- •41.Тензометрические полупроводниковые чувствительные элементы. Схемы включения тензорезисторов.
- •42.Тензорезистивные кремниевые датчики. Характеристики и параметры мостовых тензорезисторных преобразователей давления.
- •43.Градуировка, балансировка и компенсация температурной погрешности мостовой схемы тензопреобразователей.
- •47. Магнитоупругие преобразователи (муп). Принцип действия и конструкция муп. Схемы включения муп. Погрешность муп. Магнитоупругий датчик измерения силы.
- •48. Гальваномагниторекомбинационные преобразователи.
- •49. Датчики Виганда.
- •51.Эффект Холла. Материалы для изготовления датчиков Холла (дх). Основные параметры дх и их связь со свойствами полупроводника.
- •52. Технология изготовления дх.
- •53.Магниторезистивные преобразователи. Основные параметры магниторезисторов.
- •54.Технология изготовления магниторезисторов.
- •55.Применение гальваномагнитных преобразователей в средствах автоматизации.
- •56.Магнитодиодный эффект. Параметры магнитодиодов.
- •57.Конструкция и технология изготовления магнитодиодов. «Торцевые» и планарные магнитодиоды.
- •59.Основные задачи температурных измерений. Физические основы температурных измерений.
- •60.Погрешности температурных измерений контактными датчиками.
- •61.Полупроводниковые терморезисторы (тр). Основные характеристики тр: температурная зависимость сопротивления, вольт-амперные характеристики, инерционность, стабильность и срок службы.
- •62.Тр с отрицательным и положительным ткс. Кремниевые датчики температуры.
- •63.Применение датчиков температуры: медный, платиновый и марганцевый термометры сопротивления.
- •64.Основные задачи измерений тепловых потоков. Классификация датчиков теплового потока (дтп). Физические модели «тепловых» дтп.
- •65.Тонкопленочные дтп, калориметрические дтп
- •66.Градиентные (с продольным и поперечным градиентом) дтп
- •67. Бесконтактные измерители температуры. Тепловые фотоприемники. Применение пироэлектриков.
- •68. Биосенсоры. Применение биосенсоров: биосенсоры на основе бактерий, микроорганизмов, биологических тканей. Проблемы и перспективы развития.
- •69. Датчики газового состава. Электродные реакции.
- •70.Электрохимические методы анализа: кондуктометрия, потенциометрия, вольтамперометрия, амперометрия, кулонометрия.
- •71. Химические измерения: кислотность, окислительно- восстановительный потенциал, проводимость.
- •73.Особенности «интеллектуальных» датчиков физических величин. Функциональные возможности и требования, предъявляемые к «интеллектуальным» датчикам.
- •74.Микропроцессорные модули для интеллектуальной обработки информации. Измерительный канал «интеллектуальных» датчиков.
- •75.Основные критерии выбора микроконтроллера для «интеллектуального» датчика.
- •76. Универсальный интерфейс преобразователя.
- •77.Стандартизация интерфейсов «интеллектуальных» датчиков (семейство ieee р 1451). Коррекция ошибок в «интеллектуальных» датчиках.
- •79.Исполнение датчиков в зависимости от воздействия климатических факторов внешней среды.
- •80.Исполнение датчиков в зависимости от степени защиты от воздействия твердых тел (пыли) и пресной воды.
- •81. Исполнение датчиков в зависимости от устойчивости к воздействию синусоидальной вибрации.
53.Магниторезистивные преобразователи. Основные параметры магниторезисторов.
Сопротивление проводящего канала при наличии носителей заряда двух знаков. При воздействии на канал магнитного поля изменяется его электрическое сопротивление вследствие изменения подвижности носителей заряда, их средней концентрации и изменения соотношения размеров прово- дящего канала. Это явление обусловлено тем, что носители тока, переме- щающиеся в полупроводнике под действием электрического поля, не имеют одинаковых скоростей. Гальваномагнитный прибор, величина сопротивления которого сильно меняется при изменении воздействующего на него магнитного по- ля, называется магниторезистором. Основными параметрами магниторезистора являются: начальное сопротивление R() при В=0. Его значение зависит от проводимости основного материала а. которое, в свою очередь, определяется степенью легирования; шириной меандровой полоски, оптимальное значение которой составляет около 80 мкм; шириной меандровой полоски, которая примерно равна 25 мкм; длиной меандровой полоски, которая определяется желаемым сопротивлением магниторезистора. В зависимости от проводимости основного материала о при меандровой форме получаются следующие значения сопротивления на 1 мм2 площади магниторезистора о=2-104 Ом 'м'1 - примерно 100 Ом; для а=5,5104 Ом ’м1- примерно 400 Ом. Отклонение R0 от номинального значения зависит от неоднородности основного материала и воспроизводимости геометрических размеров меандровой полоски; магниторезистивное отношение Rb/Ro . представляющее собой отношение сопротивления магниторезистора при определенном значении магнитной индукции (обычно 0,3 и 1 Тл) к начальному сопротивлению. Функция преобразования магниторезисторов является четной, поэтому как в постоянном магнитном поле, так и в переменном их сопротивление увеличивается. Магниторезистивное отношение сильно зависит от температуры; магнитная чувствительность Sb, определяемая как относительное приращение сопротивления магниторезистора AR/R. деленное на соответствующее приращение магнитной индукции ДВ; нагрузочная способность магниторезистора. Этот параметр определяется тем предельным значением температуры перегрева, который допускается для магниторезистора при условии, что он не будет выведен из строя. Значение этой температуры равно примерно 150 - 327 °С. Значение нагрузочной способности в значительной степени определяется условиями теплоотдачи магниторезистора. Так, например, она возрастает примерно в 10 раз, если магниторезистор наклеивается на массивное металлическое основание;
материала, магнитной индукции и температуры. Чем больше чувствительность магниторезистора, тем больше его ТКС. Значения ТКС различных типов магниторезисторов лежат в пределах 0.0002 - 0,012 К'1. Первые магниторезисторы выполнялись из висмута (висмутовые спирали). В настоящее время магниторезисторы изготавливаются из полупроводниковых материалов группы AmBv - антимонида индия, арсенида индия и др., в которых проявляется магниторезистивный эффект вследствие большой подвижности носителей заряда.
