Метрология и стандартизация / Rossiyskaya metrologicheskaya entsiklopediya. Tom 1 (Okrepilov) 2015
.pdf
617
энергии, длительностиимпульсаидлиныволнылазерно- |
димость измерять не только энергию импульса лазера, |
го излучения соподчиненным по ГОСТ Р 8.780-2012 [1] |
но и параметры качества пучка. |
эталонным средствам измерений с высокой точностью, |
В промышленности эти средства измерений указан- |
так и реализацию и единство измерений этих единиц. |
ныхединицвходятвсоставоборудования, содержащего |
К числу основных физических величин и параме- |
импульсные лазеры и предназначенного для сварки, |
тров, по которым сертифицируют импульсные лазеры, |
резки (раскроя) материала, поверхностного упрочне- |
относятся энергия, совокупность параметров, характе- |
ния, лазерной маркировки, изготовления интегральных |
ризующих качество пучка (распределение плотности |
микросхем, неразрушающего контроля материалов и |
энергии, уголрасходимости, ширинапучка, параметрМ2 |
готовых изделий. Несоответствие параметров режимов |
идр.), длительностьимпульса, длинаволны. Врезультате |
сварки и резки материалов указанным в технологиче- |
развития импульсных лазерных систем и расширения |
ском процессе приводит к появлению брака. Контроль |
областейихприменения, становитсяочевиднойнеобхо- |
за соблюдением режима обработки особенно важен |
Таблица 1. Метрологические характеристики ГЭТ 187-2010 |
||
|
|
|
Характеристика |
Значение |
|
|
|
|
Комплекс для воспроизведения и передачи размера единицы энергии импульсного лазерного излучения |
||
|
|
|
Диапазон значений единицы энергии импульсного лазерного из- |
от 1.10-2 до 5.10-1 |
|
лучения, Дж |
||
|
||
|
|
|
Длины волн, мкм |
0,532; 1,064 и 1,570 |
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
не более 0,22 |
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
не более 0,27 |
|
|
|
|
Суммарная стандартная неопределенность, % |
не более 0,34 |
|
|
|
|
Расширенная неопределенность, % |
не более 0,72 |
|
|
|
|
Комплекс для воспроизведения единицы распределения плотности энергии импульсного лазерного излучения |
||
|
|
|
Диапазон значений единицы распределения плотности энергии, |
от 1.10-4 до1.10-2 |
|
Дж/см2 |
||
|
||
Длины волн, мкм |
0,532; 1,064 |
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
0,65 |
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
0,82 |
|
|
|
|
Суммарная стандартная неопределенность, % |
1,1 |
|
|
|
|
Расширенная неопределенность, % |
2,3 |
|
|
|
|
Комплекс для воспроизведения и передачи размера единицы длительности импульса лазерного излучения |
||
|
|
|
Диапазон значений единицы длительности импульса лазерного из- |
от 1.10-9 до1.10-6 |
|
лучения, с |
||
|
||
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
0,037 |
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
0,16 |
|
|
|
|
Суммарная стандартная неопределенность, % |
0,16 |
|
|
|
|
Расширенная неопределенность, % |
0,31 |
|
|
|
|
Комплекс для воспроизведения и передачи размера единицы длины волны лазерного излучения |
||
|
|
|
Диапазон значений единицы длины волны лазерного излучения, |
от 0,3 до 1,1 |
|
мкм |
||
|
||
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
4,74.10-4 |
|
Стандартная неопределенность, оцениваемая по типу А, % |
1,61.10-4 |
|
Суммарная стандартная неопределенность, % |
5,06.10-4 |
|
Расширенная неопределенность, % |
1,13.10-3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
624 |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
Метрологическиехарактеристикиэталонапредстав- |
схемойГПСЭединицыПМДвоптическомволокнепред- |
|||
лены в таблице 1. |
назначендляхраненияивоспроизведенияединицыПМД |
|||
Общий вид эталона представлен на рис. 3. |
в оптическом волокне, а также для передачи указанной |
|||
На основании результатов исследований составляю- |
единицы рабочим средствам измерений (РСИ) ПМД |
|||
щихпогрешностиизмеренийПМДспомощьюэталонной |
как с помощью рабочих эталонов (РЭ) единицы ПМД и |
|||
аппаратурынаосновеинтерферометрическогоиполяри- |
эталонных мер единицы ПМД, так и непосредственно с |
|||
метрическогометодов, сиспользованиемРуководствапо |
помощьюэталоннойизмерительнойаппаратуры, входя- |
|||
выражениюнеопределенностиизмерений(РМГ43-2001), |
щей в состав ГЭТ 185-2010. |
|||
для разработанного ГПСЭ единицы ПМД в оптическом |
|
Областьюпримененияэталонаявляетсяобеспечение |
||
волокне был составлен бюджет неопределенности при |
единства измерений поляризационной модовой диспер- |
|||
воспроизведении единицы ПМД в оптическом волокне |
сии в оптическом волокне для волоконно-оптических |
|||
(таблица 2). |
систем передачи информации. |
|||
Назначение и область применения |
|
Международное сотрудничество. Сличения |
||
Государственный первичный специальный эталон |
|
По окончании разработки эталона были проведены |
||
единицыполяризационноймодовойдисперсиивоптиче- |
сравнительные метрологические исследования эталон- |
|||
скомволокнеГЭТ185-2010 возглавляетГосударственную |
нойизмерительной аппаратуры, входящей всостав ГЭТ |
|||
поверочную схему для средств измерений поляризаци- |
185-2010, свысокоточнымисредствамиизмеренийПМД |
|||
онной модовой дисперсии в оптическом волокне ГОСТ |
зарубежныхпроизводителей, привязанныхкнациональ- |
|||
8.607-2012. В соответствии с указанной поверочной |
ным эталонам США (NIST) и Великобритании (NPL). В |
|||
Таблица 2. Бюджет неопределенности при воспроизведении единицы ПМД в оптическом волокне
Источник неопределенности |
|
Значение, [пс] |
|
Источник неопределенности |
Значение, [пс] |
|
|
|
|
|
|
Поляриметрический метод |
|
Интерферометрический метод |
|||
|
|
|
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцененная по типу А |
|
|||
|
|
|
|
|
|
ПМД, <Δτ>, [пс] |
|
0,001+0,001×<Δτ> |
|
ПМД, <Δτ>, [пс] |
0,006+0,0025×<Δτ> |
|
|
|
|
|
|
|
Стандартная неопределенность, оцененная по типу В |
|
|||
|
|
|
|
|
|
Анизотропия соединительных |
|
0,0017 |
|
Анизотропия соединительных |
0,0017 |
волоконных кабелей |
|
|
волоконных кабелей |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
Неопределенность ДГЗ калибро- |
0,0006 |
|
Неопределенность длины волны |
0,0006 |
|
вочного элемента |
|
|
опорного лазера |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
Неопределенность измерений |
|
|
|
Анизотропия оптических элементов |
|
параметров вектора Стокса |
|
0,004×<Δτ> |
|
0,0018 |
|
|
|
интерферометра |
|||
поляриметром |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Определение длины волны |
|
0,0004×<Δτ>2 |
|
Алгоритм построения огибающей |
0,0011 |
перестраиваемого лазера u |
|
|
интерф-мы |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
Колебания температуры воздуха |
0,0002 |
|
Колебания температуры воздуха |
0,0002 |
|
±2°С |
|
|
±2°С |
||
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
Суммарная стандартная неопределенность |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
Для значения <Δτ>=0,05 пс |
|
||
|
|
|
|
|
|
0,0023 |
|
|
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Для значения <Δτ>=0,3 пс |
|
||
|
|
|
|
|
|
0,0026 |
|
|
|
0,007 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Для значения <Δτ>=5 пс |
|
||
|
|
|
|
|
|
0,020 |
|
|
|
0,019 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Для значения <Δτ>=120 пс |
|
||
|
|
|
|
|
|
5,1 |
|
|
|
0,3 |
|
|
|
|
|
|
|
