книги из ГПНТБ / Кудрявцев И.Ф. Полупроводниковые пленочные электронагреватели в сельском хозяйстве
.pdfВнедрение предложенной системы требует обоснова ния свойств и расчетных параметров пленочного эле мента сопротивления, электроизоляционных свойств стеклоэмалевого покрытия и допустимых электротерми-
1
Рис. 2. Принципиальная конструктивная схема пленочного электро
нагревателя «металл |
— эмаль — токопроводящая |
пленка»: |
|
1 — рабочая теплоотдающая |
поверхность; 2 — стеклоэмалевая |
изоляция; 3 — |
|
металлический корпус; |
4 — пленочный нагревательный элемент; 5 — контакт |
||
ный |
электрод; 6 — теплостойкое покрытие. |
|
ческих параметров нагревателя, а также рекомендаций по расчету, конструированию н эксплуатации электро тепловых установок с пленочным обогревом. Эти вопро сы рассматриваются в последующих главах.
2. Электронагревательные пленки
Пленки на основе окиси олова. Эти пленки при лю
бом способе получения состоят из двуокиси олова (БпОг), в структуре которых содержатся примеси мо ноокиси олова и металлического олова, а также элек тропроводные добавки. Удельное сопротивление двуоки си олова при температуре 20°С равно 10б—107 Ом • см. Введение добавок окиси меди (СиО) и трехокиси сурь мы (SD2O3) при термообработке пленки снижает сопро тивление ее на 7—8 порядков. Для увеличения электро проводности пленки из двуокиси олова возможна до бавка кристаллического флористого аммония (NH4 F) и окиси индия (1п2 0з).
Химическая реакция при термообработке пленки из хлористого олова протекает следующим образом:
10
SnCl2 + H 2 0 = SnO + 2HC1;
2SnO |
+ 0 2 = |
2Sn02 ; |
, (1.1) |
2SnO |
-* Sn + |
Sn02 . |
|
-Как видно из формул, в результате распада в струк туре пленки появляются примеси атомов металлического олова, повышающие электропроводность олова. Следо вательно, при термической обработке полупроводнико вой пленки происходят два процесса: 1) распад моно окиси; 2) окисление атомов металлического олова кис лородом воздуха. В начальный период термообработки преобладает процесс распада, вызывающий уменьшение сопротивления пленки затем процесс окисления, повы шающий его. Уменьшением сопротивления пленки в на чальный период термообработки при температурах от 400 до 900°С можно пользоваться для корректировки ве личины сопротивления получаемых пленок.
Полученные пленки из двуокиси олова обладают электронной проводимостью, достигающей значения при 20°С 10' О м " 1 см - 1 .
Термический коэффициент сопротивления at отрица тельный, что характерно для полупроводников. Он за
висит от условий термообработки, |
количества добавок |
и достигает значения — 1,37 • Ю - 3 |
. |
°С Наряду с высокой электропроводностью и небольшим
температурным коэффициентом сопротивления электро нагревательные пленки на основе двуокиси олова обла дают также высокой теплопроводностью; по механиче ской прочности они не уступают техническому фарфору, хорошо обрабатываются на шлифовальных кругах. Пленки прозрачны в видимой части спектра, прочно сцепляются с поверхностью стекла, фарфора и керами ки, обладают высокой механической прочностью и хи мической устойчивостью к действию щелочей и кислот. Пленка, обладая высокой химической устойчивостью, в то же время быстро разрушается от действия электро литов (если по ней течет ток), так как при этом проис ходит электролиз. При термических воздействиях до 300°С-электрические свойства пленки не изменяются. Пленка выдерживает длительное воздействие перемен ного и постоянного тока до 15 А/мм2 . Максимальная
11
удельная |
поверхностная |
мощность (по данным |
разных |
|||
|
|
|
Вт |
|
|
|
авторов) |
достигает 5—10 |
. |
|
|
|
|
Ферросилициевые |
|
см2 |
|
|
|
|
пленки. |
Соединение |
технического |
||||
ферросилиция (сплав |
железа с кремнием) |
с |
жидким |
стеклом и водой (силикатом натрия) образует жидкую массу, которую можно наносить на различные электро изоляционные поверхности в виде электронагреватель ной пленки толщиной до 0,2 мм с сопротивлением, до статочным для нагрева этой поверхности при подведе нии переменного тока.
В зависимости от содержания кремния и примесей ферросилиций изготовляется (по ГОСТу 1415—61) сле дующих марок: Си 90, Си 75, Си 25 и Си 18. Для полу чения электронагревательных пленок используются марки Си 75, Си 45, Си 25 и содовое натриевое жидкое стекло.
Химический состав этих марок ферросилиция соот ветствует нормам, приведенным в табл. 2.
Т а б л и ц а |
2. Химический состав |
ферросилиция |
по ГОСТу 1415—61 |
|||
|
|
|
Химический состав, % |
|
|
|
Марна |
Кремний |
Марганец |
X ром |
Фосфор |
Сера |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Не более |
|
|
Си |
75 |
74—80 |
0,7 |
0,5 |
0,05 |
0,03 |
Си |
45 |
40—47 |
0,8 |
0,5 |
0,05 |
0,03 |
Си 25 |
23—30 |
1,5 |
Не нормировано |
0,06 |
0,04 |
|
Нормы на |
содовое |
натриевое |
жидкое |
стекло по |
||
ГОСТу |
13078—67 приведены в табл. 3. |
|
|
|||
При |
смешивании ферросилиция |
с |
жидким стеклом |
и водой в реакцию с кремнием вступает имеющаяся в
жидком |
стекле щелочь NaOH. Химическая реакция про |
|
текает следующим образом: |
|
|
Na |
2 0-nSi02 + mHs O = 2NaOH + nSi02(m — 1)H2 0 |
|
|
2NaOH + Si + H 2 0 = Na2 OSi02 + 2 H 2 1 • |
(2.1) |
Продукты реакции цементируют пленку, а электро проводность ее обусловлена в основном наличием в со ставе металлического железа. Электрическое сопротив-
12
ление ферросилицневой пленки зависит от содержания кремния в составе и срока хранения исходных компо нентов.
Т а б л и ц а 3. Характеристика и химический состав натриевого жидкого стекла в процентах по ГОСТу 13078—67
Марка |
Внешний вид |
Плот ность, г/см3 |
Силикат ный модуль |
Кремнезем |
Окись натрия |
Окись железа |
Окись кальция |
Серный ангидрид |
Стекло |
нат |
Густая |
жид 1,36- |
2,65— 31—33 10-12 0,25 0,20 0,06 |
риевое |
жид |
кость желто 1,50 |
3,40 |
|
кое содовое |
го цвета |
без |
|
|
|
|
видимых |
ме |
|
ханических
включений
Результаты экспериментальных исследований образ цов пленки размером 20x10x0,25 см, изготовленных из состава с различным содержанием ферросилиция по ГОСТу 1415—49, и обработка результатов методом ма тематической статистики позволили получить корреля ционную функцию, выражающую линейную зависимость между содержанием в пасте смеси ферросилиция раз личных марок и сопротивлением, в виде
R = cp + R0 |
Ом, |
' |
(3.1) |
||
где Ro — сопротивление |
образца, |
содержащего 100% |
|||
ферросилиция одной марки, Ом^ |
|
||||
р •— весовая доля |
другой |
марки |
ферросилиция, |
||
дополняющая |
общее |
содержание |
ферросили |
||
ция до 100% в образце, %;. |
|
|
|||
с — постоянный коэффициент, зависящий от сме |
|||||
си марок ферросилиция, Ом/%. |
|
|
|||
Результаты исследований сопротивления |
пленочных |
||||
элементов при различных составах |
приведены |
в табл. 4. |
Значительный интерес представляет изучение изме нения удельного сопротивления пленки р от содержания в ее составе химических компонентов. Это тем более важно, что в настоящее время ГОСТом 1415—61 на фер росилиций предусматриваются маркиферросилиция с иным содержанием кремния в них в сравнении с ГОСТом 1415—49.
13
Т а б л и ц а |
4. |
Сопротивление пленочных элементов |
при различных |
|||||||
|
|
|
составах |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
Предел |
Постоян |
|
|
Состав пленки, |
в. ч. |
Смеси марок |
изменения |
ный |
коэф Коэффици |
|||||
ферросилиция |
_сопротив |
фициент |
ент кор |
|||||||
|
|
|
|
|
|
реляции |
||||
|
|
|
|
|
|
|
ления, Ом |
С, Ом/ к |
||
Ферросилиций |
по |
ГОСТу |
|
|
|
|
|
|||
1415—49 |
(смеси |
|
марок, |
|
|
|
|
|
||
дисперсность 50—70 мк)— |
|
|
|
|
|
|||||
79 |
|
|
|
жидкое |
СцЗЗ—Си45 |
5—25 |
|
0,2 |
0,80 |
|
Стекло натриевое |
|
|
|
|
|
|||||
по |
ГОСТу |
962—41 |
(мо |
|
|
|
|
|
||
дуль |
2,2, плотность |
1,36) |
|
|
|
|
|
|||
—9 |
|
|
|
|
|
СиЗЗ—Си78 |
5—200 |
|
1,9 |
0,82 |
Вода—12 |
|
|
|
|
Сн45—Си78 |
25—200 |
|
1,6 |
0,80 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Анализ экспериментальных данных показывает, что значение обусловлено содержанием в пленке кремния. Изменение содержания различных марок ферросилиция в составе пленки позволяет изменить р в пределах от
0,0625 до 2,4 Ом • см, то есть |
более |
чем в 38 раз. При |
этом одно и то же значение |
может |
быть получено от |
сочетания различных марок ферросилиция. Этот факт позволяет определить влияние общего содержания крем ния на удельную электропроводность пленки. Расчеты
удельного сопротивления для каждой |
из известных сме |
||||
сей показывают, что при одинаковом |
общем |
содержании |
|||
кремния оно различно. |
|
|
|
|
|
Частные зависимости |
р (Si, %) |
для этих смесей |
|||
аппроксимированы |
одной |
общей закономерностью, ко |
|||
торая представлена на рис. 3. |
|
|
|||
В сравнении с расчетными формулами |
абсолютная |
||||
ошибка графика достигает |
± 9 % . Однако |
зависимость |
|||
р (Si, %) глубже |
вскрывает |
общую |
закономерность из |
менения р пленки и может быть использована для рас чета состава пленочного электронагревательного эле мента из ферросилиция по ГОСТу 1415—61. Эксперимент тальная проверка сопротивления образцов пленки под тверждает полученные результаты.
Для расчета р существенное влияние оказывают не которые технологические факторы, в частности, срок хра нения ферросилиция после помола. Установлено, что при длительном хранении сплав ферросилиция распа дается. Распад не связан с каким-либо химическим из-
14
£т |
' I |
/ |
|
Ом-см |
|||
Л |
|||
3,0 |
2,0 |
/ |
|
У |
|||
2,5 |
1,6 |
||
2,0 |
1,2 |
|
|
15 |
0,8 |
|
|
1,0 |
04 |
|
20 |
30 |
40 |
50 |
60 |
70 |
60 |
Sl,% |
О |
100 |
200 |
300 |
400 |
500 |
. 600 |
Тхр.ч |
Рис. 3. Расчетные графики ферросилнциевой пленки. |
|||||||
менением в системе кремний-железо, так |
как порошок |
||||||
ферросилиция |
сохраняет |
металлический |
вид. |
Распад |
ферросилиция происходит от действия находящихся в сплаве примесей Р, S, Са и Al .
В ферросилиции могут образовываться фосфиды, сульфиды и другие соединения, которые, соединяясь с
водородом |
под |
действием |
влаги и |
воздуха, вызывают |
|||||||||
разрушение структуры сплава. |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
Длительное хранение порошка ферросилиция при на |
|||||||||||||
личии воздуха |
(даже |
при |
герметически |
закрытой |
по |
||||||||
суде) |
оказывает |
влияние |
на |
удельное |
сопротивление |
||||||||
пленки> Зависимость |
от |
длительности |
хранения |
пЬмола |
|||||||||
выражается корреляционной зависимостью |
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
рт = |
КТТ* |
л -Р о |
Ом-см, |
|
|
|
|
(4.1) |
||
где |
р х |
удельное |
сопротивление |
пленки |
после |
дли |
|||||||
|
|
тельности |
хранения |
помола |
Тхр, |
Ом • см; |
|
||||||
|
Ро |
удельное |
сопротивление |
плен-ки |
при |
^ х р |
=0, |
||||||
|
|
Ом • см; |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
постоянный коэффициент, Ом-см/ч2 .
15
Зависимости изменения относительного удельного со
противления в |
функции Т х р для пленок, |
изготовленных |
из различных |
марок ферросилиция ^т |
(Тхр), в процен- |
|
Ро |
|
тах показывают, что срок помола ферросилиция оказы вает большее влияние на состав пленки с малым содер жанием кремния,и наоборот.
Установлено, |
что |
коэффициент |
Кт |
для всех |
марок |
|
ферросилиция |
примерно |
одинаков |
и |
равен 5,7- 10 ~~6 |
||
Ом • см/ч2 . Влияние |
срока |
помола |
можно учесть |
одним |
графиком относительного изменения удельного сопро тивления, представленным на рис. 3.
Обе кривые на этом графике можно считать основ ными расчетными зависимостями ферросилициевой плен
ки, позволяющими произвести |
расчет |
состава |
пленки. |
Погрешность расчета не превышает ±9%. |
|
||
Следует отметить слабое |
влияние |
диаметра |
зерна |
помола ферросилиция в пределах 50—80 мк на удельное •сопротивление пленки. Этим влиянием в расчетах р можно пренебречь.
Температурная зависимость удельного сопротивления материала токопроводящей пленки является важным расчетным параметром, определяющим возможность его
использования |
в качестве |
электронагревательного эле |
|||||||
мента. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Для |
полупроводников |
функция |
р(^) |
определяется |
||||
обобщенной экспоненциальной зависимостью |
|
||||||||
|
|
|
|
|
_в |
|
|
|
|
|
|
|
р = р о |
т е т |
Ом-см, |
|
(5.1) |
||
где |
Т — температура, °К; |
|
|
|
|
||||
|
роо — удельное |
объемное сопротивление, |
условное |
||||||
|
|
при |
бесконечно |
большой |
температуре, |
||||
|
|
Ом • см; |
|
|
|
|
|
|
|
|
В — коэффициент, зависимый от состава, °К. |
||||||||
|
Формула с достаточной точностью описывает зави |
||||||||
симость |
лишь |
для |
практически |
чистых |
полупровод |
||||
ников. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Технология |
изготовления |
и исходные |
компоненты |
|||||
•ферросилициевой пленки |
обусловливают |
значительное |
|||||||
количество примесей. |
|
|
|
|
|
|
|||
|
В процессе экспериментального изучения зависимо |
||||||||
сти |
сопротивления образцов |
ферросилициевой |
пленки в |
16
Рис. 4. • Зависимость термического коэффи циента сопротивле ния ферросплициевой пленки от содер
жания кремния.
диапазоне 20—300°С было установлено, что оно с до статочной степенью точности описывается линейным уравнением
Я, = |
Д а о [ 1 -|- a,(t - 20)] Ом. |
(6.1) |
||
Преобразование |
формулы |
относительно |
удельного |
|
сопротивления и |
обработка экспериментальных данных |
|||
at для составов |
пленок при |
различных соотношениях' |
марок ферросилиция относительно общего содержания
кремния позволила |
получить зависимость |
ut |
(Si, %) |
при 3 3 % < S i < 7 8 % |
(рис. 4). Тогда |
|
|
а, = (0,0033Si% - 0,436)- Ю - 3 - i |
- . |
(7.1) |
|
|
С |
|
|
Ошибка расчета не превышает ± 3 % . Температурная зависимость удельного сопротивления пленки с учетом (7.1) имеет вид
р, = Р м [ 1 _ (0,0033Si % — 0,436)(f — 20) • 10~3] Ом • см. (8.1)
Удельное сопротивление пленки с ростом температу ры падает, что характерно для полупроводников. Одна ко линейный характер этой зависимости, а также ма лое значение at по абсолютной величине указывают на тот факт, что ферросилициевая пленка по своим элек трическим свойствам значительно - отличается от извест ных полупроводниковых материалов. Состав пленки относится к классу вырожденных электронных полу проводников, свойства которыхзависят в первую оче редь от свойств ее примесей.
С другой стороны, малое абсолютное значение тем пературного коэффициента сопротивления, незначитель но зависящее от состава, является положительным свой-
ством ферросилициевой пленки. Это позволяет созда вать пленочные нагреватели с относительно стабильной мощностью в значительном диапазоне температур на грева, так как удельное сопротивление пленки при тем пературе от 20 до 300°С уменьшается всего на 6—9%.
Ферросилпциевая пленка имеет характерный темносерый цвет. Коэффициент линейного расширения ферросилициевой пленки такой же, как и в углеродистых ста лях, поэтому, лучшие результаты получаются при изго товлении пленочных нагревателей на стеклоэмалироваиных стальныхповерхностях. Адгезия пленки к стеклоэмали зависит от химической стойкости покрытия. Луч шие результаты дают эмали, вступающие в слабую химическую реакцию выщелачивания стекла под дей ствием раствора щелочи в пленке. В этом случае воз никает прочный промежуточный слой между пленкой и эмалью, обладающий достаточной адгезией к обоим по крытиям.
Ферросилпциевая пленка поглощает влагу, однако кратковременное воздействие воды не разрушает пленку и после высыхания ее сопротивление восстанавливается.
Максимальная температура пленки достигает 300°С, допустимая удельная мощность — 1—5 Вт.
3. Стеклоэмалевая изоляция
Стеклоэмали представляют собой стекла сложного химического состава, получаемые сплавлением некото рых горных пород (кварцевый песок, полевой шпат н
пегматит, вводящих основную часть — кремнезем |
Si02 ) |
с плавнями (содой, бурой, поташом, селитрой), |
глуши |
телями и красителями (плавиковым шпатом, криолитом, кремнефтористым натрием; окислами олова, сурьмы, циркония, меди, хрома, кобальта, никеля, титана и дру гих металлов). Сплавление эмалей производится на спе циальных заводах по производству силикатов [2, 4].
На заводы по производству эмалированной аппара туры и изделий эмали поступают в гранулированном виде, Размол и приготовление эмали для нанесения на металл производится обычно в виде водной суспензии или так называемого эмалевого шликера, наносимого на металлические поверхности методом пульверизации или окунания. Заключительными операциями являются
18
сушка покрытия при температуре до 150°С и сплавле ние в высокотемпературной печи при 600—1000°С (в за висимости от температуры плавления эмали). Эмалиро вание широко применяется для антикоррозийного, элек тро- и теплоизоляционного покрытия металлических изделий.
Толщина стеклоэмалевого покрытия обычно бывает от 0,1 до 0,6 мм и зависит от взаимной связи термиче ских коэффициентов расширения эмали и металла.
Для лучшего сцепления эмалевого покрытия с ме таллом применяют специальные тонкие промежуточные грунтовые эмалевые покрытия.
По химическому составу стеклоэмали представляют собой различные сочетания кислотных, щелочных, ще лочноземельных амфотерных окислов и фторидов. Фи зические свойства стеклоэмалевых покрытий являются функцией химического состава.
Механические, термофизические и некоторые элек трические свойства стеклоэмалей с известным прибли
жением |
подчиняются |
закону |
аддитивности и опреде |
||||
ляются по формулам |
|
|
|
|
|
||
|
|
i=n |
|
|
l=n |
|
|
|
|
а ^ q-fli |
или |
|
m A'> |
(9-1) |
|
|
|
i=l |
|
|
i=l |
|
|
где |
а — свойство |
стекла; |
|
|
|||
q( |
и mi |
—' весовые |
или молярные части' окислов в |
||||
|
|
стекле |
(в частном |
случае |
проценты или |
||
|
_ |
доли); |
|
|
|
|
|
|
at |
— числовые |
характеристики |
парциальных |
|||
|
|
свойств |
|
окислов в |
стекле, |
являющиеся |
|
|
|
в общем случае переменными и завися |
|||||
|
|
щими от структуры |
стекла. |
|
|||
На |
физико-механические |
свойства пленочного элек |
тронагревателя существенное влияние оказывают проч ность, упругость, теплоемкость, теплопроводность и тер мическое расширение стеклоэмалевой изоляции. Рас четы этих свойств стеклоэмалей Могут быть произведе ны по формуле (9.1) на основании их состава.
Приближенный расчет аддитивных свойств стеклоэмалевой электроизоляции стекол и эмалей произво дится с учетом данных, приведенных в табл. 5. Для сравнения в таблице даны количественные значения
19