книги / Основы электронно-лучевой обработки материалов
..pdfДля частного случая, когда продольный градиент давления на внешней границе слоя равен нулю, уравнение (283) и уравнение непрерывности (282) записывают в виде
U |
ди |
, |
6U |
дЮ |
~ w + v - w |
= x dt/ ’ |
|||
|
dU |
|
ди |
(-81) |
|
+ |
О, |
||
|
дх |
ди |
где v — кинематическая вязкость. Граничные условия
U = 0, v = — Vo (х)\у=о, U ->U0\y+„.
Для одномерного случая первое уравнение системы (284) при нимает вид
ди _ _ |
дЮ |
(285) |
|
»о ~ду~~~Х |
дуг ’ |
||
|
|||
его решение |
|
|
|
U(h)=*U0 ( 1 - е х р ^ ) . |
(286; |
||
Скорость течения расплава U0 вдали от контакта с iвердым |
|||
телом находят из соотношения |
|
|
|
hah |
(28?) |
||
и 0 = ~ЩГС' |
где А а — разность межфазных поверхностных энергий: р, — коэф фициент динамической вязкости; h — толщина наползающего слоя; L — длина, на которую распространяется наползающий слой.
Разность межфазных поверхностных энергий
Да = (k cos 0 — 1) oh |
(288) |
где 0 — угол смачивания; аг — поверхностное натяжение на гра нице жидкой фазы; k — коэффициент шероховатости поверхности, по которой происходит наползание жидкости.
Для количественного определения величин U (/i), t/0, Да сле дует использовать результаты модельных опытов по определению закономерности кристаллизации свободной жидкой пленки в усло виях, когда имеет место эффект наползания жидкости на расту щие кристаллиты.
ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК И ПОКРЫТИЙ С ПОМОЩЬЮ ИМПУЛЬСНОГО ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ
Нанесение пленок методом термического испарения в вакууме является одним из наиболее широко распространенных способов 133,88, 89 ]. Однако недостатки этого метода, такие, как ограничен ность скорости напыления, необходимость высокого вакуума для
181
уменьшения влияния остаточных газов, трудности с испарением многокомпонентных материалов привели к разработке ряда прин ципиально отличающихся методов; ионно-плазменного распыле ния, получения пленок из химических соединений с помощью электронного луча [2 2 ] и др.
Перечисленные недостатки метода термического испарения свя заны с использованием стационарного нагрева. Разработка ряда технологических приемов (метод многих источников, «взрывное» испарение) улучшает этот метод, но не исключает использования стационарного испарения.
Использование импульсных методов получения пленок с при менением таких концентрированных источников энергии, как им
пульсная |
плазма 1132], лазер [38], взрывающиеся проволочки |
и фольги |
[98], существенно повышают скорость испарения. Основ |
ным преимуществом импульсного нанесения пленок является крайне высокая скорость осаждения (до 1— 10 мкм/с) и возмож ность сохранения стехиометрии состава испаряемого материала.
Задача о нестационарном испарении в вакуум решена в рабо
тах [39, |
130, 131 ], |
в них показано существование |
нестационар- |
||
ности в течение времени т, когда унос тепла |
паром |
qv незначите |
|||
лен (qv ^ |
10-^20% |
от величины |
падающего |
потока), рассмотрен |
|
ступенчатый тепловой поток (Q = |
0 при t < |
0 и Q — const при |
t > 0) и численным методом (на ЦВМ «Минск-22») решено одно мерное уравнение теплопроводности с нелинейным граничным условием, учитывающим испарение с поверхности в соответствии
с кривой давления |
пара. |
Безразмерное время обозначают как т = tit*, безразмерную |
|
температуру Qs = |
Ts/T Soo, где Ts — температура поверхности; |
TSco —■температура |
поверхности, при которой (в случае ее дости |
жения) весь тепловой поток, приходящийся на поверхность, тра тится только на испарение; безразмерный тепловой поток, уноси мый паром, q0 = QJQ.
Скорость испарения по формуле Ленгмюра (г/см2*с)
где М — молекулярный вес испаряемого вещества; А я В — кон станты кривой давления пара [41 ].
Из условия Qv (TSoo) = Q, где Qv — LHcn m — теплота испаре ния; Q — тепловой поток, получают для TSoo трансцендентное уравнение
А
'оо
Единица измерения времени
(2 8 9)
t = 4a Q 2 { Т s — T Q ),
182
Рис. 109. Зависимость из |
|
|
|
|||
менения |
|
безразмерных |
|
|
|
|
температуры и теплового |
|
|
|
|||
потока от % для алюми |
|
|
|
|||
ния: |
|
|
|
|
|
|
1 — Q = |
IО6; |
2 — Q ^ 10е; |
|
|
|
|
3 |
—Q= |
107; |
4 —Q= |
|
|
|
= |
108 в т /с м 2 |
1131 ] |
|
|
|
|
где К — коэффициент тепл0ПР0В°ДН0СТИ’ а |
' К0ЭФФВДиент |
темпе |
||||
ратуропроводности; Т 0 — начальная температура; Т$ |
темпера |
|||||
тура, определяемая из уравнения Qj (Т$) = 0, 1Q. |
|
(289): |
||||
|
Температура T*s мож€т быть получена |
из уравнения |
______
1,12*10-М
Из рис. 109 видно, что при т < 1 ( / < / * ) потери теплоты на испарение по сравнению с Q незначительны. Температура поверх-
ности
Т s |
_ т L 2Q У''Щ |
0 7 ЯК л |
|
При t > 1 становится |
существенным и постепенно увеличи |
вается унос теплоты napoi^> Рост температуры поверхности замед
ляется. В процессе достигни* |
т ^ |
1 устанавливается темпера |
||
тура поверхности, а к мо^ентУ т ^ |
Ю |
скорость |
испарения пг |
|
и величина qv. В интервале |
^ т |
|
Ю кривые |
qv могут быть |
описаны приближенной зависимостью |
|
|
где а = 7-5-8.
Характеристики ц^^^^ционарного процесса испарения не-
штофик wara&wajK» ^ е ^ тавлены в табл27, где приняты еледующие обозначения* длительность теплового импульса, в те-
чение которого при расчет Ts (0 можно не учитывать испарение
(см. формулу (289)); |
повеРхности> ниже которой |
затратами |
теп |
|||
j"s*_температура |
||||||
лоты на испарение можно пренебречь; |
х ’ — 2 ]/at’ |
глубина |
про |
|||
грева |
за время t*, |
|
А; Ах* — толщина испаренного слоя за |
|||
время |
t*: |
|
|
|
|
|
|
Дх* = |
o£L |
Qt* |
|
|
|
|
Z-испР j qv(x)dx |
1СГ2^ИСПр 9 |
|
|
||
|
|
|
О |
|
|
|
183
Оо |
|
Характеристики i есгациэгирного |
nc^apei ии |
j е^зтсрьх ivn гсриалсв | ^30] |
|
Таблица 27 |
|||||||
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|||||||||
М атер иал |
Q. |
t*, MKC |
As* к |
x*r A |
A M , |
A |
Г5 - - |
К |
КИМ мкс |
A 'Viо, A |
f**, MKC |
||
В т /см г |
|
|
|
|
|||||||||
|
105 |
3 , 8 - 102 |
2 2 9 0 |
2 ,1 * |
10fi |
1 , 9 - 103 |
27C0 |
|
3 , 8 - 103 |
5, 5 - i o 5 |
2 , 5 - 104 |
||
|
|
2 , 5 - 102 |
|||||||||||
А1 |
10e |
6 , 8 |
2 7 0 0 |
2 , 8 - |
1C5 |
2 , 7 - 103 |
3 2 8 0 |
|
68 |
9 , 8 - 104 |
|||
|
107 |
0 , 1 2 |
3 2 8 0 |
3 , 6 - 104 |
40 |
|
4 2 2 0 |
|
1,2 |
1 , 7 - Ю4 |
2 ,5 |
|
|
|
108 |
2 , 3 - Ю- 3 |
4 2 2 0 |
5,1 |
1C3 |
0,0 |
|
5 9 5 0 |
|
2 , 3 - 1 0 ~ 2 |
3 , 3 - 103 |
2 , 5 - 1 0 |
2 |
|
105 |
4 5 |
2 9 8 0 |
3 , 2 - |
1C3 |
1 , 8 . 102 |
3 5 2 0 |
|
4 , 5 - 102 |
5,1 - 1 0 4 |
8 , 0 - 1G3 |
||
T i |
10° |
1,0 |
3 5 2 0 |
4 ,8 - Ю 4 |
33 |
|
4 3 0 0 |
|
10 |
1 , 2 - 1 0 * |
80 |
|
|
|
|
2 , 0 - 103 |
0 , 8 |
|
|||||||||
|
107 |
2 , 3 - 10“ 2 |
4 3 0 0 |
7 , 2 - ■103 |
6 ,0 |
|
5 5 8 0 |
|
0 , 2 3 |
|
|||
|
108 |
5 - 10"4 |
5 5 8 0 |
1 ,1 - |
1C3 |
|
|
7 9 0 0 |
|
5 , 0 - 10- 3 |
5 , 7 - 1 0 2 |
8 . 1 0 |
3 |
|
1C5 |
6 0 |
2 4 4 0 |
1,5 -■1C5 |
4 , 7 - 1 C 2 |
2 6 8 0 |
|
6 , 0 . 102 |
1 , 4 - 105 |
3 , 5 - 103 |
|||
A loO o |
I 0 C |
1 ,6 |
2 6 8 0 |
2 ,5 - ■10* |
1,0* 102 |
2 9 8 0 |
|
16 |
3 , 0 - 104 |
3 ,5 |
|
||
-ril2v^3 |
107 |
2, M O 2 |
2 9 8 0 |
2 ,9 - ■1C3 |
11 |
|
3 3 6 0 |
|
0,21 |
4 , 8 - 103 |
3 , 5 - 1 0 |
2 |
|
|
|
|
|||||||||||
|
1C8 |
3 - 1 0 ~ 4 |
3 3 6 0 |
3 , 3 - |
102 |
|
|
3 6 5 0 |
|
3 - 1 0 ~ 3 |
6, 2 - 102 |
3 , 5 - 1 0 |
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
105 |
12 |
1970 |
6,8 - |
1C1 |
1- 1 0 2 |
2 1 3 0 |
|
1 , 2 - 1 C 2 |
2, 8 - 1 0 4 |
1 , 4 - 102 |
||
|
|
|
|
||||||||||
S iO o |
10° |
0 , 1 4 |
2 1 3 0 |
7 ,5 - ■1C3 |
10 |
|
2 2 3 0 |
|
1 ,4 |
3 , 4 * 1 0 3 |
1 ,4 |
2 |
|
|
107 |
1 , 7 - 10 " 3 |
2 3 2 0 |
8,2 - |
1G2 |
- |
|
2 5 4 0 |
|
1 , 7 - 1 0 2 |
4 ,0* 102 |
1 , 4 - 1 0 |
|
|
|
|
|
1 , 4 - 1 0 ' 4 |
|||||||||
|
108 |
2-10 5 |
2 5 4 0 |
9 0 |
|
|
|
2 8 2 0 |
|
2- 10_1 |
50 |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
где р — плотность материала; 10/* — время окончания нестацио нарной стадии испарения; А х10 — толщина испаренного слоя в те чение нестационарного времени 10/*:
|
ю |
|
Qt* |
Дх10 |
Qt* г |
qv{%) dx ^ |
|
^НСПр J |
4 LiicnP |
||
|
0 |
|
|
Приблизительно через 10/* после включения теплового по тока Q температура поверхности приближается к TSoo, а унос теплоты с паром — к Q (qv ^ 0,6-f-0,7), Процесс испарения ста* новится квазистационарным. Внутрь вещества начинает распро страняться волна разгрузки, скорость которой
Q
^ЧСпР |
|
|
|
Так как скорость тепловой волны |
vT ^ |
Y a!t |
постепенно |
затухает, то, спустя время /** = (—' |
) , |
волна |
разгрузки |
догонит тепловую волну, после чего роль теплопроводности будет сводиться лишь к установлению профиля температуры перед фрон том испарения.
Для тепловых импульсов, длительность которых превышает величину 10/* + /**, справедлива стационарная гидродинамиче ская теория испарения 13]. При q% = 105-М08 Вт/см2 гидродина мическая теория испарения приводит к результатам, мало отли чающимся от представлений свободного термического испарения.
Оценка интенсивности |
испарения при q« = |
106 Вт/см2 и |
/ = |
||||||
= 10 мкс дают следующие результаты: для алюминия |
/** = |
44- |
|||||||
-г- 5 мкс, |
qv = |
0,19 — испарение нестационарное; для |
S i0 2 m — |
||||||
const, |
qv = |
0,7-ьО,8 — испарение стационарное. |
|
|
|
||||
Абсолютные величины скорости испарения для алюминия и |
|||||||||
двуокиси |
кремния |
10— 100 г/см2 (108—1010 А/с). Полное |
количе |
||||||
ство испаренного алюминия 4*10_5 г/см2, двуокиси |
кремния — |
||||||||
1 -10_3 г/см2. |
При |
этом |
энергия |
теплового |
импульса |
равна |
|||
2,4 кал/см2. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Данные табл. 28 характеризуют понятие «эквивалентного» |
|||||||||
вакуума |
[130]. |
Здесь па — поток |
молекул остаточного |
газа на |
|||||
подложку |
при |
давлении |
р; х — скорость напыления |
при усло- |
Таблица 28
Параметры высокоскоростного процесса напыления [130]
р. |
! |
V |
м м р т с т |
||
|
|
г / с м 2 с |
1 0 ’ |
|
3 , 8 - 1C 2* |
1 0 ~ 2 |
|
3 , 8 - 1 0 18 |
1 0 “ 3 |
|
3 , 8 - 1 0 17 |
и
1 0 10
ю5
1 0 4
|
|
р, |
П' |
X, |
|
|
м м |
^ А /с |
|
||
м м р т с т |
р т . с т |
г / с м 2 с |
мм рт ст |
||
|
|
||||
1 0 ~ 4 |
|
1 0 ~ 5 |
3 , 8 • 1 0 15 |
ю2 |
1 0 " 12 |
КГ9 |
|
1 0~ « |
3 , 8 - 1 0 14 |
1 0 |
1 0 _ « |
]0_1° |
|
ю~9 |
3 ,8 * Ю 11 |
1 1 0 ~ 2 |
1 0 " 1в |
185
вии n jn a ^ |
15, где пь — поток атомов пара; |
||
ре — давление, |
соответствующее |
скорости |
|
напыления |
х = |
108 А/с; величина |
ре дает |
такое же отношение nv/naJ которое полу чается при фактическом давлении и х =
=Ю А/с.
Из табл. 28 следует, что импульсное
|
|
|
|
испарение позволяет |
осуществлять напыле |
|||||
|
|
|
|
ние даже при атмосферном давлении. При |
||||||
|
|
|
|
форвакууме (1СГ1—1(Г3 мм рт. |
|
ст.) им |
||||
|
|
|
|
пульсное |
напыление |
эквивалентно |
напыле |
|||
|
|
|
|
нию в условиях вакуума |
порядка |
10~9 мм |
||||
|
|
|
|
рт. ст. |
|
осаждения |
интересна |
|||
|
|
|
|
Высокая скорость |
||||||
Рис. 110. Схема испаре |
с точки зрения экспериментальной проверки |
|||||||||
теории конденсации. При образовании зача |
||||||||||
ния |
электронным |
лу |
||||||||
чом |
из нескольких |
ис |
точных очагов конденсата на поверхности |
|||||||
точников: |
|
подложки |
увеличение скорости |
осаждения |
||||||
1 — импульсный |
вра |
приводит к уменьшению их размеров и к уве |
||||||||
щающийся луч; 2 — под |
||||||||||
ложка; А , |
В, В, Г — ис |
личению скорости возникновения. Это зна |
||||||||
паряемые |
материалы |
|
чит, что сплошная пленка возникает при |
|||||||
|
|
|
|
меньшей |
средней толщине |
слоя |
осадка. |
Однако в результате того, что свободная энергия зачаточного очага AFV зависит от nv логарифмически, небольшие измене ния nv не могут существенно изменить его критический радиус г*. Ясно, что повышение nv на несколько порядков открывает в этом смысле интересные перспективы.
Чем больше разница в упругости пара компонентов сплава, тем выше температура испарения, необходимая для выравнивания скоростей испарения компонентов. При импульсном испарении, характеризующемся высокими градиентами температур, испаре ние сплавов должно происходить с более точным сохранением их состава.
Процесс импульсного электронно-лучевого воздействия при
qi > |
ql можно |
использовать для высокопроизводительного нане |
сения |
пленок |
[53]. Эксперименты на установке А.306.13 показы |
вают, |
что при |
U = 20 кВ, I = 150 мА, q%— 1-105 Вт/см2, / = |
= 100 Гц, т = |
1- КГ3 с, скорость осаждения на стеклянные (без |
подогрева) подложки для никеля, титана и алюминия 1—3 мкм/с. При этом на поверхности пленок не зарегистрированы капли и брызги испаряемого материала, что наблюдается при действии луча лазера, импульсной плазме и взрыве фольги. Можно предполо жить, что это связано с особенностями испарения со дна узкого глубокого канала. Парожидкостная смесь, двигающаяся в объеме канала навстречу падающему потоку энергии, дополнительно по догревается, приобретает большую кинетическую энергию, что и приводит затем к интенсивному распылению струи (предположи тельно размер частиц < 1 мкм).
186
Выбор режимов импульсного электронно-лучевого напыления аналогичен выбору режимов получения отверстий. Собственно, высокопроизводительный процесс напыления протекает в режиме получения отверстий в испаряемом материале. Основным условием промышленной реализации метода импульсного напыления яв ляется наличие оборудования и аппаратуры, обеспечивающих устойчивую работу в течение длительного времени в импульсном режиме на частотах f = 100ч-1000 Гц при мощности источника 1—3 кВт. В настоящее время промышленность пока не распола гает установками такого рода — ни плазменными, ни лазерными, ни для электрического взрыва фольги. Генераторы импульсной плазмы имеются в виде лабораторных установок и обеспечивают частоту следования импульсов менее 1 Гц. Импульсные лазеры выпускает промышленность, но их частотные характеристики также пока не удовлетворительны. Установки для электрического взрыва проводников находятся в стадии опытных образцов. В этом отношении импульсное электронно-лучевое напыление находится в более благоприятных условиях', так как для его осуществления можно использовать серийно выпускаемые электронно-лучевые установки типа А.306.05, А.306.12, А.306.13. Эти установки обес печивают ускоряющее напряжение U = 25ч-30 кВ, мощность 3—5 кВт, удельную мощность 105—106 Вт/см2, длительность им пульса в пределах 1—50 мс, частоту следования импульсов 1 — 200 Гц. Они снабжены отклоняющими системами, позволяющими при подключении соответствующего устройства для развертки и модуляции луча производить испарение и;? одного или несколь ких источников, практически обеспечивая любой заданный состав пленки из любых материалов, так как за один импульс расплав ляется порция вещества 10“5—10~6 г. Схема испарения электрон ным лучом из нескольких источников показана на рис. 110.
Электронный луч легко управляем, поэтому использование развертки, амплитудно-частотной модуляции и других приемов открывает новые перспективы применения метода импульсного электронно-лучевого напыления.
Глава б
З А К О Н О М Е Р Н О С Т И П Р О П Л А В Л Е Н И Я М Е Т А Л Л О В П Р И Э Л Е К Т Р О Н Н О - Л У Ч Е В О М В О З Д Е Й С Т В И И
ВЛИЯНИЕ УДЕЛЬНОЙ МОЩНОСТИ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА НА ГЕОМЕТРИЮ ЗОНЫ ПРОПЛАВЛЕНИЯ
В связи с тем, что энергетический баланс процесса электронно лучевой сварки близок к аналогичному балансу при дуговой сварке, связь параметров электронного луча с характеристиками зоны проплавления можно дать в виде уравнения для секундного объема плавления металла [153]:
0,24Ш адг = |
pvFupSmy |
(290) |
где Fuр — площадь проплавления, |
см2; |
S m = (cTUJ} + Lnjl) — |
теплосодержание жидкого металла при температуре плавления, кал/г.
Из уравнения (290) следует, что чем выше погонная энергия Q — 0,24IUIv, тем больше площадь проплавления. Это действи тельно справедливо для процесса дуговой сварки, который в боль шинстве случаев осуществляется при q2 < q2. Для электронно лучевой сварки экспериментально установлено, что обобщенный параметр — погонная энергия Q не является определяющим при количественной оценке процесса. При постоянной погонной энер гии можно получить глубину проплавления и 15 и 2 мм [206]. Этот факт следует считать естественным, так как образование кинжального проплавления при электронно-лучевой сварке опре деляется не только количеством введенной энергии, но и ее плот ностью.
Для использования в инженерных расчетах в уравнениях (290) должна быть учтена удельная мощность электронного луча q2. С этой целью произведены эксперименты по электронно-лучевой сварке с постоянной погонной энергией, но разной степенью фоку сировки (разной удельной мощностью) [64]. Сварку выполняли с помощью электронно-лучевой установки ЭЛУ-9Б с электронной пушкой ЭП-60/10М по схеме, представленной на рис. 111 на образ цах из нержавеющей стали размером 500 X 80 X 20 мм при ре жимах, представленных в табл. 29.
В первой серии опытов образцами служили две пластины тол щиной 10 мм каждая (пакет толщиной 20 мм), сварку выполняли встык с зазором. Во второй серии в качестве образцов использо вали пластины толщиной 20 мм,
18 8
Рис. I I L Две схемы сварки ст ре менной степенью фокусировки электронного луча:
а — п р и п о с т о я н н о м р а б о ч ем р а с |
|
с т о я н и и , |
н о п ер е м е н н о м т о к е ф о к у |
си р о в к и ; |
б — п р и п е р е м е н н о м р а б о |
чем |
р а с с т о я н и и , |
н о п о ст о я н н о м |
т о к е |
ф о к у си р о в к и : |
|
|
|
/ — |
к атод ; 2 — |
у п р а в л я ю щ и й |
э л е к |
т р о д ; 3 — ан од ; 4 —- ф о к у с и р у ю щ а я си ст ем а ; 5 — о б р а з е ц
В процессе сварки через каждые 60 мм длины шва изменяли фокусировку электронного луча на 4 мА в диапазоне токов фоку сировки от 76 до 100 мА. Таким образом, концентрация мощности при постоянной погонной энергии в процессе наложения сварного шва постепенно увеличивалась, а после достижения максимума уменьшалась. Рабочее расстояние сохранялось постоянным h = = 90 мм (см. рис. 32, а).
Таблица 29
Режимы проплавления с переменной удельной мощ ностью электронного луча
Индекс |
|
|
|
Параметры сварки |
|
|
р еж и м а |
U, кВ |
| |
/ , мА |
|
ц, к а л /с |
Q, к а л /с |
св ар к и |
V , см /с |
|||||
А |
6 0 |
|
6 0 |
0 , 5 5 |
8 6 0 |
1 5 6 5 |
Б |
6 0 |
|
4 0 |
0 , 5 5 |
5 7 5 |
1 0 4 5 |
В |
6 0 |
|
6 0 |
1 ,1 |
8 6 0 |
7 8 5 |
Г |
6 0 |
|
4 0 |
1 ,1 |
5 7 5 |
5 2 0 |
На рис. 112 показаны в увеличенном масштабе очертания зон проплавления, снятые для последующего планиметрирования. Анализ макрошлифов и очертаний зон проплавления показывает, что при постоянном значении погонной энергии можно в широком диапазоне изменять геометрию проплавления с ломощью только одного параметра режима сварки — степени фокусировки элек тронного луча. При этом очертание зоны проплавления изменяется от полукруглого до кинжального, а при больших отрицательных значениях степени фокусировки может переходить в «клыкообраз ное». Максимуму глубины проплавления соответствует минималь ная ширина шва. Зависимость глубины проплавления Н от сте пени фокусировки электронного луча А/ф приведена на рис. 113. Под степенью фокусировки А/ф понимают алгебраическую раз ность токов магнитной линзы при сварке и фокусировке на малом
189
Индекс |
|
|
Ток фокусировки ,мА |
|
|
|
|
|
|
|
режима |
и |
7S |
во |
04 |
|
88 |
32 |
36 |
100 |
|
сварки |
|
|||||||||
|
I |
сепия опытов |
|
|
|
{ |
? |
{ |
10хмм |
|
А |
— |
|
ч |
|
¥ |
№ |
г |
а |
м |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
6 |
— |
р |
¥ |
К П 1Y1i p |
г а |
J V 1 |
||||
— тр |
|
|
|
|
|
|
|
|||
В |
р |
|
1 V Iг а м |
|
г а |
|||||
Г |
— |
м г а |
т |
г а |
г а |
г а |
||||
|
|
|
г а |
|||||||
|
11 |
своия опытов |
|
|
|
f |
|
f |
|
|
л |
и |
р |
р |
|
|
|
г а |
г |
а |
г а |
5 |
|
г а |
Щ |
|
|
ш г а lir a г а |
||||
в |
|
|
т г а |
|
|
|
|
|||
|
г а |
|
г а |
|
|
г а |
г |
а |
г а |
|
|
|
|
|
|
||||||
Г |
£°1г а |
г а |
г а |
|
г а |
г а |
г а |
г а |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 112. |
Геометрия зон |
проплавления |
||||
|
|
|
|
в нержавеющей стали при разной степени |
||||||
|
|
|
|
фокусировки (h ~ |
const) |
|
|
|
Рис. 113. Зависимость глубины проплавле- нияот степени фокусировки для режимов сварки А, Б, By Г