Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Гуров Телескопические полупроводниковые детекторы 2012

.pdf
Скачиваний:
4
Добавлен:
12.11.2022
Размер:
2.48 Mб
Скачать

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ «МИФИ»

Ю.Б. Гуров, Б.А. Чернышев

ТЕЛЕСКОПИЧЕСКИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДЕТЕКТОРЫ ДЛЯ УСКОРИТЕЛЬНЫХ ЭКСПЕРИМЕНТОВ

Рекомендовано УМО «Ядерные физика и технологии» в качестве учебного пособия

для студентов высших учебных заведений

Москва 2012

УДК 539.1 (074) БКК 539.1.074.5(04) Г95

Гуров Ю.Б., Чернышев Б.А. Телескопические полупроводниковые детекторы для ускорительных экспериментов: Учебное пособие. М.:

НИЯУ МИФИ, 2012. – 96 с.

В пособии представлено современное состояние разработок полупроводниковых детекторов и их применение в экспериментальной физике и прикладных исследованиях для регистрации длиннопробежных заряженных частиц. В разделе, посвященном вопросам создания детекторов, рассматриваются как различные типы кремниевых детекторов, так и детекторы из сверхчистого германия. Значительное внимание уделено вопросам измерения характеристик, создаваемых детекторов, и их влиянию на энергетическое разрешение экспериментальных установок. Пособие в значительной степени основано на разработках, выполненных в НИЯУ МИФИ и использованных в экспериментальных исследованиях на ускорителях ОИЯИ, ПИЯФ, CELSIUS и LANL.

Пособие предназначено для студентов 4 и 5 курса НИЯУ МИФИ, обучающихся по специальности «Физика атомного ядра и частиц».

Пособие подготовлено в рамках Программы создания и развития НИЯУ МИФИ.

Рецензент кандидат физ.-мат. наук В. Г. Сандуковский (ОИЯИ)

ISBN 978-5-7362-1588-4

© Национальный исследовательский

 

ядерный университет «МИФИ», 2012

Редактор Е.Н. Кочубей

Подписано в печать 15.11.2011. Формат 60х84 1/16. Уч.-изд. л. 6,0. Печ. л. 6,25. Тираж 110 экз.

Изд. № 1/66. Заказ № 22.

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». 115409, Москва, Каширское ш., 31.

ООО «Полиграфический комплекс «Курчатовский». 144000, Московская область, г. Электросталь, ул. Красная, 42

Содержание

 

Предисловие...................................................................................................

4

1. Физические основы измерения энергии и идентификации

 

заряженных частиц многослойным телескопом.....................................

6

2. Разработка методов создания телескопических детекторов

 

большой площади ...................................................................................

11

2.1.Кремниевые детекторы ...................................................................

12

2.1.1. Si(Au)-детекторы в режиме полного обеднения ..................

12

2.1.2. Si(Li)- детекторы с тонкими нечувствительными слоями ...

20

2.1.3. Детекторы из высокоомного кремния,

 

полученного методом нейтронного легирования ................

27

2.2. Детекторы из сверхчистого германия ...........................................

38

2.2.1. Критерии отбора монокристаллов сверхчистого германия

 

для изготовления детекторов .................................................

39

2.2.2. Метод изготовления имплантированных

 

HPGe-детекторов .....................................................................

44

2.2.3. Получение методом нейтронного легирования Ge c

 

малыми значениями разностной концентрации ................

52

3. Разработка методов прецизионного измерения энергии заряженных

 

частиц с помощью ППД –телескопов ...................................................

57

3.1. Калибровка ППД-телескопа с помощью альфа-источников........

58

3.1.1. Учет потерь энергии α-частиц во входным окне ППД.......

59

3.1.2. Экспериментальная проверка методики калибровки ...........

62

3.2. Определение толщины структурных слоев детекторов...............

68

3.2.1. Измерение геометрических параметров детекторов

 

на пучках частиц......................................................................

70

3.2.2. Измерение геометрических параметров ППД

 

с помощью радиоактивных источников..................................

72

3.3. Выбор формирующих цепей многослойного

 

ППД-спектрометра.........................................................................

83

3.3.1. Моделирование влияния τ на амплитуду сигнала ППД..............

85

3.3.2. Экспериментальное определение дефекта амплитуды.................

89

Контрольные вопросы ................................................................................

93

Словарь терминов........................................................................................

95

Список основной литературы ....................................................................

96

3

Предисловие

Полупроводниковые детекторы (ППД) нашли широкое применение в разнообразных научных исследованиях и прикладной технике. Большой интерес к ППД обусловлен целым рядом их преимуществ по сравнению с другими детекторами излучений. Среди этих преимуществ можно выделить:

высокое энергетическое разрешение;

возможность одновременного измерения энергии и координаты частицы;

компактность;

возможность изготовления детекторов практически любой конфигурации;

постоянство характеристик в течение длительных периодов времени,

втом числе при работе в условиях высокого радиационного фона.

Внастоящее время ППД все более широко используется в ускорительных экспериментах. В качестве примера можно отметить крупнейшие установки, работающие на Большом адронном коллайдере в ЦЕРН.

Подготовка специалистов для работы в области физики ядра и элементарных частиц должна включать овладение принципами работы ППД и методами их применения в экспериментальных исследованиях. В учебном пособии [1], изданном в НИЯУ МИФИ, подробно рассмотрены основные свойства полупроводниковых материалов, принципы действия создания ППД. Настоящее пособие посвящено более конкретным вопросам создания и использования полупроводниковых устройств в экспериментах на современных ускорителях. Материал, представленный в пособии в значительной степени основан на разработках, выполненных авторами в НИЯУ МИФИ, и использованных в экспериментальных исследованиях на ускорителях ОИЯИ, ПИЯФ, ИЯИ, CELSIUS (Упсала, Швеция) и LANL (ЛосАламос). Заметим, что полупроводниковый спектрометр, использованный

вLANL для поиска экзотических состояний легких нейтронноизбыточных ядер, подробно описан в учебной книге инженера-физика НИЯУ МИФИ [2].

Настоящее пособие имеет следующую структуру. В главе 1 рассматриваются физические основы измерения энергии и идентификации заряженных частиц многослойным телескопом детекторов. Глава 2 посвящена

4

вопросам разработки методов создания телескопических детекторов большой площади. В главе 3 рассматриваются разработки методов прецизионного измерения энергии заряженных частиц с помощью ППДтелескопов.

Для дальнейшего изучения вопросов, связанных с использованием ППД в современных экспериментах на ускорителях мы рекомендуем недавно изданную монографию [3].

5

1.ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ИЗМЕРЕНИЯ ЭНЕРГИИ

ИИДЕНТИФИКАЦИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ МНОГОСЛОЙНЫМ ТЕЛЕСКОПОМ

Регистрация частиц происходит в результате их взаимодействия с веществом детекторов. Тяжелые заряженные частицы (с массой M много большей массы электрона me) при прохождении через вещество в основном теряют свою энергию в результате ионизационных столкновений.

Определение энергии заряженной частицы и ее идентификация многослойным ППД-телескопом основаны на независимых измерениях ионизационных потерь энергии частицы в каждом пройденном детекторе и последующей математической обработке результатов. Математическая обработка должна учитывать структуру телескопа и характеристики процесса прохождения заряженной частицы в веществе.

Наиболее важной из этих характеристик являются удельные ионизационные потери энергии, которые описываются формулой Бете–Блоха (в единицах МэВ·см2/г):

dE

 

Z

 

z

2

 

1

 

2m c2β2T

 

δ(βγ)

,

(1.1)

 

= K

 

 

1

 

 

ln

e

 

 

max

−β2

 

 

dx

 

2

2

 

I

2

 

2

 

A β

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где Tmax – максимальная энергия, которую налетающая частица может передать отдельному электрону вещества:

Tmax =

2m c2β2 γ2

 

 

(1.2)

1+ 2γm / M +(m / M )2 ,

 

e

 

 

 

 

e

e

 

K = 0,307 МэВ·см2, Z – атомный номер вещества детектора, A – атомная масса вещества детектора, (в г/моль), z1 – заряд регистрируемой частицы (в единицах элементарного заряда), β – скорость регистрируемой частицы v/c (в единицах скорости света β = v/c),

γ =1/ 1−β2 , I – средний ионизационной потенциал, эмпирическая

величина зависящая только от вещества детектора (приближено может быть оценена по формуле I ≈13,5Z,эВ), δ(βγ) – функция,

описывающая поляризацию вещества при прохождении заряженной частицы («эффект плотности»), которая становится существенной только при релятивистских скоростях βγ > 2 .

6

Заметим, что удельные ионизационные потери могут также измеряться в МэВ/см. Для перехода к этим единицам формула (1.1) должна быть разделена на плотность вещества детектора ρ, измеряемую в г/см3.

Величины удельных ионизационных потерь протонов в кремнии для нескольких значений энергий представлены в табл.1.1. Отметим, что в рассматриваемом диапазоне энергий удельные потери энергии достаточно быстро уменьшаются с ростом энергии протонов.

Таблица 1.1. Удельные ионизационные потери и пробеги протонов в кремнии

Энергия,

dE/dx,

Пробег,

Пробег,

МэВ

МэВ/(г·см-2)

г·см-2

мм

1

1.755·102

3.953·10-3

1.70·10-2

2

1.128·102

1.125·10-2

4.83·10-2

5

5.853·101

5.049·10-2

2.17·10-1

10

3.450·101

1.663·10-1

7.13·10-1

20

2.004·101

5.630·10-1

2.42

50

9.803

2.871

1.23·101

100

5.854

9.761

4.19·101

200

3. 670

3.224·101

1.38·102

Потери энергии E ионизирующей частицы в тонком детекторе толщиной W определяются простой формулой:

 

 

=

dE

W .

(1.3)

E

 

 

 

dx

 

 

Выражение (1.3) справедливо при условии, что величина E много меньше энергии частицы на входе в детектор. Для более толстых детекторов для определения потерь энергии в них необходимо проинтегрировать выражение (1.1) с учетом изменения удельных потерь энергии вдоль траектории частицы в детекторе.

Проинтегрировав выражение (1.1) по всем значениям энергии от 0 до начальной энергии E0, можно получить полный пробег частицы R, который заряженная частица пройдет в веществе до остановки

 

 

E0

dE 1

 

R(E0 ) =

 

 

 

 

dE .

(1.4)

 

0

 

dx

 

 

7

Следует подчеркнуть, что выражение (1.4) справедливо только для случая, когда на протяжении всего пути частица не испытывают ядерных взаимодействий.

Величины пробегов протонов в кремнии для нескольких значений энергий представлены в табл. 1.1. Отметим, что в рассматриваемом диапазоне энергий пробег протонов приближенно пропорционален Eb, где величина b ≈ 1,8.

Процесс прохождения частиц через вещество носит стохастический характер, поэтому выражения (1.3) и (1.4) относятся к средним значениям для соответствующих распределений.

Еще в 1915 г. Н. Бор показал, что при прохождении заряженной частицы через слой вещества распределение потерь энергии подчиняется закону Гаусса:

 

 

1

 

 

 

 

 

(

E

 

 

 

)2

 

 

 

 

P( E) =

 

 

 

E

,

(1.5)

 

 

exp

 

 

 

 

 

 

 

σ

2π

 

2σ

2

 

 

 

где

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ2 = ρKm c2

Z z2

x .

 

 

 

 

 

 

(1.6)

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

A β2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

e

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Выражение (1.5) справедливо при условии, что

 

 

 

/ E0 лежит в

 

E

диапазоне 5÷10 %. Для более тонких слоев распределение потерь энергии описывается формулой Вавилова, а для сверхтонких слоев

– распределением Ландау. Характерной особенностью этого распределения является асимметрия, при этом средние потери энергии превышают наиболее вероятные. Пример последнего распределения представлен на рис 1.1. При больших толщинах потери энергии описываются распределением Пайна.

Распределение пробегов частиц с хорошей точностью описывается нормальным распределением:

 

1

 

 

 

 

(R-

 

 

 

 

 

P(R) =

 

 

R)2

,

(1.7)

 

 

 

exp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

 

 

 

2 R

2πΔR2

 

 

 

 

 

 

 

где R2 = (R R)2 .

Более подробно вопросы прохождения заряженных частиц через вещество изложены в [4].

8

Рис. 1.1. Распределение ионизационных потерь энергии пионов с энергией 65,3 МэВ в слое Si толщиной 2,16 мм (плавная кривая – распределение Ландау)

Для «идеального» телескопа энергию, остановившейся в нем частицы, можно было бы определить, суммированием показаний всех детекторов в которых эта частица вызывала ионизацию:

N

 

E0 = i ,

(1.8)

1

 

где N – номер детектора, в котором остановилась частица,

i

сброс энергии в i-м детекторе.

 

В реальных телескопах часть энергии регистрируемой частицы теряется в нечувствительных слоях детекторов ( iM). В такой ситуации для определения энергии частицы можно использовать метод максимального правдоподобия. В рассматриваемом случае в

первом приближении функция правдоподобия примет

следующий

вид:

 

 

 

 

 

 

 

n

j1

 

F (E0 , 1, 2 ,..., n ) =Fj E0 ( i +

iM

),

 

j ,Wj , (1.8)

j=1

 

i=1

 

 

где F – соответствующие функции распределения потерь энергии,

Wj – толщина чувствительного слоя j -го детектора,

 

 

– средние

 

iM

потери энергии в нечувствительном слое i -го детектора.

Искомая величина E0 определяется из условия максимума выражения (1.8).

В случае если заряд Z и масса M регистрируемой частицы неизвестны, эти величины в качестве свободных параметров входят в

9

выражение (1.8), и поиск максимума функции правдоподобия осуществляется с помощью варьирования всех трех величин – E0, Z и M.

Пример идентификации частиц с помощью телескопа детекторов представлен на рис. 1.2 из пособия [2].

Рис. 1.2. Двумерное распределение энергосбросов в пролетном детекторе (E2)

и детекторе остановки (E3) до (а) и после (б) обработки

Ветви энергосбросов, расположенные в последовательности снизу вверх, соответствуют протонам, дейтронам, тритонам, изотопам гелия 3He и 4He.

Таким образом, можно выделить основные требования к детекторам, входящим в телескоп, обусловленные современными требованиями к установкам для ускорительных экспериментов:

высокое энергетическое и временное разрешение каждого из детекторов, входящих в телескоп;

достаточно большая суммарная толщина детекторов телескопа, позволяющая регистрировать длиннопробежные частицы;

минимизация нечувствительных слоев детекторов;

большая площадь детекторов, обеспечивающая достаточную светосилу установки;

наличие в телескопах набора детекторов различной толщины, обеспечивающее надежную регистрацию в широком диапазоне энергий и типов частиц.

10