книги из ГПНТБ / Гущо Ю.П. Фазовая рельефография
.pdfДля значений
а- < 0 , 9 6 ^ -
Рп |
направлено внутрь |
деформируемого |
слоя |
при |
k<0 |
и в обратную сторону при k>0. |
|
|
|
||
|
Для значений |
|
|
|
|
|
|
а ^ 0 , 9 6 - ^ - |
|
|
|
рп |
направлено внутрь |
деформируемого |
слоя |
при |
&>0 |
и в обратную сторону при /г<0. |
|
|
|
Перейдем теперь к анализу поведения Fn и Ft для общего случая. С этой целью воспользуемся графиками зависимостей Fn и Ft от х для ряда значений к (рис. 2-6 и 2-7). Поскольку указанные графики симметричны от носительно оси ординат, Fn и Ft на этих рисунках изо бражены только в интервале х от 0 до +0,5/?г.
Рассмотрим сначала зависимость нормальной состав ляющей плотности деформирующих сил при наиболее употребимом отношении mjd= 1 (рис. 2-6). В централь ной зоне, составляющей около 90% ширины заряжен ной полосы, с увеличением k величина Fn растет, причем более значительно при больших k. В этой зоне действие сил направлено внутрь деформируемого слоя. Вследст вие влияния касательной составляющей напряженности поля для значений /е<0 по мере приближения к краю наблюдается резкое увеличение плотности нормальных сил, также направленных внутрь слоя. На краю полосы для значений k> 0 направление действия нормальных сил по сравнению с их направлением в центральной зоне изменяется на противоположное.
На рис. 2-7 построено семейство кривых Fn для от ношения m/d = 4. Как видно из этого рисунка, по срав нению с предыдущим случаем семейство кривых Fn в центральной зоне заряженной полосы «сжимается и передвигается» в сторону больших величин сил. С уве личением отношения mid в 4 раза характер краевых эффектов изменяется очень незначительно.
На рис. 2-6, кроме Fn, показано также распределе ние нормальной плотности касательных сил Ft вдоль оси х. Величина Ft растет пропорционально Et и по мере приближения к краю заряженной полосы устрем ляется к бесконечности. При этом в каждой точке х
50
значение Ft растет с увеличением k. Ft практически мало зависит от отношения mjd по крайней мере в диа пазоне mid от 0 до 4.
Необходимо отметить, что расчет сил одиночной полосы для любого закона распределения заряда (а не
Рис. 2-6. Графики зависимостей Fn (сплош ные линии) и Ft (точечные линии) от отноше ния х/m при m =d.
только равномерного) на краю полосы приводит к полу чению бесконечных значений Fn и Ft, за исключением случая £ = 0, при котором Fn не зависит от Е{. Для k = 0 величина Fn на краю заряженной полосы конечна, a Ft и в этом случае устремляется к бесконечности. Хотя эти силы на краю полосы и могут достигать очень больших значений, однако согласно закону сохранения энергии их величина должна быть конечна. Расхождение между теорией и физическими представлениями в данном слу-
4* 51
чае объясняется приближениями, которые приняты при расчете электрических полей в теории сплошных сред [Л. 53]. Не останавливаясь более подробно на этом во просе, укажем, что расчет Fn и Ft оказывается тем точ нее, чем дальше от края находится рассматриваемая
Рис. 2-7. Графики зависимостей F„ от отноше ния х/т при m=4d.
точка х заряженной полосы. Практически минимально допустимое расстояние до края полосы при расчете составляет менее 1 % от ширины иг.
2-4. Анализ электростатических сил при объемно-поверхностном заряде
Объемно-поверхностное распределение заряда имеет место главным образом при записи информации элек тронным лучом на термопластических слоях толщиной не более ]0 мкм, В настоящее время проблема распре
деления заряда в толще слоя, деформируемого при записи электронным лучом, совершенно не исследована. Литературные данные позволяют лишь ориентировочно судить о положении геометрического центра заряда, а ие о его пространственном распределении. Считается, что геометрический центр располагается на глубине около 3 мкм от поверхности деформируемого слоя [Л. 54]. Подобное распределение заряда может возникнуть не только при записи электронным лучом, но и при заряд ке поверхности ионами от какого-либо источника в слу чае, если часть заряда начнет дрейфовать внутрь деформируемого слоя.
Объемный заряд, попадающий внутрь слоя, ослаб ляет действие поверхностного заряда. Оценим количе ственно степень ослабления поверхностных сил в за висимости от соотношения поверхностного и объемного зарядов.
Рассмотрим равномерную по ширине дорожки т за рядку деформируемого слоя, считая для простоты, что
Sl= 82-
Пусть oi — плотность электрического заряда, наноси мого электронным лучом или короной на деформируе мый слой, а б — коэффициент осаждения заряда, кото рый показывает, какая часть заряда щ остается на его поверхности. Тогда cr= 6o'i — плотность заряда, остав шегося на поверхности.
Положим, что заряд, проникающий в слой, распре делен равномерно по его толщине. При этих условиях нормальную плотность электростатических сил на по верхности слоя с учетом ослабляющего действия поля
объемного заряда |
(рис. 2-8) |
можно определить по фор |
|
муле |
|
|
|
^ = |
2 ^ г И" + |
5"(1-8)/81, |
(2-21) |
где
А0= arctg а° -{- arctg 6°; В0 = 2А° — 2 (arctg 2а° -f-
arctg 26°) -f- a0In [(а0)2 —{- 1]/(1 — 4/а°)2 -f- + 6°ln[(fc°)2- f 1]/(1+4/6“)2;
а° = (m -f- 2x)f Ad; b°= (m — 2x)[4d.
Вывод выражения (2-21) приведен в приложении 2. Из выражения (2-21) легко получить формулу для рпределения критической величины коэффициента 6,
й
при которой плотность сил на поверхности равна нулю
(Рп = 0 ) :
Так, |
если |
х= 0, |
in= d, то критическая величина |
бо = 0,68. |
При |
х= т /2 |
и m = d величина бо = 0,82. Следо |
вательно, при проникновении более 30% заряда в толщу деформируемого слоя при определенных условиях про
явления его свободная поверхность |
может |
подняться. |
Рис. 2-8. График равномерного рас |
||
пределения заряда по |
толщине де |
|
формируемого |
слоя и его зеркальное |
|
изображение. |
|
|
/ — деформируемый слой; |
2 — металличе |
|
ская подложка; |
3 — собственный заряд; |
|
4 — отраженный |
заряд. |
|
Это явление часто наблюдают на практике при дли тельной зарядке термопластика до предельной плотно сти заряда с » 10~Gк/см2.
Расчет плотности приложенных к поверхности элек тростатических сил в случае экспоненциального рас пределения заряда по объему слоя изложен в (Л. 55].
2-5. Постоянные времени движения заряда и релаксации сил
При рассмотрении движения заряда (стенания заря да в толщу слоя и растекания по его поверхности) положим, что изменение заряда q во времени происхо дит по закону
q (х, у, t) = q {х, у) e~(/z, |
(2-22) |
где х — постоянная времени движения заряда. Уравнение (2-22) достаточно точно описывает дви
жение заряда в диэлектрических средах при напряжен ностях электрического поля, не достигающих порога пробоя.
При этих допущениях постоянную т для плотности заряда а(х, у), распределенного на границе раздела
54
сред 1 и 2 (см. рис. 2-1), можно определить по формуле
|
' (*. |
У |
) |
|
|
|
|
|
. |
! |
дЕ<* |
dElV |
|
(2-23) |
|
|
П |
|
|
ду |
|
|
|
где %vi\ ^V2 — удельные |
объемные электрические |
про |
|||||
водимости слоев |
1 |
и |
2; |
%s — удельная |
поверхностная |
||
электрическая проводимость |
на границе |
раздела |
слоев |
||||
1 и 2; Еin, Егп, |
Etx, |
Е1у— нормальные |
и касательные |
составляющие напряженности поля в рассматриваемой точке на границе раздела слоев 1 и 2. Вывод формулы (2-23) приведен в приложении 3.
Рассмотрим движение поверхностного заряда с пе
риодическим законом распределения вида |
|
|
а(х, t) = а0е—г^° -(- а, |
cos фх, |
(2-24) |
где to — постоянная времени движения заряда, нанесен ного равномерно; %i — постоянная времени движения заряда, нанесенного на слой по гармоническому закону
с частотой р. |
(2-24), |
(П 1-6) — (П 1-8) |
в |
(2-23), после |
||||||||
Подставив |
||||||||||||
преобразований получим: |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
1 |
|
*V\ |
. |
|
|
|
(2-25) |
||
|
1 _ - |
'Ч) |
|
еое1 |
|
|
|
|
|
|||
|
1 |
1 |
1 |
|
-4- |
1 |
|
|
(2-26) |
|||
|
"И |
■ т |
t |
- |
|
1 - * |
|
|
|
|||
|
|
XV\ |
|
ZV2 |
|
S |
|
|
|
|||
1 |
ХГ1 |
|
|
1 |
|
|
|
xl/l |
1 . |
(2-27) |
||
Ти1 |
еое1 |
(£s/£,)thpd + |
1 — eosj |
4i |
||||||||
|
||||||||||||
1 _ |
ХУ2 |
|
th prf |
|
|
_ XK2 |
|
1 |
(2-28) |
|||
Va |
eoei |
(e*/ei) th H + |
1 |
|
e„ei |
1°, ’ |
||||||
|
|
|||||||||||
1 _ |
хз |
|
pdthpd |
|
_ |
XS |
|
1 |
(2-29) |
|||
|
|
(ej/e,) th pd + |
1 |
eoEid |
Q |
|||||||
|
|
|
Из рассмотрения этих формул следует, что движе ние заряда нулевой и основной частот происходит с различной постоянной времени в зависимости от ве личин и соотношения физических и геометрических параметров.
55
Графики частотных зависимостей нормированных постоянных времени т^, t°v,, и х^ для ряда значений коэффициента отражения k построены на рис. 2-9 и 2-10-
Рис. 2-9. Графики зависимостей 1/т°] и 1/т^2
от нормированной частоты pd для различных значений k.
Как следует из графиков, процесс растекания заря да на поверхности раздела слоев 1 и 2 и стенания в их толщу с увеличением k замедляется для всех фиксиро ванных значений pd.
Рис. 2-10. График зависимости 1/т3° от нор мированной частоты (W для различных зна чений /г.
56
При 13d>0,75jt |
величина thprf стремится к 1 и выра |
|||
жение (2-26) с учетом |
(2-27) — (2-29) |
принимает |
вид: |
|
|
— = |
е 0 Oi + ег) |
(2.30, |
|
|
■ч |
' |
; |
|
При f}d<0,75u |
кривые |
частотных зависимостей |
для |
I/t”, растут, а для 1/г°2 снижаются, сближаясь по мере
увеличения рd для каждого значения /г к одной незави симой от р<7 величине (рис. 2-9).
Кривые частотных зависимостей 1/т° (рис. 2-10) под
нимаются с увеличением Щ, и при рd > 0,75тс их можно рассчитать по упрощенному выражению:
J ___ re$d
1% £1+ Е2
Из анализа этих характеристик (рис. 2-10) следует, что с увеличением периода электрического растра К по стоянная времени ts возрастает. Это положение хорошо согласуется с физическим представлением о растекании заряда по поверхности слоя.
Если постоянные времени движения заряда извест
ны, то закон |
релаксации |
сил, |
учитывая выражения |
||||
(2-15) |
и (2-16), можно записать в виде |
|
|||||
рп{х, |
t) |
2е0е, |
|
:0 (е2 O’ |
+ £l) |
cos [Зл:; |
|
|
|
|
(2-31) |
||||
|
|
|
|
o0ti, th (?d |
|
||
|
|
Pt(x, |
t) |
sin ax, |
(2-32) |
||
|
|
eo (e2 th Pd + e,) |
|||||
|
|
|
|
|
|
||
где xpo=Xol2 — постоянная |
времени релаксации сил ну |
||||||
левой |
частоты; |
tpi=ToTi/(to+Ti) — постоянная |
времени |
релаксации сил основной частоты; То и tj определяются формулами (2-25) и (2-26).
ПОСКОЛЬКУ Тро И Tpi |
раЗЛИЧНЫ (обЫЧНО |
T p o> T p i), |
релаксация сил нулевой |
и основной частот |
в общем |
случае происходит за различные интервалы времени.
Определим теперь постоянную времени движения заряда, нанесенного на слой в виде одиночной равномер но заряженной полосы шириной т, заряд с которой релаксирует по закону
a |
]= a0e~tl'c, |
(2-33) |
где х — искомая постоянная времени движения |
заряда. |
57
Из (2-23) с учетом (П1-12) —(П1-16) найдем:
(2-34)
|
Т К 1 |
Г |
|
-г |
2 |
> |
1 |
|
|
|
V |
|
x s |
||
|
|
x v i |
|
|
|
е 2 я |
) |
V |
I |
Е 0 Е 1 ( Е 1 + |
е 2 ) |
||||
|
|
||||||
|
|
* 1 / 2 |
0 |
— |
а ) . |
||
Т К 2 |
Е о |
( |
е 1 |
+ |
Е г ) |
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
* |
Х |
|
|
X S |
— |
Е о т |
( е , |
+ |
е а ) |
|
|
|
|
|
(2-35)
(2-36)
(2-37)
где
|
|
|
[ = 0 |
|
|
2 т ( т + 2 х ) |
2 т (т — 2 х ) |
1. |
|
X [4d ( »+! ) ] * + |
(/ и+ 2jc)* [4d ( / +! ) ] = + ( / и- 2 х ) > ’ |
|||
а в общем |
случае |
определяется |
по формуле |
(П1-15), |
а при |/e|sc;0,3 H.m/d<;4— по формуле (П1-17). |
что ве |
|||
Анализ |
формул |
(2-34) —(2-37) |
показывает, |
личины Tvi, Ху2 мало меняются с изменением х по ши рине дорожки т. Величина t S) мало изменяясь в сере дине полосы, резко уменьшается на ее краю из-за краевого эффекта.
Если значение ts известно, то расплывание заряжен ной полосы можно приближенно определить по формуле
m(t) = me~tl'ts ,
где т — начальная ширина полосы.
Используя выражения (2-20) и (2-34), получаем закон изменения плотности сил во времени одиночной полосы:
P n{x,t) — 2 |
Fne |
р; |
(2-38) |
ze0ej |
|
|
|
pi{x, t) = 2 PV~Fte |
‘hp, |
(2-39) |
где тр=т/2.
Постоянная времени релаксации сил в этом случае оказывается вдвое меньше, чем постоянная времени движения заряда,
5?
2-6. Расчет электростатических сил, действующих на незаряженные деформируемые слои
Перейдем к расчету деформирующих сил для второй группы методов электрической и оптической записи, при которых заряд в деформируемый слой не вносят. Этот слой помещают в электрическое поле, управляемое внешним сигналом, и рельеф на его свободной поверх ности создают благодаря различию диэлектрических проницаемостей слоя и окружающей среды.
Типичными представителями этой группы являются усилитель и преобразователь оптических сигналов с про дольным или продольно-поперечным полем, в том числе и металловолоконный преобразователь. Сюда же мож но отнести и индукционную запись, при которой заря женный диэлектрический слой сближают с деформируе мым слоем, не допуская их соприкосновения.
Как следует из (2-1'), на невозмущенной поверхно
сти незаряженного |
деформируемого слоя |
действуют |
силы |
|
|
Рп= 4 |
{Е1ПЕт + Е*); |
(2-40) |
|
Pi = 0. |
|
Формула (2-40) |
показывает, что полезные деформа |
ции возникают благодаря изменению как нормальной, так и тангенциальной составляющих электрического поля. Другими словами, модуляции напряженности по ля с помощью входного сигнала, хотя бы по одной из трех координат, преобразуются в поверхностную нор мальную плотность сил. Нормальные силы при ехфег отличны от нуля и всегда направлены в сторону мень шей диэлектрической проницаемости. Касательные же силы для незаряженных слоев равны нулю.
Для второй группы методов рельефной записи наи более характерно периодическое распределение потен циала ф(х) вида (2-11) на управляющем электроде.
Для этого распределения ср(х) составляющие напря женности электрического поля Е1п, Епг и Et, входящие
в формулу |
(2-40), приведены в приложении |
1. В част |
ном случае, если |
|
|
|
ф(х) = t/0+ t/icos (Зх, |
(2-41) |
плотность |
деформирующих сил рп можно |
определить |
по формуле (ifll-26). |
|
59