Библиографический список

1. Коледов Л.А. Технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок / Л.А. Коледов. М.: Радио и связь, 1989. 400 с.

2. Черняев В.М. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров / В.М. Черняев. М.: Радио и связь, 1987. 464 с.

3. Блинов И.Г. Оборудование полупроводникового производства / И.Г Блинов, Л.В. Кожитов. М.: Машиностроение, 1986. 264 с.

4. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10-и кн. — М.: Высш. шк., 1989.

5. Липатов Г.И. Технология материалов и изделий электронной техники: учеб. пособие. В 4-х частях / Г.И. Липатов. Воронеж: ГОУВПО «Воронежский государственный технический университет», 2005—2010.

СОДЕРЖАНИЕ

Лабораторная работа № 4 1

ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССА ДИФФУЗИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК 1

Лабораторные работы № 5, 6 17

ИЗУЧЕНИЕ ПРОЦЕССОВ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК 17

Лабораторная работа № 7 39

ИЗУЧЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПРИВАРКИ ПРОВОЛОЧНЫХ ВЫВОДОВ 39

Лабораторная работа № 8 48

ОЦЕНКА ПРОЧНОСТИ СОЕДИНЕНИЙ ВНУТРЕННИХ ВЫВОДОВ 48

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК 53

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению лабораторных работ № 4—8 по дисциплине «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов направления подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Электронное машиностроение»)

очной формы обучения

Составитель Липатов Геннадий Иванович

В авторской редакции

Компьютерный набор Г.И. Липатова

Подписано в печать 24.02.2016.

Уч.-изд. л. 3,0.

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный

технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14