Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Троян Физические основы методов исследования наноструктур и поверкхности 2014

.pdf
Скачиваний:
38
Добавлен:
12.11.2022
Размер:
9.45 Mб
Скачать
Mn3s

(Mn2 ) 1s 2 2s 2 2 p6 3s1 3p6 3d 5 ,

взаимодействие которого с неспаренными d-электронами приводит

Рис. 2.25. РФЭ спектр уровня Mn3s в соединении MnF2 с мультиплетным расщеп-

лением на два состояния 5 S и 7 S . Величина энергии мультиплетного расщепле-

ния EMn3s E(5 S) E(7 S) 6.5 эВ [9]

к образованию двух конечных состояний: 7 S ( L 0, S 72 ) с па-

раллельными спинами и 5 S ( L 0, S 2 ) с антипараллельными спинами неспаренных электронов. Энергия мультиплетного расщепления уровня Mn3s составляет E E(5 S) E(7 S) 6.5 эВ,

а отношение интенсивностей I (7 S ) / I (5 S ) 2 . РФЭ спектр муль-

типлетного расщепления уровня Mn3s в соединении MnF2 представлен на рис.2.25.

Для уровней с большим значением орбитального момента конечных состояний оказывается больше двух и мультиплетное расщепление спектральной линии носит более сложный характер. Так,

уровень Mn3р ( l 1) в соединении MnF2 расщепляется на четыре компоненты, соответствующие четырем возможным конечным со-

стояниям с термами 5 P1 , 5 P2 , 5 P3 и 7 P . Наибольшей интенсивностью обладает линия, отвечающая состоянию 7 P .

91

Сателлиты встряски, стряхивания и асимметрия спектров

Как уже упоминалось выше, процесс фотоионизации сопровождается эффектом экранировки образовавшейся остовной дырки (релаксацией электронной системы), в результате которого происходит выделение энергии (энергии релаксации R). Эта энергия уносится покидающим атом фотоэлектроном. Вместе с тем появления потенциала остовной дырки, образовавшейся вследствие фотоионизации, может вызывать перестройку электронной системы с возбуждением валентных электронов в вышележащие свободные уровни энергии. В этом случае энергия, затрачиваемая на электронные возбуждения, эффективно отбирается у вылетающего фотоэлектрона. В результате кинетическая энергия КЕ регистрируемого анализатором фотоэлектрона уменьшается на величину энергии возбуждения E . Вследствие вероятностного характера процесса электронных возбуждений в измеряемом РФЭ спектре будет наблюдаться основная спектральная линия, определяемая фотоэлектронами, не испытавшими потери энергии, и ее сателлит со стороны больших значений энергии связи (меньших кинетических энергий), отстоящий от основной линии на энергию E . Такие сателлиты называ-

ют сателлитами встряски (shake-up satellites),.

Можно рассматривать два типа возбуждений в твердом теле, приводящих к появлению сателлитов встряски. В органических веществах наблюдаются сателлиты встряски, возникающие вследст-

вие электронных переходов * между связывающими и разрыхляющими - орбиталями. Величина E при этом может составлять 15 эВ, а интенсивность сателлитов достигает 5-10% от интенсивности основных линий. В качестве примера на рис.2.26 показан спектр линии кислорода O1s в полиэфирэмиде Kapton HNTM со структурой сателлитов встряски [19]. В неорганических веществах сильные сателлиты встряски наблюдаются для соединений некоторых переходных и редкоземельных металлов с неспаренными электронами на 3d и 4f оболочках. В этом случае наличие сателлитов

92

E ~ 0

Рис.2.26. РФЭ спектр линии кислорода O1s в полиэфирэмиде Kapton HNTM с сателлитами встряски (компоненты 3-5) [19]

обусловлено сильным конфигурационным взаимодействием и электронным переносом в конечном, ионизованном состоянии [19].

В металлах в отсутствие запрещенной зоны энергия электронных возбуждений не ограничена снизу. Это дает возможность возбуждения электронов с уровня Ферми на свободные вышележащие уровни с энергией возбуждения E 0 . В том случае, когда процесс фотоионизации происходит быстро по сравнению с процессами электронной релаксации (т.е. в приближении внезапного возмущения), в металлах происходит явление многоэлектронных возбуждений электронов проводимости с малыми энергиями вблизи поверхности Ферми. Как отмечалось выше, энергетический

спектр таких электронных возбуждений (называемых еще возбуждениями электрон-дырочных пар) носит сингулярный характер, что приводят к появлению затянутого асимметричного хвоста в фотоэлектронном спектре со стороны меньших значений КЕ (больших значений ВЕ). Количественно асимметрия РФЭ линий описывается асимметричной функцией Дониаха–Шуньича (см. выражение (2.51)). Индекс сингулярности , являющийся количественной мерой асимметрии линии, определяется плотностью электронных со-

стояний на уровне Ферми F и экранированным потенциалом взаимодействия остовной дырки с электронами проводимости U.

93

Как уже отмечалось в разделе 2.6.1, в приближении ферми-газа индекс сингулярности представляется в виде:

F2U 2 .

(2.70).

В соответствии с данным выражением более асимметричные линии остовных уровней наблюдаются у металлов с высокой плотностью состояний на уровне Ферми. Так, для платины с высокой плотно-

стью состояний на уровне Ферми ( F 2.87 эВ-1), определяемой

d-электронами (атомная конфигурация платины Pt [...]5d 10 ), индекс сингулярности для спектра остовного уровня Pt 4f составляет0.22 , в то время как для соседнего золота с малой плотностью состояний на уровне Ферми ( F 0.25 эВ-1), определяемой s-

электронами (атомная конфигурация Au [...]5d 10 6s1 ) индекс син-

гулярности уровня Au 4f составляет 0.05 . Различие в степени асимметрии фотоэлектронных линий остовных уровней данных металлов хорошо заметно в РФЭ спектрах, приведенных на рис.2.27.

Рис.2.27. РФЭ спектры остовных 4f уровней и валентной 5d6s зоны платины и золота. Обратите внимание на связь между степенью асиметрии остовного уровня и плотностью состояний вблизи уровня Ферми (ВЕ=0 эВ) [15]

В простых металлах индекс сингулярности Андерсона α может быть также выражен через фазовые сдвиги l , определяющие рас-

94

сеяние электронов проводимости с орбитальным моментом l на по-

тенциале остовной дырки (P. Nozières, C.T. de Dominicis, 1969 21):

 

 

l

2

 

2(2l 1)

 

.

(2.71)

 

l

 

 

 

 

В случае полной экранировки электронами проводимости остовной дырки фазовые сдвиги l на уровне Ферми должны удовлетворять правилу сумм Фриделя22):

 

 

l

 

Z 2(2l 1)

 

,

(2.72)

 

l

 

 

 

где Z=1 – заряд остовной дырки. Используя выражения (2.71) и (2.72) можно из экспериментальных значений индекса сингулярности рассчитать фазовые сдвиги электронов, рассеивающихся на потенциале остовной дырки в процессе экранировки.

В описанных процессах возбуждение электронов происходило в связанные состояния, и конечное состояние соответствовало возбужденному атому. В том случае, когда при возбуждении электрон переводится из связанного состояния в атоме в свободное состояние непрерывного спектра, и конечным состоянием является состояние иона с вакансиями на валентном и остовном уровне, процесс электронного возбуждения называют стряхиванием электрона (shake-off), а возникающие в спектре сателлиты – сателлитами стряхивания. В силу того, что спектр энергии свободного электрона является непрерывным, сателлиты стряхивания являются более «размытыми», чем сателлиты встряски, а в некоторых случаях могут приводить лишь к асимметрии спектральных линий.

Сателлиты плазмонных возбуждений

Рассмотренные в предыдущем разделе сателлиты обусловлены потерями энергии фотоэлектрона на одноэлектронные возбуждения или многоэлектронные возбуждения электрон-дырочных пар. Помимо этого существует еще один тип многоэлектронных возбуждений: коллективные колебания электронов проводимости, называемые плазмонными колебаниями. Плазмон – это квазичастица, энер-

21)P. Nozières, C.T. de Dominicis // Phys. Rev. 178 (1969) p.1097.

22)Д.Займан, Принципы теории твёрдого тела, М: Мир, 1974.

95

гия которой pl равна энергии возбуждения одного коллективно-

го электронного колебания с частотой pl (плазмонной частотой).

Для вывода выражения для частоты плазмонных колебаний рассмотрим наглядный пример. Пусть в некотором объеме электронного газа V с равновесной электронной плотностью n N /V , где N – общее число свободных электронов, произошло мгновенное

изменение электронной плотности, т.е. локальное изменение поло-

 

 

 

жения электронов от r

до r

dr . Тогда число появившихся в объ-

еме V избыточных электронов из сферического слоя радиуса r и толщиной dr есть:

dN n 4 r2dr .

Появление дополнительного электронного заряда приводит к возникновению электрического поля напряженностью

dE edNr 2 4 endr,

действующего на электроны с силой

dF edE 4 e2ndr ,

стремящейся вернуть их в положение равновесия. Уравнение движения электронов под действием этой силы запишется в виде

 

 

dF

 

 

mdr

 

или

 

 

 

 

 

(4 e

2

n / m)dr 0 .

(2.73)

dr

 

Полученное выражение представляет собой уравнение движения гармонического осциллятора с частотой

pl

 

4 e2 n

 

,

(2.74)

m

 

 

 

 

 

которая и есть частота плазмонных колебаний, определяющаяся электронной плотностью.

Для задачи о колебании электронной плотности в двумерном слое (на поверхности твердого тела), ограниченном средой с диэлектрической проницаемостью , частота поверхностных плаз-

монных колебаний в 1 раз меньше частоты объемных плазмонных колебаний:

surf

pl /

1

.

(2.75)

96

Рис. 2.28. РФЭ спектр линии Al 2s с серией объемных (Р16) и поверхностных (S1-

S6) плазмонных сателлитов. Основная линия Р0 показана в уменьшенном масштабе

[9]

Так, для границы твердое тело – вакуум (ε=1) частота поверхностных плазмонных колебаний в 2 раз меньше pl .

Возбуждение плазмонных колебаний может происходить одновременно с рождением фотоэлектрона, а также по мере его движения в твердом теле. В первом случае говорят о внутренних (intrinsic), а во втором – о внешних (extrinsic) плазмонах по отношению к процессу фотоионизации.

Энергия плазмонных колебаний квантуется и составляет

E pl pl .

Потери энергии фотоэлектрона на возбуждение плазмонов проявляются в виде сателлитов со стороны больших энергий связи (меньших кинетических энергий) относительно основного фотоэлектронного пика. Поскольку один фотоэлектрон может возбудить последовательно несколько плазмонных колебаний, обычно в спектре наблюдается серия из равноудаленных друг от друга плазмон-

ных сателлитов с энергиями E pl k pl , где k=1, 2, 3..., интен-

сивность которых уменьшается с увеличением k.

В РФЭ спектрах плазмонные сателлиты наблюдаются для простых металлов (Na, Al, Mg) и полупроводников (Si, Ge). Характерные энергии плазмонных потерь составляют 5÷15 эВ. Так, для

алюминия энергия объемного плазмона равна pl 15.3 эВ, а

97

поверхностного – surf 10.8 эВ. Типичный спектр плазмонных сателлитов для линии Al 2s приведен на рис.2.28.

2.6.3.Эффект статической зарядки непроводящих образцов

Эффект зарядки происходит в том случае, когда исследуется непроводящий (диэлектрический) или проводящий, но изолированный от контакта со спектрометром образец. В процессе РФЭС анализа в системе «образец-спектрометр» устанавливается равновесие

между током I1 эмиссии фото-, оже- и вторичных электронов, покидающих образец, и током I 2 падающих на образец вторичных

электронов, возбуждаемых рентгеновским излучением в стенках вакуумной камеры, держателе образца и прочее. В результате, в за-

висимости от соотношения токов I1 и I 2 на образце устанавлива-

ется равновесный статический заряд.

Рассмотрим характерные области формирования заряда в образце, взяв за начало отсчета поверхность образца, и направим ось z в глубь образца к держателю. Пусть h ~ 1 мм – толщина исследуемого образца. Область проникновения рентгеновского излучения в образец составляет Rhv ~ 0.1 10 мкм. В пределах этой области

происходит рождение фото- и оже-электронов, а также вторичных электронов с энергиями KE hv . Покинут образец только те электроны, которые образовались в пределах приповерхностной области образца, ограниченной несколькими значениями длины свободного пробега электронов , определяющейся их кинетической энергией (см. рис.2.6). Длина пробега остовных фотоэлектронов и оже-электронов для металлов составляет ~ 1 3 нм, для диэлектриков - ~ 4 10 нм. Для вторичных электронов с малыми кинетическими энергиями KE 10 эВ глубина выхода, определяемая длиной пробега, составляет s ~ 10 нм для металлов и s ~ 100 нм для диэлектриков. Таким образом, получаем следующую иерархию характерных глубин:

s Rhv h w ,

(2.76)

98

где w – расстояние от поверхности образца до входной щели анализатора электронов.

В соответствии с (2.76), объемный заряд образуется в приповерхностном слое образца глубиной s. Электроны, рожденные в

пределах области s z Rhv не покинут образец, и будут захваче-

ны ионизованными атомами, так что электронейтральность этой области не изменяется. Предположим, что ток эмиссии электронов из образца превышает ток падающих на образец электронов нейтрализации, так что образец заряжается положительно. Пусть

[Кл/см3] – объемная, а [Кл/см2] – поверхностная плотность заряда, формирующего потенциал Vs V (z 0) на поверхности об-

разца. Для определения распределения электрического поля, создаваемого объемными зарядами в образце и вне его, необходимо решить уравнение Пуассона, которое в одномерном случае (для однородного по поверхности образца) имеет вид:

d 2V

 

(z)

,

(2.77)

dz2

 

 

 

 

где – диэлектрическая проницаемость непроводящего образца. Граничные условия, в случае заземленного спектрометра и держателя образца, определяются равенством нулю потенциала держателя V (h) 0 и анализатора V ( w) 0 . Интегрирование уравнения

(2.77) с учетом указанных граничных условий приводит к выражению для потенциала на поверхности образца

Vs

V (z 0)

(h s / 2)

.

(2.78)

 

 

 

h / w

 

При условии s h и h w , что обычно выполняется, имеем

Vs

 

h

,

(2.79)

 

 

 

 

 

что совпадает с известным выражением для потенциала на обкладке плоскопараллельного конденсатора с диэлектриком толщиной h, диэлектрической проницаемостью и поверхностной плотностью заряда Q / S . В нашем случае роль обкладок конденсатора иг-

рают заземленный металлический держатель и поверхностный слой образца с захваченным объемным зарядом.

99

Поверхностный потенциал образца эффективно изменяет его работу выхода, приводя к сдвигу всего фотоэлектронного спектра

на величину eVs . Для диэлектрических образцов (например, кристалла NaCl) сдвиг из-за статической зарядки составляетBE eVs ~ 5 эВ. С помощью выражения (2.79) можно оценить плотность заряда в приповерхностном слое образца. При h 1 мм,

s 100

нм, 4.9 (NaCl)

получаем поверхностную плотность

заряда

Vs / h ~ 3 10 11

Кл/см2 и объемную плотность

/ s ~ 3 10 6 Кл/см3. Отсюда объемная концентрация захваченного заряда (т.е. концентрация ловушек) n / e ~ 2 1013 см-3, что составляет n / n0 ~ 10 9 долю от общей концентрации атомов.

Таким образом, только 0.0000001% атомов поверхностного слоя захватывают положительный заряд, что, однако, приводит к существенному поверхностному потенциалу в 5 В.

2.7. Аппаратура для РФЭС

Блок-схема установки для РФЭС представлена на рис.2.29.

Рис.2.29. Блок-схема основных элементов рентгеновского фото-

электронного спектрометра [7]

100

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]