5. Қатты денелік электрониканың физикалық негіздері мен интегралдық микросхемаларды жасаудағы планарлық технологиялардың ролі қандай?

Электроника – ғылым мен техниканың вакуумда, газда, сұйықта, қатты дене мен плазмада, сондай-ақ олардың бір-бірімен жанасу шекарасында байқалатын электрондық және иондық құбылыстарды зерттеуге және оларды қолдануға арналған саласы. Оның физикалық және техникалық электроника деп аталатын басты екі саласы бар. Физикалық  электроника электрондық және иондық құбылыстарды, электрондық және иондық приборларды, құрылғылар мен қондырғыларды құрастыру принципін, электрондық және иондық приборлардың көмегімен электр энергиясын қабылдау, түрлендіру және беру принциптерін, электрондар мен иондар ағынының затқа әсер ету механизмін теориялық және тәжірибелік жолмен зерттейді. Техникалық (қолданылмалы) электроника электрондық және иондық приборларды, құрылғылар мен қондырғыларды ғылымда, өнеркәсіпте, байланыста, ауыл шаруашылығында, құрылыста, көлікте, т.б. салаларда пайдаланудың теориясы мен практикасын қамтиды.

Қатты денелі электро́ника —қатты денелі құрылғылардың физикалық жұмыс істеу принциптерін, функционалдық мүмкіндіктерін және оларды электроникада қолдану ережелері зерттелетін электрониканың саласы. Электрондық құрылғыларда қолданылатын негізгі қатты денелі құрылғылар:

•  СВЧ-қуатын арттыруға және генерациялауға арналған диодтар: Туннельдік диод, Лавинно-пролётный диод,  Ганна диоды;

• Биполярлы транзисторлар;

• Өрістік транзисторлар— затвор негізіндегі және изоляцияланған затворы бар p-n ауысуы бар транзисторлар

• Статикалық индукциялы, өткізгіш базасы бар және металлдық базасы бар Аналогтық транзисторлар  

• Инжекциялық және лавиндік S-диодтар (S –типті диодтар), динисторлар мен тиристорлар.

Қатты денелі құрылғылардың электроникада қолданылу мысалдары: МОП-транзисторлар негізіндегі жадтың энергияға тәуелсіз элементтері; SSD-жинағыштар (қатты денелік жинағыштар).

Қатты денелі электрониканың пайда болуымен электрондық құрылғыларды миниатюризациялау процессі жылдам басталып кетті. Бірнеше ондаған жыл ішінде активті элементтер он миллиардқа дейін кішірейді. Яғни, бірнеше сантиметр болатын электрондық радиолампадан бірнеше нанометр болатын транзистордың жартылайөткізгішті чипіне дейін.

Қатты денелі электроникадағы активті және пассивті элементтері инжекция әдісімен немесе кристаллдың денесіндегі белгілі бір координаттар бойынша атомдардың жаңа қабаттарын тозаңдату әдісімен жартылайөткізгіштің аса таза біртекті кристаллында жасалады. Инжекция жартылайөткізгіштің қасиеттерін өзгертеді. Ол жартылайөткізгіштің өткізгіштігін кері түріне ауыстырады. Бұл өз кезегінде диод немесе транзистор не пассивті элементтің пайда болуына әкеледі. Соңғы жылдары кристаллда жарықтың көзін өндіру кеңінен таралды. Тазалығы өлшемдері бірнеше нанометр болатын элементтер жасауға мүмкіндік беретін жартылайөткізгішті кристаллдарды алудың технологиясын нанотехнология деп, ал электрониканың осы бөлімін микроэлектроника деп атай бастады.