4. Лабораторный практикум

№ п/п	№ раздела дисциплины	Наименование лабораторной работы	Кол-во часов
1	2	№ 1. Зондовые методы измерения удельного сопротивления полупроводников. Методические указания по выполнению лабораторных работ по курсу ФОЭТ № 1–2 (20–95).	4
2	3	№ 2. Исследование электрофизических свойств МДП-структур. Методические указания по выполнению лабораторных работ по курсу ФОЭТ № 3–5 (46–95).	4
3	3	№ 3. Измерение времени жизни и скорости поверхностной рекомбинации в МДП-структурах. Методические указания по выполнению лабораторных работ по курсу ФОЭТ № 3–5 (46–95).	4
4	4	№ 4. Изучение растрового электронного микроскопа РЭМ–100. Методические указания по выполнению лабораторных работ по курсу ФОЭТ № 6–9 (53–95).	4
5	4	№ 5. Качественный анализ состава конструкционных материалов методом электронно-зондового анализа. На магнитных носителях	4
6		Изучение методики низковольтных испытаний кинескопов на магнитных носителях	4
7		Автоматизированная линия высоковольтного прожига и тренировки. на магнитных носителях	4
8		Юстировка цветных кинескопов. на магнитных носителях	4

Примечание: лабораторные работы 5-8 проводятся для студентов, специализирующихся на производстве кинескопов.

А.Практические занятия.

В.Нет.

С.Расчетно-графических работ – нет.

D.Содержание курсового проекта – нет.

5.Учебно-методическая литература.

5.1.Рекомендуемая литература

а) Основная литература.

1.Павлов Л.В. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. – М.: Высшая школа, 1987. – 238 с.

2.Батавин В.В., Концевой Ю.А. ,Федорович Ю.В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур.— М.: Радио и связь , 1985.—263 с.

3.Измерения и контроль в микроэлектронике под ред. Сазонова А.А.,- М.: Высшая школа, 1984.-367 с.

в) Дополнительная литература

1. Колешко В.М., Гойденко П, П, Буйко Л.Д. Контроль в технологии микроэлектроники,- Минск, Наука и техника,1973.-311 .

2.Методы анализа поверхностей, под ред. Зандерны А.,-М.: Мир,1978.- 582 с.

5.2.Средста обеспечения усвоения дисциплины.

(указывается перечень обучающих, контролирующих и расчетных компьютерных программ, диафильмов, видеофильмов).

6.Материально-техническое обеспечение дисциплины.

-установка зондовых измерений удельного сопротивления

-установка для измерения параметров полупроводниковых материалов ИППМ

-растровый электронный микроскоп — РЭМ-100

-электронный микроскоп — микроанализатор ЭММА-2

-персональный компьютер IBM PC—3шт.

7.Рекомендуемый перечень тем практических занятий.

Не предусмотрены.

8. Рекомендуемый перечень семинарских и иных занятий.

Не предусмотрены

9.Дополнительный учебно-методический материал.

Не предусмотрен

Приложение 1