Sb98627
.pdfСодержание |
|
Введение ................................................................................................................. |
3 |
Лабораторная работа № 1. Исследование газоразрядной плазмы |
|
методом зондов ....................................................................................................... |
4 |
1.1. Основные сведения ................................................................................ |
4 |
1.2. Порядок выполнения работы .............................................................. |
9 |
1.3. Содержание отчета ............................................................................... |
10 |
Лабораторная работа № 2. Исследование параметров плазмы |
|
методом двойного зонда ..................................................................................... |
10 |
2.1. Основные сведения .............................................................................. |
10 |
2.2. Порядок выполнения работы ............................................................ |
15 |
2.3. Содержание отчета ............................................................................... |
15 |
Лабораторная работа № 3. Исследование функции распределения |
|
электронов по энергиям в газовом разряде ...................................................... |
16 |
3.1. Основные сведения .............................................................................. |
16 |
3.2. Порядок выполнения работы ............................................................ |
20 |
3.3. Содержание отчета ............................................................................... |
21 |
Лабораторная работа № 4. Исследование оптических спектров |
|
излучения газоразрядной плазмы ...................................................................... |
21 |
4.1. Основные теоретические сведения о методах и оборудовании |
|
спектрометрического контроля ................................................................. |
22 |
4.2. Основные функции программного обеспечения спектрометра ...... |
26 |
4.3. Порядок выполнения работы ............................................................ |
29 |
4.4. Содержание отчета ............................................................................... |
29 |
Список рекомендуемой литературы .................................................................. |
30 |
31
Лисенков Александр Аркадьевич
Марцынюков Сергей Александрович
Кострин Дмитрий Константинович
ВАКУУМНЫЕ И ПЛАЗМЕННЫЕ ПРИБОРЫ И УСТРОЙСТВА Методы диагностики плазмы
Учебное пособие
Редактор И. Г. Скачек
__________________________________________________________________
Подписано в печать 07.11.2019. Формат 60×84 1/16. Бумага офсетная. Печать цифровая. Печ. л. 2.0.
Гарнитура «Times New Roman». Тираж 45 экз. Заказ 156.
__________________________________________________________________
Издательство СПбГЭТУ «ЛЭТИ» 197376, С.-Петербург, ул. Проф. Попова, 5
32