-Hgi_xCdxTe-Al203-Pb

в магнитном поле/Г

М Миньков, О Э. Рут, А. И. Луканин, В. В. Кружаев//

ФТТ — 1982. - Т 24, вып. 2. — С 356—364.

Нинидзе Г. К. Колоколообразные

61

Добровольский В. Н., Жубаев С. Т.,

C-U характеристики и отрицательная дифференциальная

проводимость МТДП

структур//Письма в ЖТФ — 1988 — Т. 14, вын. 5. — С.

400—404.

62.

Кильчицкая

С. С. Фотоэлектрические

явления в

контакте металл — по­

лупроводник при учете диэлектрического зазора и поверхностных состояний// Полупроводниковая техника и микроэлектроника.— 1978. — Вын. 27. — С. 43— 49.

63. Лихарев К. К. О возможности создания аналоговых и цифровых схем на основе эффекта дискретного одноэлектронного туннелирования//Микроэлекгроника — 1987. —Т. 16, вып. 3. — С. 195—209.

Likharev К. К. Correlated Discrete Transfer of Single Electrons in Ultia-

small Tunnel Junctions//IBM J. Res.

&

Devel. — 1988. —Vol. 32, № 1. — P.

144—158.

 

 

64. Farmer К. K., Rogers С. T., Buhrman R. A. Localized State Interactions

în Metal-Oxide-Semiconductor Tunnel

Diodes//Phys. Rev. Letts. — 1987.—Vol, 58,

No 21.— P. 2255—>2257.

 

 

65. Maserjian J., Zamani N. Observation of Positively Charged State Genera­

tion Near the Si/Si02 Interface During

Fowler — Nordheim Tunneling//J. Vac.

Sci. Technol. — 1982. — Vol. 20, Ab 3. — P. 743—748.

66 Judd T., Couch N. R., Béton P. H. Observation of Discrete Resistance Le­ vels in Large Area Graded-Gap Diodes at Low Temperatures//Appl Phys.

Letts. — 1986. —Vol. 49, Ab 24, — P. 1652—1654.

67 Cochran S. P., Gustafson T. K. The Optoelectronic Response of a MIStype Tunnel-emitter Transistor//Solid State Electron.— 1988. — Volta 31, № 5.—

P.863—872.

68.Schewchun J., Green M. A., King F. D. Minority Carrier MIS Tunnel Diodes and Their Application to Electron and Photovoltaic Energy Conversion// Solid State Electron. — 1974. -Vol. 17, Mb 6.— P. 563-572.

69 Шик А. Я. Сверхрешетки — периодические

полупроводниковые структу-

рыу/ФТП — 1974. — T. 8, вып 10. — С. 1841—1864.

 

70. Силин А. П. Полупроводниковые сверхрешеткн//УФН.— 1985. — Т. 147,

вып 3, — С. 485—522.

 

71. Елинсон М. И., Петров В. А. Электрооптические эффекты в стр}кт>рах

' кванюными ямами//Микроэлектроника - 1987

- Т 16, вып 6 —С 522--

532.

 

72Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки■Пер с англ. — М: Мир, 1989.-207 с.

73Андрюшин Е. А., Быков А. А. От сверхрешеток к сверхагомам//УФН.—

1988 — Т. 134, вып 1. —С. 123—131.

74. Кононенко В. К. Оптические свойства гстеросгруктур с квантово-раз­

мерными слоями. —Препринт—Минск, 1987. —52 с —(Ин-т физики АН

БССР,

Mb 492).

Dopan-

75* Schubert Е. F., Harris T. D., Cunningham J. Е. Minimization от

tinduced Random Potential Fluctuations in Saw-tooth Doping Superlatiices//AppL

Phys Letts.— 1988. — Vol

53, № 22. —P. 2208—2210.

 

 

 

 

сис­

76. Андо T., Фаулер А., Стерн Ф. Электронные свойства дв)мерных

тем — М.. Мир, 1985. — 415 с.

From

InGaAs/InP

Qm

i a

W **cs

77. Low Temperature

Photoluminescence

and Boxes/H Temkin, G.

J Dolan, M B Patiish

et

a l//Appl

Ph>s.

Leu* —

1987 — Vol. 50, Mb 7. — P

413—415.

Ultrafine

Mesa*etched

Single

and

One-dimensional Electronic Systems in

Multiple Quantum Well Wires/T. Demel, D

Ilcitman,

P Granbow,

К

Ploog//

Appl. Phys. Letts — 1988 — Vol. 53, Mb 22. — P. 2176-2178

 

 

 

 

78 Spatial Quantization in GaAs-AlGaAs

Multiple Quantum Dots/M. A. Re­

ed, R. T

Bate, K. Bradshaw et al.//J. Vac.

Sci.

Tcchnol — 1986 — Vol

B4,

Mb L — P

338-360.

 

 

 

 

 

 

 

 

Observation of Discrete Electronic States in a Zero-dimensional Semiconduc­

tor Nanostructure/M. A. Reed, J. N. Randall,

R. J. Aggarwall et al.//Phys. Rev.

Letts. — 1988. — Vol. 60, Mb 6. — P. 535—537.

 

 

 

 

 

 

 

79. Определение высоты потенциального барьера в гетеропереходах с дву­ мерным электронным газом/Д. В. Галченков, И. М. Гродненский, И. И Заса^ вицкий и др.//ФТП. — 1987. — Т. 21, вып. 8. — С. 1522—1524.

80. Мартисов М. Ю., Шик А. Я. Электрон-электронное взаимодействие и межуровневые переходы в двумерных электронных системах//ФТП. — 1987. — Т. 21, вып. 8. —С. 1474—1479.

81.

Ридли Б. Квантовые процессы в

полупроводниках. — М . Мир, 1986 —

304 с.

 

 

 

82.

Магарилл Л. И., Романов П. А.,

 

Шик А. Я. Межзонная люминесценция

квантовых гетероструктур//ФТП.— 1987.

— Т. 21, вып. 3 —С. 404—410.

83.Electric Field Dependence of Optical Absorption Near the Band Gap of Quantum Well Structure/D. A. Miller, D. S. Chemla, D. F. Eilenberger et al.// Phys. Rev. Ser. B. — 1985. —Vol. 32, Mb 2 — P. 1043—1046.

84.Маргулис А. Д., Маргулис Вл. А. Спиновая релаксация в квазидвумер-

ной электронной системе//ФТТ.— 1986. — Т. 28, вып. 7. — С. 2097—2103.

85. Козырев С. В., Шик А. Я. Захват и рекомбинация неравновесных но­ сителей в структурах с квантовыми ямами//ФТП.— 1988. — Т. 22, вып. 1.— С. 105—111.

86 Hassan H. H., Spector Н. N. Interband Optical Absorption in Thin Se­ miconducting Quantum Well Wires//J. Vac. Sci. & Technol.— 1985». — Vol. 3, Mb 1. — P. 22—28.

87. Variational Calculations on a Quantum Well in an Electric Field/G. bas­

tard, E, E Mendez, L. L. Chang ее al.//Phys. Rev. Ser. B. — 1983. —Vol 28, Ms 6 — P. 3241—3246.

88.Tsu R., Esaki L. Tunneling in a Finite Superlattices//Appl. Phys. Letts.— 1973. — Vol. 22, Ms 11. —P. 562—564.

89.Tarep А. С. Размерные квантовые эффекты в субмикронных полупро­

водниковых структурах и перспективы их применения

в

электронике

СВЧ.—

Ч. I. Физические основы//Электронная техника.

Сер.

Электроника

 

СВЧ.—

1987. — Вып. 9. —С. 21—34. То

же.—Ч. II. Резонансно-туннельные

диоды

и

транзисторы//Там же — 1988 — Вып. 2. — С. 17—33

 

 

 

Resonant

90. Coon D. D., Liu Н. С. Frequency Limit

of Double Barrier

Tunneling

OscilIaeors//Appl. Phys

Letts — 1986 —Vol

 

49, Ms 2 - - P .

94—96

91. Resonant Tunneling Through Quantum Well at Frequencies up to 2.5

THz/T. C. Sollner, W. D. Goodhue, P. E. Tannenwald et

aI.//Appl. Phys

Letts.—

1983 — Vol. 43, М2 10 — P 588—590.

 

 

 

 

 

 

 

 

92 Excellent Negative Differential Resistance of InAlAs/InGaAs Resonant

Tunneling Barrier Structures Grown by MBE/T. Inata,

S. Muto, Y

Nakata

et

al.//Jap

J. Appl. Phys. — 1986. —Vol. 25, N

12.— P.

 

L983—L985

 

 

 

93. Liu H. C. Tunneling Time Through Heterojunction

Double Barrier Dio-

des//SuperIattices and Microstructures. — 1987.—Vol. 3,

Ms 4. —P. 379—382.

 

94. Summer C. J., Branner K. F. Variably

Spaced

Superlattice — Energy Fil­

ter, a New Device Design Concept for Highenergy Electron

Injection//Appl

 

Phys Letts. — 1986. — Vol. 48, Ms 16. — P. 806—808.

 

 

 

 

 

 

95. Importance of Space-Charge Effects in Resonant Tunneling Devices/M.

Cahoy, M McLennan, S. Datta

et al.//Appl.

Phys.

 

Letts. — 1987. — Vol.

Б0,

Mo 10. —P. 612—614

 

 

 

 

 

 

 

 

 

96. Aishima A., Fukushima Y. Negative Resistance in a Finite Superlattice

Owing

to

Quantum Mechanical

Reflection//J.

Appl.

Phys. — 1987. —Vol.

61,

Mo 1.—P

248—256.

 

 

 

 

 

Superlattice

Barrier

Reed M. A., Lee J. W. Resonant Tunneling in Double

Heterostructures//Superlaetice and

Microstructures. — 1987.—Vol. 3,

Ms

1. — P.

111—116

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

97. Новые нелинейные высокочастотные эффекты и ОДП S-типа в много­ слойных гетероструктурах/А. М. Белянцев, А. А. Игнатов, В. И. Пискарев и др //Письма в ЖЭТФ.— 1986. —Т. 43, вып. 7.—С. 339—341

98

Proposed

Structure for Large

Quantum

Interference Effects/S Datta,

M. R.

Melloch,

S. Bandyopadhyay et

al.//Appl.

Phys. Letts.— 1986. —Vol. 48,

Ms 7. —P 487—489.

Bandyopadhyay S., Datta S., Melloch M. R. Aharonov-Bohm Effect in Semi­ conductor Microstructures: Novel Device Possibilities//Superlat. and Microstruct.—

1986 —Vol

2, Ms 6 — P. 539—542.

99. Le

H. Q., Layhowsky J. J., Goodhue W. D. Stark Effect in AUGaj-xAs/

GaAs Coupled Quantum Wells//Appl. Phys. Letts.— 1987.—Vol. 50, № 21. — P,

1518—1520

Collins R. T., Keitzing К. V., Ploog K. Photocurrent Spectroscopy of GaAs/ Al*Gai~aAs Quantum Wells in an Electric Field//Phys. Rev. Ser. B.— 1986.— 1987 — Vol EDL-8, № 7. — P. 297—299.

100 Resonant Tunneling Devices With Multiple Negative Differential Resis­ tance and Demonstration of Three-state Memory Cell for Multiple-valued Logic Applications/R. Capasso, S. Sen, A. Y. Cho et al//IEEE Electron Device Letts.— 1987 — Vol. EDL-8, Ms 7.— P. 297—299.

101. Sheard F. W„ Toombs G. A. Space-charge Buildup and Bistability in Resonant-tunneling Double-barrier Structures//Appl. Phys. Letts.— 1988. — Vol. 52, <№15. — P. 1228—1230.

102 Малов В. В., Лялина Е. В., Иогансен Л. В. Бистабильность резонанс­ ного туннельного тока электронов в конечной сверхрешетке с рассеянием// Письма в ЖЭТФ — 1988. —Т. 14, вып. 11. —С. 1019—1024.

103. Особенности использования полупроводниковых структур со сверхре­ шеткой в миллиметровом диапазоне волн/М. М. Кечнев, А. А. Костенко, Ю.А.

Кузнецов

и др.//Радиотехника

и электроника, — 1987. —Т.

32, вып.

2. —С.

410—415,

 

 

 

Tunneling:

104. Observation of a Negative Differential Resistance Due to

Through

a Single Barrier into

a Quantum Well/II G. Maro, J

Chen,

U

K. Red­

dy et al //Appl. Phys. Letts. — 1986. — Vol. 49, № 2. — P. 70—72.

Negative Differential Photoconductance in an Alternately Doped Multiple Quantum Well Structure/К. K. Choi, B. F Levine, C G Bethea el al //Appl. Phys. L e tts .-1988 — Vol. 5,2, № 23. —P. 1979-1981.

105. Liu H. C.t Aers G. C. Theory of the Vertical Transport Through One-, Two-and Three Dimensionally Confined Quantum Wells//Solid State Commun. — 1988.—Vol. 67, № 12 —P. 1131—1133.

106 Bastard G. Superlattice Baud Structure in the Envelope-Function Ap-

proximation//Phys.

Rev. Ser. В — 1981. — Vol.

24 —P

5693—5708.

 

Tran­

107. Altarelli

M. Electronic

Structure

and Semiconductor — Semimetal

sition in InAs-GaSb

Superlattices//Phys

Rev.

Ser.

B. — 1983. — Vol

28.— P.

842—849.

 

 

Strained

Superlattice//IIeterojunction

and

Semiconductor

108. Marzin J. Y.

Superlattices. Proc Winter School, Les Ilouches

France, Maich

1221,

1985 —

Berlin: Springer-Verlag — 1986 — P 161—176

 

 

 

 

 

 

 

 

109. Лобаев A. H., Силин А. П. Зонная cipyKiypa пилообразной свсрхре-

шетки//Кр. сообщ но

физике/ФИАН СССР.— 1985 --№

1.--С.

19—22

 

ПО. Sasaki A. Effective Mass Superlatticc//Phys. Rev. Ser. В — 1984. — Vol.

30, № 12. —P. 7016—7020.

G. H. Electronic

Structure

of

Semiconductors

with

Ill

Ruden P.t Dôhler

Doping

Superlattices//Phys

Rev. Ser. B.— 1983 —Vol. 27.—P. 3538—3543.

Ploog K., Dôhler G. N. Compositional and

Doping

Superlattice^ in

III —V

Semiconductors.//Adv.

Phys. — 1983. — Vol.

32,

3. — P.

 

255—2Г.1

 

 

112. Plasma Oscilla'tions in a Superlattîce/G

M. Shmelev, I. A. Choukovskii,

V. V. Pavlovich et al.//Phys. Stat. Sol. Ser. B. — 1977.—Vol. 82.— P 391—395.

113. Bloss W. L. Optic and Acoustic Plasmon Modes of a

Semiconductor

Superlattice//Sol. Stat.

Commun. — 1982. — Vol.

44,

№ 3. — P.

363—367.

114 Thelis A. C., Gonzalez de la Cruz G., Quinn J. J. Helicon Waves

in Se­

miconductor

Superlattices//Solid

State Commun. — 1983. — Vol

47. — P.

43—46.

115. Qin

G., Giuliani G< F.,

Quinn J. J. Acoustic Surface

Plasmons

in Type

II Semiconducting Superlattices//Phys. Rev. Ser.

B.— 1983. — Vol.

28. — P.

6144—6149.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Surface Modes of a Type II Semiconductor Superlattice/K. Yonashiro, T. Tomoyose, M. Yamashiro et al.//Phys. Stat. Sol. Ser. B. — 1988.—Vol. 147, № L—

P. 141—148.

 

 

116. Zhu Yun,

Huang Fengyi, Zhou Shîxun. Surface Collective Excitations

and Raman Intensity in a Semiconductor Superlattice Topped

with a Metal-in­

sulator Layer//Z.

Phys. Ser. B. — 1988.— Vol. 72, № 1. — P.

55—58.

117. Tselis A. C., Quinn J. J. Theory of Collective Excitation in Semiconduc­ tor Superlattice Structures//Phys. Rev Ser В — 1984 —Vol. 29 - - P 33Î 8 — 3335

118.Андрюшин E. А., Силин А. П. Экситоны в тонких полупроводнико­ вых пленках//ФТТ. — 1980 —Т. 22, вып. 9. — С. 2676—2681.

119.Говоров А. О., Чаплик А. В. Комбинационное рассеяние света в тун­

нельно-прозрачных сверхрешетках//ЖЭТФ.— 1988. — Т 94, вып, 12,—С. 251— 256.

120. Басс Ф. Г., Рубинштейн Е. А. Высокочастотные электромагнитные яв­ ления в полупроводниках с неквадратичным законом дисперсии носителей то- ка//ФТТ.—1977— Т. 19, вып. 5. —С. 1379—1384.

121. Игнатов А. А., Романов Ю. А. Самоиндуцированная прозрачность в полупроводниках со сверхрешеткой//ФТТ. — 1975. — Т. 17, вып. 11. —С. 3388— 3393

122 Павлович В. В., Энштейн Э. М. Нелинейная высокочастотная

прово­

димость сверхрешеток//ФТТ. — 1976. — Т. 18, вып. 5. — С. 1483—1489.

 

123Ignatov A. A., Shashkin V. L A Simplified Approach to Non-linear HF Response Superlatticc Theory of//Phys. Letts. Ser. A. --- 1983 - Vol. 94, № 3/4 — P. 169—172.

124.Игнатов А. А. Об увлечении электронов интенсивной электромагнит­

ной

волной в

полупроводниках

со сверхрешеткой//ФТТ. — 1980. — Т. 22, вып.

11 -

С. 3319—3323.

Ю. А. Нелинейные резонансные особенности

 

125 Орлов

Л. К, Романов

электрических характеристик сверхрешеток в условиях сильного мсжподзонного

туннелирования

электронов//ФТГ1 — 1985 —Т. 19, вып. 10. — С

1877—1881.

126 Луцкий

В. И, Каганов М. И., Шик А. Я. Кинетические

эффекты в

слоистых структурах, обусловленные квантующим магнитным иолем//Тез. 12-ю

Всесоюз

 

совещ. по 1еории полупроводников — Ереван, 1987.— С 181

127.

Rodrigues S., Camacho A., Quiroga L. Electrostatic and Magnetostatic

Modes in

Semiconductor Superlattices//Superlat. & Microstr.— 1987. — Vol. 3,

4 —P. 371—377.

128.Ortenberg M. van. Spin Superlattice with Tunable Minigap//Phys. Rev. Letts.— 1982 — Vol. 49, № 14. — P. 1041—1043.

129.Sun A., Bartholomew D. U., Ramdas A. K. Spin-flip Raman Scattering from Cdi_ хМпяТе: In Epilayers and Modulation-doped Cdj-sMn Ле/CdTe Super­

lattices Grown

by Photoassisted MBE//Phys. Rev. Ser.

B. — 1987.—Vol.

36,

№ 17 — P. 9358—9361

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

130. Datta S., Furdna J. K., Gunshor R. L. Diluted Magnetic Semiconductor

Superlattiec and

Hetcrostruclurcs//Superlat

and

Microstructures. — 1985 — \oI

1, № 4. — P. 327 -334.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

the

131. Watanabe H., loshita T. Electronic Structure and Various Types

Realization of the Supcratom//Optoelcctron

Dev. Tecnol — 1986 — \ol.

1. Лг°

L—

P. 33—38.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

132 loshita T., Ohnishi S., Oshiyama A. Electronic Structure of the Super­

atom: a Quasiatomic System Based on a

Semiconductor

 

Heterostructure//Phys.

Rev. Letts. — 1986 — Vol. 57, № 20. — P. 2560—2563

 

 

 

 

 

 

 

133, Photovoltaic Detection of Infrared Light in a GaAs/AlGaAs Superlat-

tice/A. Kastalsky. T. Duffield, S. G. Allen, J. Harbison//Appl.

Phys,

Letts. —

1988. — Vol. 52. № 16 -

P

1320—1322

 

 

 

 

 

 

 

 

 

134. Periodic Negative Conductunce by Sequentual Resonant Tunneling thro­

ugh an Expending High-field Superlattice Domain/К

К

Choi,

B. F.

Levine,

R. J. Malic et al //Phys. Rev

Ser. В. — 1987. —Vol. 35, № 8. —P. 4172—4175.

135 Davies

R. A., Kelly M. J., Kerr T. M. Room-temperature

Oscillations in

a Superlattice

Structure//Electr. Letts.— 1986. — Vol.

22,

№ 3.—P.

 

131—133.

136. Observation of Negative Differential Resistance

in

CHIRP Superlattice/

T. Nakagama, II. Imamoto, T. Sakamoto

et al.//EIectr. Letts. — 1985.—Vol. 21,

№ 6 — P

882—884.

 

 

 

 

 

 

 

Electron-Wave

137 Furuya K. Novel High-speed Transistor Using Electron

Diffradiov, /J. Appl. Phys — 1987. — Vol

62, №

4. — P.

1492—1494.

 

S

Aka-

Amorphous

Silicon

Superlattice Thin

Film

Transistors/M. Tsukude,

matsu, S

Miyazaki et

al.//Jap. J. Appl.

Phvs. — 1987.—Vol. 26,

№ 2. — P.

111-113.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

138 Lent Craig S. The Resonant Hot Electron Transfer Amplifier: a Conti­

nuum Resonance

Device//Superlat. and Microstruct.— 1987. — Vol. 3, №

4.—P.

387—389.

 

И. К. Эффект

Джозефсона в сверхпроводящих

139 Кулик И. О., Янсон

туннельных структурах. — М..

Наука, 1970. — 272 с.

1984.—

140. Бароне

А., Петерно

Дж. Эффект

Джозефсона. — М.: Мир.

639с.

141.Лихарев К. К. Введение в динамику джозефсоновских переходов —М.:

Наука, 1985 —320 с.

142. Интегральные схемы и микроэлектронные устройства на сверхпроводниках/В. Н. Алфеев, П. А. Бахтин, А. А. Васенков и др.—М.: Радио и связь,

1985 —232 с

Г., Икома Г., Такэиси Е. Введение в микроэлектронику: Пер.

143. Сугано

с япон. М.: Мир,

1988. — 320 с.

144. Шмидт В. В. Введение в физику сверхпроводников. — М/ Наука, 1982. — 240 с.

145. Элиашберг Г. М. Неупругие столкновения электронов и неравновесные стационарные явления в сверхпроводниках//ЖЭТФ.—1971. — Т. 61, выл 3 .— С. 1254—1271.

ïvlev В. I., Lisitsin S. G., Eliashberg G. M. Nonequilibrium Excitation in Superconductors in High-frequency Fields//J. Low Temp. Phys. — 1973 —Vol. 10,

3/4. — P. 449—468.

146.Ивлев Б. И., Ларкин И. А. Электрон-электронное взаимодействие и не­ равновесные явления в туннельных контактах сверхироводников//Физяка низ­ ких температур.— 1987. — Т. 13, № 6. — С. 573—578.

147.Песковецкий С. А., Семиножко В. П. Стимулирование сверхпроводи­

мости постоянным туннельным юком//Физика низких температур.— 1976.— Т. 2, № 6 —С. 943—945.

148 Семиножко В. П., Шафранюк С. Е. Неравновесные явления в сверх­

проводниках

при одночастичном туннелировании в

условиях переменного

на­

пряжения на туннельном контакте//Физика низких

температур.— 1984. — Т. 10,

выл. 3 — С

273—279.

Superconducting

Proximity

149. McMillan W. L. Tunneling Model of the

Effect//Phys

Rev. — 1968. — Vol. 175, № 2. — P. 5,37—542.

 

кон­

150. Асламазов Л. Г., Фистуль M. В. Резонансное туннелирование в

тактах

сверхпроводник —полупроводник - сверхироводнпкУ/ЖЭТФ, — 1982.

- Т.

83, вып.

10

-С. 1170—1174

 

 

 

Тартаковский А. В., Фистуль М. В. Квазичастичный ток в контактах сверх­

проводник— полупроводник — сверхпроводник//ЖЭТФ. — 1988. —Т. 94,

выи. 9 —

С.353—367

151.Гудков А. Л., Куприянов М. Ю., Лихарев К. К. Свойсгва джозсфсо-

новских переходов с прослойкой из аморфного кремния//ЖЭТФ —1988.—Т. 94, вып 7. — С. 319—332

152. Абрикосов А. А., Горьков Л. П., Дзялощинский И. Е. Методы кванто­

вой теории поля в статической физике. — М.: Наука,

1962.—444 с

An.atuni,

153. Josephson

Junctions with

Silicon Interlayer

and Arrays'L E

V. N

Gubankov,

S. A. Kovtonyuk

et al.//IEEE Trans.— 1987. — Vol. MAG-23,

23 -- P. 680-683.

 

 

 

Junctions

Cukauskas E. L, Carter W. L. Niobium-nitride Based Josephson

with

Unoxidized Silicon

Barriers//1EEE Trans.— 1987.—Vol. MAG-23,

№ 2.—■

P. 669-672.

 

T. Self-field Effects in Josephson Junctions

Coupled

Inoue K., Kawakami

with n-InAs and the

Surface Inversion Layer on p-InAs//Jap. J. Appl. Phys.—

1987. _ Vol. 26. — Pt.

2. — Suppl. JVe 3. — P. 1665—1666.

Kresin V. S. Field Effect and Josephson Junctinos//IEEE Trans.— 1987.— Vol. MAG-23. № 2. — P. 707—710.

154. Аверин Д. В., Зорин А. Б., Лихарев К. К. Елоховские осцилляции в джозефсоновских переходах малых размеров/ЖЭТФ — 1985. — Т 88, вып. 2 — С 692—703.

Likharev К* Км Zorin А. В. Theory of the Bloch-wave Oscillations in Small Josephson Junctions//J. Low. Tem. Phys.— 1985. — Vol. 59, № 1.—P. 347—382.

155. Заикин А. Д.,

Панюков С,

В. Квантовые флуктуации и когерентные

эффекты в

туннельных

переходах

малых размеров//ЖЭТФ.— 1988. — Т 94,

вып. 12. —С

172-187.

 

 

156. Meepagata S., Chen J. Т., Chang J. J. Dynamic Modes of Onedmicusbnal Josephson Tunnel Junctions//Phys. Rev. Sen B.— 1987.—Vol. 36, № L -

P.809-811.

157.Zverger W. Quantum Effects in the Current-voltage Characteristic Ы ,i Small Josephson Junctions//Phys. Rev, Ser. B.— 1987. — Vol. 35, № 10.- P.

4737—4753.

158. Mullen K., Ben-Jacob E. Combined Effect of Zener and Quasiparth le Transitions on the Dynamics of Mesascopic Josephson Junctions//Phys. Rev, Letts. — 1988. —Vol. 60, № IL —P. 1097—1100.

159.Wakai B. T., Van Harlingen D. J. Direct Lifetime Measurements and

Interactions of Charge Defect States in Submicron Josephson

Junctions//Phys.

Rev. Letts. — 1987. — Vol. 58, № 16. — P. 1687—1690.

 

 

 

 

160 Crossover from Josephson Tunneling to the Coulomb Blockade in Small

Tunnel Junctions/M. Iansiti, A. T. Johnson, C L. Lobb,

M. Tinkham//Phys

R’ev.

Letts — 1988. — Vol. 60, № 23. — P. 2414—2417.

Dependences

of

the

161 Fiske M. D. Temperature and Magnetic Field

Josephson Tunneling Current//Rev. Mod. Phys. — 1964. — Vol.

36, №

1. — P.

221—222.

 

 

 

 

162.Васенко С. А., Лихарев К. К. Влияние размеров джозефсоновских пе­ реходов на их макроскопические квантовые свойства//Физнка низких темпера­ тур. — 1987. — Т. 13. № 7. — С. 755—758.

163Раджараман Р. Солитоны и ннстантоны в квантовой теории поля.—

М.Мир, 1985. —416 с.

164.Аверин Д. В. Влияние температуры на одноэлектроиные и блоховские

колебания в туннельных переходах//Физика низких температур.—4987.— Т. 13, Пя 4. —С. 364—373.

165 Ларкии А. И., Овчинников Ю. Н. Ширина линии излучения при эф­ фекте Джозефсоиа//ЖЭТФ — 1967. — Т. 53, вып. 6. — С. 2159—2163

166. Казаринов Р. Ф., Сурис Р. А. К теории электрических и электромаг­ нитных свойств полупроводников со сверхрешеткой//ФТП. — 1972. — Т. 6, вып.

1.—С. 148—162.

167.Кузьмин С. А., Лихарев К. К. Непосредственное экспериментальное наблюдение дискретного коррелированного одноэлектронного туннелирования// Письма в ЖЭТФ. — 1987. — Т. 45, вып 8. — С. 389—390.

Назаров Ю. В. О кулоновской блокаде туннелирования в одиночных кон-

тактах//Письма в ЖЭТФ. — 1989. — Т

49, вып. 2. — С. '105—107.

168. Fujimaki A.,

Nakajima К., Sawada Y. Spatio-temporal Observation of

the Soliton-anlisoliton

Collision in a

Josephson Transmission Line//Phys Rev.

Letts. — 1987 - Vol. 59, № 25. — P. 2895—2898

Голубов А. А., Ссрпученко И. Л., Устинов А. В. Динамика джозефсоиовского вихря в длинном переходе с неоднородностями теория и эксперимент// ЖЭТФ, — 1988.--Т 94, вып 6.— С. 297—311.

169. Прямое наблюдение вихрей Абрикосова в монокристалле высокотем­ пературного сверхпроводника УВа2СизОх/Л. Я Винников, Л. А. Гуревич, Г. А. Емельченко, Ю. А. Осииян//Письма в ЖЭТФ, — 1988. — Т. 47, вып. 2.—С.

109—111.

170. Голубов А. А., Куприянов М. Ю. Влияние одиночных абрикосовских

вихрей на свойства туннельных джозефсоновских

переходов//ЖЭТФ — 1987 —

Т. 92, вып. № 4. —С 1512—1523.

 

контактов со случайно

Фистуль М. В. Критический ток джозефсоновских

расположенными абрикосовскими вихрями//Пнсьма

в

ЖЭТФ. — 1989. — Т. 49,

выи. 2. — С. 95—98.

171. Басс Ф. Г., Булгаков А. А., Тетервов А. П. Высокочастотные свойст­ ва полупроводников со сверхрешетками. — М . Наука, 1989 —288 с.

Предисловие...........................................

 

 

 

 

.........................................

3

Р а зд е л

I. ПОВЕРХНОСТНО-БАРЬЕРНЫЕ

СТРУКТУРЫ НА ПОЛУ­

 

 

 

ПРОВОДНИКАХ ....................................................................

 

 

 

 

 

 

4

Глава 1. Структуры металл-полупроводник

с барьером

Шотки . .

5

JL1

Образование потенциального барьера в полупроводнике МП структур

5

12 Механизмы токоиереноса в МП структурах на кристаллических по­

 

1.3.

лупроводниках

...............................

 

 

 

..........................................13

 

Механизмы токоиереноса в МП структурах на аморфных

полупро­

 

1.4

водниках .

 

. . .

......................................................19

 

Особенности формирования

барьера

и механизмы токоиереноса

в

 

1.5.

МП структурах на сложных полупроводниках........................

 

32

 

37

Явления в МП структурах при переменном сигнале

. . . .

 

1 6

Процессы в МП структурах с омическими свойствами

. . . .

 

41

17.

Явления в МП структурах

при освещении . . .

 

 

 

43

1.8.

Шумы в МП структурах

. . .

.

....................................51

54

1.9.

Фундаментальные

физические ограничения размеров

МП

структур

1.10. Физические процессы в МП структурах при уменьшении их размеров

57

1.11. Физические основы применения МД

структур . .

. .

. 5 9

 

Глава 2.

Структуры

металл-/г(р)-слой-/х+(р+)-полупроводник и

металл-

 

 

 

п+(р+) -слои-/?(/г)-полупроводник..........................................

 

 

61

 

 

2 1.

Ход

потенциала

н

токоперенос в

М-п(р)-п+(р+)-П

структурах

с

 

2

2.

барьером Мотта . . . .

 

62

Образование барьера и токоперенос в М-/г+(р+)-р(/г)-П структурах

63

2

3.

Инжекция неосновных носителей в М-р+-/г-Г1

структуре . . .

66

2.4.

 

Свойства ОПЗ и механизмы токопереноса в М-р+-я-П структуре с

 

 

 

глубокими центрами в полупроводнике....................................

69

 

2.5Вольт-фарадная характеристика М-р+-п-П структуры сглубокими

2

центрами в полупроводнике.....................................................

77

не­

6. Моделирование характеристик М-р+-п-11 структуры с планарной

2.7

однородностью с в о й с т в .............................................................

78

. 87

Определение параметров ОПЗ в М-п(я

структурах .

2.8Вольт-фарадные характеристики М-я+-я-П структур при изменении

2 9.

распредетения

примеси в

полупроводнике

 

 

91

90

Ограничения

минимальных

размеров с т р у к т у р

.......................

 

2.10.

Эффективность использования структур в элементах микроэлектро­

92

 

ники .............................................................................................................

 

 

 

 

 

Глава 3 Туннельные МТДП структуры .

.

..............................93

 

3.1.

Образование барьера ОПЗ в полупроводнике.......................

 

95

 

3 2

Перезарядка локализованных на границе ТД-П электронных

состоя­

190

 

ний .........................................................................

 

 

 

*

3.3Определение параметров ОПЗ с инверсионным слоемв полупро­

воднике

192

3

4. Определение параметров ОПЗ в полупроводнике с варизонным слоем

105

3.5 Расчет параметров ОПЗ в полупроводнике с аккумуляционным слоем

108

 

36.

 

Механизмы токоиереноса в МТДП структурах с барьером Шотки .

112

3

7. Туннелирование носителей через барьеры ТД и ОГ13 с участием ПС

121

3

8

 

Туннелирование

носителей

через сложный

барьер ТД . .

.

122

3

9. Прохождение носителей через осциллирующий потенциальный барьер

124

 

3

10. Токоиерснос в МТДо-П

структурах .

 

. . .

 

в

квантую­

127

3.11.

 

Осцилляции туннельной проводимости МТДП структур

129

3

 

щих

магнитных

п о л я х ....................................

 

 

 

 

 

 

. " .

12 Процессы в МТДП структурах при инжекции неосновных носителей

131

3

13 Оптические явления в МТДП

структурах........................

 

 

 

. 1 3 3

3 14. Когерентные отиозлектронные явления в МТДП микро- и

субмикро­

 

 

 

 

 

структурах

...............................

 

 

 

 

............................. \

 

. 1 3 8

3.15. Мезоскопическая физика МТДП аруктур

 

.

 

. . .

143

3.16

Физические основы элементов микроэлектроники на МТДП структу­

 

 

 

 

 

рах

 

...................................................................

 

 

 

 

 

 

 

.....

.............................

 

 

144

Р а зд е л

 

II. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ С СИСТЕМОЙ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ПОТЕНЦИАЛЬНЫХ БАРЬЕРОВ И КВАНТОВЫХ ЯМ

147

Глава 4.

 

Структуры с отдельными и связанными квантовыми

ямами

143

4 1.

Энергетическая структура полупроводниковых систем с

отдельной

149

4.2.

квантовой

я м о й ..............................................................

 

 

 

 

 

 

 

.

Электрон-электрониое взаимодействие и межуровиевые переходы в

151

4

3

квантовой

яме . . .

 

 

..............................

. . . .

 

Квазидвумерный экситон

в квантовой яме . . .

 

. . .

153

4.4.

Спиновая релаксация электронов

в квантовой яме . . . .

155

4

5 Процессы перехода неравновесных носителей между квантовой ямой

158

4

и

полупроводником

.................................

 

 

 

.

 

. . .

6.

Условия

инверсной заселенности в квантовой

я м е .....................

 

 

162

4

7

 

Спектр нелинейного поглощения в структурах при заполнении под­

170

 

 

 

 

зон

в

квантовых

ямах . . .

.

 

. . .

.

4.8. Элеюрооптическая модуляция в структурах с квантовыми ямами

173

4

9 Экранирование

в

квантовой

яме

при переносе носителей .

 

177

4

10. Резонансное

туннелирование электронов

через

систему

барьеров

180

4 11

Резонансное т\ннедированис электронов с участием уровня в кванто­

183

 

 

 

 

вой

 

яме

. . . .

 

..............................

 

 

.

412 Механизм формирования ОДП S-тина в многослойных структурах

195

4.13. Явления

в структурах с электронными волнами вдоль квантовых ям

196

4.14. Эффект Штарка в структурах со связанными квантовыми ямами

198

4.15. Многофункциональность элементов на квантовых структурах . .

200

Глава

5

Сверхрешетки .

 

......................................................

.

203

51

 

Энергетическая

структура сверхрешеток .

 

 

 

 

203

5 2

 

Коллективные возбуждения двумерного электронного (дырочною)

214

5

 

 

юза

в сверхрешегках............................................................

 

 

 

 

 

 

 

.

 

3 Квантовые явления переноса носителей заряда

в сверхрешетках

215

5

 

4

 

Бистабильность резонансною туннельного тока электронов

в сверх*

 

5

 

реш етке........................

 

 

 

 

. . .

................................... 218

 

5.

 

Кинетические эффекты в сверхрешетках в сильных электрических ио

221

5

 

л

я

х

...............................

 

 

эффекты

в

. . . .

 

. . .

 

 

.

 

6,

 

Кинетические

сверхрешетках

в квантующем

магнитном

 

слся

.7

н о л е

.........................

 

 

 

 

в

......................................................

. 2 2 1

 

Электростатические моды

сверхрешетках .

.

.

 

.

225

 

8.

 

Магнитостатические моды на границах слоев в сверхрешетках

229

Ül СЛCl

 

9

Явления

в спиновых сверхрешетках

. . .

 

.

. 2 3 1

 

10,

Свойства

и

применения

квазиатомных сверхрешеток

 

.

 

234

 

11. Физические

принципы создания

элементов

микро(нано) электроники

235

 

 

 

на сверхрешетках....................................................................

 

 

 

 

 

 

 

 

Соседние файлы в папке книги