 
        
        Основы квантовой статистики и физики твердого тела. учебное пособие. Москаленко А.Г., Гаршина М.Н
.pdf 
| E | Зона проводимости | E | Зона проводимости | 
 | |||
| 
 | 
 | 
 | |||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| 
 | 
 | 
 | Ec | 
 | 
 | 
 | Ec | 
| 0 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | ED | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | (Т ) | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | 
 | i Eg | 2 | (T ) | 
 | i Eg 2 | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 1 | 2 | 3 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | EA | 
| 
 | 
 | 
 | Ev | 
 | 
 | 
 | Ev | 
| 
 | Валентная зона | 
 | Валентная зона | 
 | |||
| 0 | Ts | Ti | T | 0 | Ts | Ti | T | 
| 
 | 
 | a) | 
 | 
 | 
 | б) | 
 | 
| 
 | 
 | 
 | Рис. 3.5 | 
 | 
 | ||
Равновесная концентрация как и собственных, растет с экспоненциальному закону
n C1e p C2e
примесных носителей, так же повышением температуры по
| ED | 
 | 
 | |
| 2kT , | (3.13) | ||
| E A | 
 | 
 | |
| 2kT , | (3.14) | ||
где C1 и C2 постоянные, слабо зависящие от температуры и эффективной массы электрона и дырки.
По мере повышения температуры наблюдается истощение донорных и акцепторных уровней. При полном истощении примесей (Ts – температура истощения примесей) концентрация носителей становится равной концентрации примесей (n~ND, p~NA) и, следовательно, не зависит от температуры. Температура истощения примеси тем выше, чем выше энергия активации примеси ЕD и ЕА и ее концентрация.
При дальнейшем повышении температуры начинается интенсивное возбуждение собственных носителей и примесный полупроводник все больше приближается к состоянию собственного полупроводника. Температура Τi перехода собственной проводимости тем выше, чем больше ширина запрещенной зоны Eg и концентрация примесей в полупроводнике.
70
 
| Температурную | зависимость | ln n | 
 | ||||
| концентрации | примесных | и | 
 | ||||
| 
 | D | 
 | |||||
| собственных | носителей | полу- | 
 | 
 | |||
| 
 | 
 | 
 | |||||
| проводников | удобно | представлять | в | 
 | 
 | 
 | |
| полулогарифмических | координатах | c | B | 
 | |||
| n(n) =f(1/T), | поскольку в этом случае | 
 | пр | ||||
| 
 | C | ||||||
| она выражается прямыми | линиями | 
 | A | ||||
| 
 | 
 | ||||||
| (рис. 3.6). Область АВ отвечает росту | 
 | 1/Ti 1/Ts | 1/T | ||||
| концентрации | примесных | носителей, | 
 | ||||
| 
 | Рис. 3.6 | 
 | |||||
| область ВС | истощению | примесей, | 
 | 
 | |||
| 
 | 
 | 
 | |||||
область CD – росту концентрации
собственных носителей. Таким образом, при низких температурах основной вклад в концентрацию носителей тока вносит примесная концентрация, при высоких температурах – концентрация собственных носителей.
3.5. Подвижность носителей в полупроводниках и ее зависимость от температуры
Электронный и дырочный газ в собственных и слабо легированных примесных полупроводниках является невырожденным, поэтому в отличие от металлов подвижность носителей, представляющая среднюю скорость их дрейфа в электрическом поле единичной напряженности (1.39), определяется усредненными значениями длины свободного пробега и скорости:
| u ~ | , | (3.15) | 
| 
 | 
 | 
 | 
где ν – число столкновений в единицу времени.
В области высоких температур основное значение имеет рассеяние электронов и дырок на тепловых колебаниях решетки, т.е. фононах. При рассеянии носителей на фононах длина их свободного пробега обратно пропорциональна концентрации
| фононов, а поскольку | при этих температурах nф~Т | то | 
| 
 | 71 | 
 | 
<λ>~1/nф~1/T. Полагая здесь 1 , так как из-за высокого значения импульса фонона носители уже в единичных актах столкновения практически полностью теряют свою скорость, выражение для подвижности носителей в полупроводниках примет следующую зависимость:
| u ~ | 
 | z ~ | T 1 | ~ T 3/ 2 | (3.16) | |
| 
 | T 1/ 2 | |||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
В области низких температур подвижность носителей определяется их рассеянием на ионизированных примесных атомах. Рассеяние состоит в том, что ионы примеси отклоняют электроны, проходящие вблизи них, и тем самым уменьшают скорость их движения в первоначальном направлении. Чем выше скорость электронов и больше их эффективная масса, тем слабее отклоняются электроны от направления первоначального движения и тем больше число столкновений ν требуется для того, чтобы рассеять движение в этом
направлении. Согласно расчетам ~ 4 .
Учитывая также, что длина свободного пробега при рассеянии на ионизированных примесях обратно пропорциональна концентрации примесных атомов и от температуры не зависит, получим:
| u ~ | ~ 3 | ~ T 3/ 2 . | (3.17) | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
График зависимости u(Т) для полупроводников показан на рис. 3.7.
Таким образом, в области низких температур подвижность носителей заряда в полупроводниках обусловлена их рассеянием на ионизированных примесях и пропорциональна T3/2. В области высоких температур основное значение имеет рассеяние на фононах (тепловых колебаниях решетки) и подвижность носителей пропорциональна Τ -3/2.
72
 
| u | 
 | 
| u T | 3 | 
| 2 | |
| 
 | |
| 
 | u T 3 2 | 
| 
 | 1Т | 
| 
 | Рис. 3.7 | 
3.6. Температурная зависимость электропроводности полупроводников
Удельная электропроводность собственного полупроводника обусловлена электронной и дырочной проводимостью и определяется выражением
| c | en0 (ue u p ) | (3.18) | 
| где n0 – концентрация | электронов и дырок в | собственном | 
| полупроводнике; ue и up – соответственно их подвижность. | ||
| Проанализируем | температурную | зависимость | 
электропроводности собственных полупроводников, исходя из зависимости от температуры концентрации носителей и их подвижности. В отличие от металлов, в которых электронный газ является вырожденным, концентрация носителей практически не зависит от температуры и температурная зависимость их проводимости целиком определяется температурной зависимостью подвижности носителей, в полупроводниках, наоборот, газ носителей является невырожденным и его концентрация весьма резко зависит от температуры (3.12). В этом случае степенной зависимостью подвижности от температуры (3.17) по сравнению с
73
экспоненциальной зависимостью концентрации можно пренебречь, представив выражение (3.18) в виде:
| 
 | e | Eg | 
 | 
 | 
 | |||
| 
 | 2kT | , | 
 | 
 | (3.19) | |||
| 0 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| где 0 eC(ue up ) const | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| Логарифмируя (3.19), получим: | 
 | 
 | 
 | |||||
| ln ln | 
 | 
 | Eg | 
 | , | (3.20) | ||
| 0 | 
 | 
 | ||||||
| 
 | 
 | 
 | 2kT | 
 | ||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||
| что представляет собой уравнение | прямой | в координатах | ||||||
| n( ) =f(1/T) (рис.3.8а). Отрезок, | 
 | отсекаемый такой прямой на | ||||||
оси ординат, позволяет определить величину σ0, а тангенс угла ее наклона к оси абсцисс, равный Eg/2k, дает возможность определить ширину запрещенной зоны полупроводника.
Удельная электропроводность примесных полупроводников, обусловленная как собственными, так и примесными носителями (например, электронами), рассчитывается по формуле
| c пр | en0 (ue up ) eneue | (3.21) | 
| Ее температурная | зависимость также | определяется | 
зависимостью от температуры концентрации и подвижности собственных и примесных носителей. Схематически кривая зависимости lnσ от 1/Т представлена на рис.3.8,б.
Низкотемпературная область AB отвечает примесной проводимости полупроводника, возникающей вследствие ионизации примесных атомов и появления примесных носителей: электронов в полупроводниках с донорной примесью и дырок в полупроводниках с акцепторной примесью. Подвижность носителей при этих температурах определяется рассеянием на ионизированных атомах примеси (3.17). В первом приближении этой зависимостью по сравнению с экспоненциальной можно пренебречь, считая что:
74
 
ln  D
 D
 ln
ln
ln 0
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 2 | 
 | 
 | B | 
 | |
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | C | 1 | A | |
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 0 1 Ti | 
 | 
 | |||
| 0 | 
 | 1 T | 
 | 1 Ts | 1 T | |||||
| 
 | 
 | а) | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | б) | 
 | |
| 
 | 
 | 
 | Рис. 3.8 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | e | ED | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | пр | 
 | 2kT . | 
 | (3.22) | ||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 0 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| где 0 eC1un | const . Логарифмируя (3.22), получим уравнение, | |||||||||
описывающее прямую АВ. Откуда, тангенс угла наклона прямой АВ к оси абсцисс равен
| tg | 
 | 
 | ED | . | (3.23) | 
| 1 | 
 | ||||
| 
 | 
 | 2k | 
 | ||
| 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| Таким образом, по графику зависимости n( ) =f(1/T) | |||||
| можно определить энергию активации примесных носителей ЕD | |||||
| (или ЕА). | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| Область BC простирается | 
 | от температуры | истощения | ||
примесей Ts, которая тем выше, чем больше энергия активации примеси и ее концентрация, до температуры перехода к
| собственной проводимости Ti. В | этой | области все | 
| примесные атомы ионизированы, но | еще | не происходит | 
заметного возбуждения собственных носителей, вследствие чего
| концентрация | носителей | сохраняется | приблизительно | |||
| постоянной и | равной концентрации | примесей | n≈ND. | |||
| Поэтому | температурная | зависимость | проводимости | |||
| полупроводника в этой области | определяется | температурной | ||||
| 
 | 
 | 75 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
зависимостью подвижности носителей. Если основным механизмом рассеяния носителей в рассматриваемой области является рассеяние на тепловых колебаниях решетки, для которого характерно уменьшение подвижности с ростом
температуры ( u ~ T 3/ 2 ), то проводимость на этом участке будет падать. Этот случай и показан на рис.3.8,б. Если же основным механизмом окажется рассеяние на ионизированных примесях, то подвижность, а, следовательно, и проводимость в области BC будет увеличиваться с ростом температуры.
Область CD соответствует переходу к собственной проводимости полупроводников. В этой области концентрация носителей резко возрастает за счет интенсивного возбуждения собственных носителей. Поэтому проводимость полупроводника в этой области определяется соотношением
(3.19):
| 
 | 
 | 
 | e | Eg | 
 | 
| 
 | c | 
 | 2kT | (3.24) | |
| 
 | 0 | 
 | 
 | 
 | 
Вполулогарифмических координатах n( ) =f(1/T)
графиком этой зависимости является прямая CD, образующая с осью абсцисс угол α2, тангенс которого пропорционален ширине запрещенной зоны Eg:
| tg 2 | Eg | (3.25) | |
| 2k | |||
| 
 | 
 | 
Зависимость сопротивления полупроводников от температуры используется для устройства термосопротивлений или термисторов.
3.7. Фотопроводимость полупроводников
Проводимость, приобретенная полупроводником под действием света, называется фотопроводимостью. Она обусловлена внутренним фотоэффектом. В полупроводнике под влиянием света образуются дополнительные носители тока: электроны и дырки. Увеличение концентрации свободных
76
носителей заряда влечет за собой увеличение проводимости
| полупроводника. | Общая | удельная | электропроводность | 
| полупроводника определяется выражением | 
 | ||
| 
 | 
 | σ = σ0 + σф, | (3.26) | 
где σ0 – основная (тепловая) электропроводимость, обусловленная тепловым возбуждением носителей заряда, σф – электропроводимость, вызванная появлением избыточных носителей.
Избыточные носители являются неравновесными: после прекращения освещения они рекомбинируют и восстанавливается прежняя величина проводимости, характерная для необлученного полупроводника при данной температуре, называемая “темновой проводимостью”.
Различают собственную и примесную фотопроводимость. Схема образования собственной фотопроводимости показана на рис.3.9,а. Фотон с энергией hv>Eg поглощается и переводит электрон из валентной зоны в зону проводимости. Образующаяся при этом пара электрон-дырка является свободной и участвует в создании проводимости полупроводника. Красная граница этой проводимости, т.е. максимальная длина волны, при которой свет является еще фотоэлектрически активным, определяется выражением
| 0 | ch | 
 | (3.27) | |
| Eg | ||||
| 
 | 
 | |||
| Для собственных полупроводников красная | граница | |||
фотопроводимости приходится на видимую часть спектра.
На рис. 3.9 показана схема образования под действием света дополнительных примесных носителей в полупроводниках n-типа (б) и p-типа (в). В этих случаях фотон с энергией hv>Enp переводит электрон либо с донорного уровня в
| зону проводимости, либо из валентной зоны | на акцепторный | ||
| уровень. | Красная | граница примесной | проводимости | 
| определяется выражением | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | 77 | 
 | 
 
| E | 
 | 
 | E | E | 
 | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | ED | 
 | 
| h | h | Eg | h | 
 | 
 | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | EA | |
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | 
 | 
 | h | h | 
| а) | 
 | б) | в) | |
| Рис. 3.9 | 
 | |||
| пр | 
 | ch | , | (3.28) | 
| 
 | ||||
| 
 | 
 | Eпр | 
 | |
где Епр есть энергия активации примесных (донорных или акцепторных) уровней. Примесный фотоэффект возможен лишь в том случае, если полупроводник находится при температуре ниже температуры истощения примеси. Поэтому для наблюдения примесной фотопроводимости полупроводник необходимо, как правило, охлаждать. Красная граница
| примесной фотопроводимости соответствует | инфракрасной | |||||||
| области спектра. | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| Следует отметить, | что | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| 
 | Зона проводимости | 
 | ||||||
| фотоэлектрическая | активность | EC | 
 | |||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | |||||
| уменьшается | не | только | в | 
 | 
 | 
 | Экситонные | |
| 
 | 
 | 
 | 
 | |||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | |||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | |||||
| области больших, но и | 
 | 
 | 
 | 
 | состоянмия | |||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||
| коротких длин | волн (λ<<λκρ). | EV | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| Это связано | с тем, | что | 
 | Валентная зона | 
 | |||
| 
 | 
 | 
 | ||||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| поглощенный фотон приводит | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||
| к возникновению | экситонов. | 
 | 
 | Рис. 3.10 | ||||
| Экситоны представляют собой | 
 | 
 | ||||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||
| единую связанную | пару | – возбужденный | электрон-дырка. | |||||
Энергетический спектр экситонов является дискретным
(рис. 3.10).
Уровни энергии экситонов располагаются у дна зоны проводимости. Так как экситоны являются электрически
78
 
нейтральными системами, то возникновение их в полупроводнике не приводит к появлению дополнительных носителей заряда, вследствие чего поглощение фотона не сопровождается увеличением проводимости полупроводника. Возникнув, экситоны некоторое
время блуждают по объему полупроводника. При столкновении с фононами, примесными центрами и другими несовершенствами решетки экситоны или рекомбинируют, или разрываются. В первом случае энергия возбуждения передается узлам решетки или излучается в виде квантов света (люминесценция), во втором случае образуется пара носителей – электрон и дырка. Они обусловливают фотопроводимость полупроводника.
Приборы, действие которых основано на явлении фотопроводимости, называют фотосопротивлениями (ФС) или фоторезисторами. Устройство фотосопротивления показано на рис.3.11. Здесь 1 – полупроводниковый слой, 2 – подложка, 3 – металлические электроды, 4 – защитное лаковое покрытие. Для получения фототока необходимо в цепь последовательно с ФС включить источник постоянного тока.
| IСВ | Ф2 Ф | IСВ | 
| 
 | 1 | 
 | 
U const
Ф 0
IT
Ф2 Ф1
| 
 | 
 | 
 | 0 | 
 | 
 | 
| 0 | 
 | 
 | Ф | ||
| U | |||||
Рис. 3.12. Рис. 3.13.
79
