Основные направления разработок современных изделий МСТ
Класс объектов МСТ |
Направление разработок |
|
|
|
|
Микроэлектромеханич |
|
|
еские системы и |
Микромеханизмы, микропривод, микродвигатели |
|
машины |
||
|
||
Оптико-механические |
Микрооптика, оптико-механические интегральные |
|
микросистемы |
схемы |
|
Биотехнические |
Миниатюрные автономные системы для |
|
микросистемы |
диагностики организма и замещения органов |
|
Микросистемы |
Автономные миниатюрные источники энергии, |
|
энергообеспечения |
микротурбины, микросистемы рекуперации энергии |
|
Сенсорные |
Мультисенсоры, интеллектуальные сенсоры, |
|
микросистемы |
сенсоры с обратной связью |
|
Микроаналитические |
Миниатюрные аналитические приборы |
|
системы |
||
|
||
Технологические |
Микрореакторы, микроинструмент, |
|
микросистемы |
микрорегуляторы, микронасосы |
|
Мини- и микро- |
Автономные многофункциональные |
|
робототехнические |
диагностические и технологические мини-системы |
|
|
|
|
системы |
для специальных условий эксплуатации |
МСТ/МЭМС в биотехнике
Разновидности МСТ: биотехнические и аналитические микросистемы для биомедицинского анализа, во многих из которых выполнение запрограммированных операций и функций осуществляется на клеточном или молекулярном уровне, и так называемые биологические или капиллярные микрочипы, которые не являются интегральными схемами в привычном понимании [1].
1.Зимина Т.М., Лучинин В.В., Крапивина Е.В., Ресин А. С. Микросистемная техника и проблемы биомедицинского анализа. Микросистемная техника, 2000, №2.