Учебное пособие 1335

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к выполнению практических занятий по дисциплине «Вакуумная техника»

для студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»,

профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника» заочной формы обучения

Составители: Николаева Елена Петровна

Николаева Светлана Олеговна

В авторской редакции

Компьютерная верстка Е. Е. Лавлинской

Подписано к изданию __.____.2019. Уч.-изд. л.

ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский просп., 14

51